SU1659930A1 - Устройство дл измерени константы магнитострикции тонких магнитных пленок - Google Patents

Abstract

Изобретение предназначено дл  контрол  параметров тонких магнитных пленок. Цель изобретени  - повышение точности измерений температурной зависимости константы магнитострикции тонких магнитных пленок. Устройство содержит корпус 1, опору 2, датчик 3, тонкую магнитную пленку 4, крышку корпуса 5,  вл ющуюс  второй опорой, внутренн   поверхность которой, расположенна  внутри еакуумируемого объема , имеет форму сегмента сферической поверхности со сквозными отверсти ми 6. При снижении давлени  тонка  ма нитна  пленка прогибаетс  и прилегает к сферической поверхности, обеспечива  плотный термический контакт, исключающий градиент температур по поверхности пленки. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к области микроэлектронной техники и может быть использовано дл  контрол  тонких магнитных пленок при их производстве.

Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерений температурной зависимости константы магнитострикции тонких магнитных пленок.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  измерени  константы магнитострикции тонких магнитных пленок, со- д ржащем корпус и две опоры, между которыми в качестве мембраны установлена исследуема  пленка, одна из опор выполнена в виде вогнутого сегмента сферической поверхности, содержащей сквозные отверсти  в вакуумируемый обьем, обеспечивающие плотное прилегание пленки по всей ее поверхности. Причем, сферическа  опора выполнена из материала, обладающего большой теплопроводностью.

На чертеже показано устройство дл  измерени  константы магнитострикции тонких магнитных пленок.

Устройство содержит корпус 1, кольцевую опору 2, крышку 3 корпуса перфорированную отверсти ми 4, исследуемую пленку 5 и датчик 6. При измерении константы магнитострикции индуктивно-частотным способом в качестве датчика использовалась выносна  индуктивность колебательного контура автодина.

Устройство работает следующим образом .

При откачке газа из вакуумированного объема исследуема  пленка начинает прогибатьс , что приводит к по влению механических напр жений в пленке, величина которых растет с увеличением прогиба пленки. Рост механических напр жений происходит до тех пор, пока пленка не коснетс  крышки, представл ющей собой сегсл

Ч&332

СО

мент сферической поверхности. При дальнейшей откачке газа величина прогиба пленки остаетс  неизменной, что тождественно посто нному механическому нагру- жению пленки. В этом случае поверхность пленки находитс  в посто нном тепловом контакте со сферической поверхностью. Крышка корпуса изготовлена из материала с хорошей теплопроводностью (например, из латуни), Это позвол ет устранить градиент температуры по всей поверхности пленки и легко измен ть температуру в диапазоне от 10 до 500 К.

Устройство позвол ет также проводить измерени  на промышленных пластинах любого диаметра, например в диапазоне 30 - 102 мм.

0

5

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  измерени  константы магнитострикции тонких магнитных пленок, содержащее корпус, крышку корпуса и опору , при этом корпус разделен на две полости , одна из которых через крышку корпуса св зана с вакуумным насосом, а в другой расположен датчик, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерени , поверхность крышки корпуса, расположенна  со стороны вакуумного насоса, снабжена сквозными отверсти ми и выполнена в форме вогнутого сегмента сферической поверхности, своей вогнутой частью обращенного в сторону вакуумного насоса.

   К форёакуумномц насосу