SU1362971A1 - Способ вакуумировани датчиков абсолютного давлени и устройство дл его осуществлени - Google Patents
Способ вакуумировани датчиков абсолютного давлени и устройство дл его осуществлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1362971A1 SU1362971A1 SU864082255A SU4082255A SU1362971A1 SU 1362971 A1 SU1362971 A1 SU 1362971A1 SU 864082255 A SU864082255 A SU 864082255A SU 4082255 A SU4082255 A SU 4082255A SU 1362971 A1 SU1362971 A1 SU 1362971A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- filter
- hole
- nipple
- sensor
- support chamber
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и позвол ет повысить надежность работы датчика за счет уменьшени остаточного давлени в опорной камере. Откачку воздуха из опорной полости осуществл ют через геттерный фильтр 5, помещенный в отверстие вакуумируе- мого корпуса 4. После вьфавнивани давлений в опорной полости и во всем вакуумном боксе отверстие в ниппеле 6 заваривают и подвергают сборку нагреву до т-ры поглощени газов порошкообразным геттерным материалом фильтра 5. Геттерный фильтр 5 получают спеканием порошкообразного материала, заполн ющего пространство между сетчатыми колпачками. При заваривании отверсти в ниппеле 6 фильтр 5 предохран ет чувствительный элемент 7 от брызг расплавленного материала. 2 с,п. ф-лы, 2 ил. с (Л
Description
113
Изобретение относитс к койтроль- но-измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным дл измерени аюролютного давлени .
Целью изобретени вл етс повышение надежности работы датчика за счет уменьшени остаточного давлени в опорной камере.
На фиг.1 показана конструкци датчика абсолютного давлени , позвол юща реализовать предлагаемьй спо соб; на фиг.2 - геттерный фильтр,
Вакуумирование и герметизаци опорных полостей датчиков абсолютного давлени по предлагаемому способу осуществл ютс следующим образом.
Датчик конструктивно разделенный на две полости, измерительную - рабочую (ограниченную приёмным штуцером и воспринимающим элементом 2) и опорную - вакуумируемую Гограни- ченную воспринимающим элементом 2, внешним корпусом 3 и вакуумируемым корпусом 4 помещают в вакуумный бокс. Предварительно в отверстие вакуумируемого корпуса 4 помещают геттерный фильтр 5 и жестко фиксируют ниппель 6 в вакуумируемом корпусе 4 с помощью электронно-лучевой или аргонно-дуговой сварки, В вакуумном боксе создаетс давление разр - . 4
жени пор дка 10 - 10 мм рт,ст. и по истечении определенного времени завис щего от объема опорной полости внутреннего диаметра ниппел и размеров геттерного фильтра (практически это врем составл ет от 20 мин до 2 ч), когда давление в опорной полости выравниваетс с давлением во всем вакуумном боксе, отверстие в .нипеле 6 завариваетс , тем самым полностью замыкаетс объем опорной полости . Так как между ниппелем 6 и. чувствительным элементом 7 (например металлопленочным тензопреобразовате- лем) существует заслон в виде геттерного ф шьтра 5, то при сварке обеспе гшваетс достато ша защита измерительной cxcMt-i чувствительного элемента 7 от попадани на нее брызг расплавленного металла. Сварка за- ключитепьного шва (внутреннего отверсти ниппел осуществл етс непосредственно в вакуумном боксе, дл чего может быть использовано подкол- пачное устройство установки электронно-лучевой сварки.
После сварки сборку подвергают нагреву до температуры, соответст0
вующеи температуре поглощени газов порошкообразным геттерным материалом Минимальное врем выдержки сборки при такой температуре должно быть не менее времени, при котором датчик будет окончательно термостабилизирв ван. Данное врем будет зависеть от массы н объема датчика, объема гет,- терного устройства и т.д.
Устройство вакуумировани датчиков абсолютного давлени содержит
Г вакуумируемый корпус 4 (фиг.2) в
котором установлены геттерный фильтр 5 и ниппель 6. В свою очередь геттерный фильтр 5 состоит из двух сетчатых Колпачков: наружного колпачка
20 8 и внутреннего колпачка 9„ а пространство между колпачками заполнено порошкообразным-материалом (геттерным составом 10), представл ющим собой состав, например, из титана и
25 магни . Данный состав (в соотношении , %: титан 60-65, магний 40-35) помещаетс между двух сетчатых колпачков и спекаетс при 560-600°С между собой и со стенками колпачковj
30 после чего готовый геттерный фильтр 5 устанавливаетс в сборку датчика, В результате операции спекани геттерный фильтр 5 становитс единым монолитным блоком, и за счет этого
35 исключаетс рассыпание порошкообразного материала и попадание его в опорную полость на чувствительньп элемент датчика.
Датчики абсолютного давлени с
40 введенным в них устройством вакууми - ровани работают в расширенном температурном диапазоне.
Формула и 3 о б р е т е н и . Г
f. Способ вакуумировани датчиков абсолютного давлени , заключающийс в откачке через ниппель воздуха из опорной камеры датчика, помещенного
в вакуумный бокс, -о т л и ч а то. - щ и и с тем, 4TOj с целью повышени надежности работы датчика за счет уменьшени остаточного давлени в опорной камере, производ т откачКУ воздуха через обладающий геттер- ными свойствами фильтр помещенный в сквозное отверстие корпуса опорной камеры, герметизируют отверстие ниппел и нагревают датчик до температуры , при которой происходит адсорбци гаЗов в фильтр,
I
2. Устройство дл вакуумировани датчиков абсолютного давлени , содержащее ниппель, установленный соосно со сквозным отверстием корпуса датчика со стороны опорной камеры, отличающее с тем, что, с целью повышени надежности работы
в него введен фильтр, закрепленньй в сквозном отверстии корпуса между опорной камерой и ниппелем, причем фильтр вьшолнен в виде сетчатых колпачков , расположенных своими цилиндрическими част ми друг в друге, а пространство между торцами колпачков заполнено порошкообразным материалом , обладающим геттерными свойствами .
Фиг, 2
Claims (2)
- Формула изобретения.1. Способ вакуумирования датчиков абсолютного давления, заключающийся в откачке через ниппель воздуха из опорной камеры датчика, помещенного в вакуумный бокс, -отличаю,щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности работы датчика за счетуменьшения остаточного давления в опорной камере, производят откачку -воздуха через обладающий геттерными свойствами фильтр, помещенный в сквозное отверстие корпуса опорной камеры, герметизируют отверстие нипно-лучевой сварки.пеля и нагревают датчик до темпераз 1362971 туры, при которой происходит адсорбция газов в фильтр,I
- 2. Устройство для вакуумирования датчиков абсолютного давления, содержащее ниппель, установленный соосно со сквозным отверстием корпуса датчика со стороны опорной камеры, отличающее ся тем, что, с целью повышения надежности работы в него введен фильтр, закрепленный в сквозном отверстии корпуса между опорной камерой и ниппелем, причем ' фильтр выполнен в виде сетчатых кол□ пачков, расположенных своими цилиндрическими частями друг в друге, а пространство между торцами колпачков заполнено порошкообразным мате10 риалом, обладающим геттерными свойствами.Фиг. 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864082255A SU1362971A1 (ru) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | Способ вакуумировани датчиков абсолютного давлени и устройство дл его осуществлени |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864082255A SU1362971A1 (ru) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | Способ вакуумировани датчиков абсолютного давлени и устройство дл его осуществлени |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1362971A1 true SU1362971A1 (ru) | 1987-12-30 |
Family
ID=21243177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU864082255A SU1362971A1 (ru) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | Способ вакуумировани датчиков абсолютного давлени и устройство дл его осуществлени |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1362971A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999034183A1 (de) * | 1997-12-23 | 1999-07-08 | Unaxis Trading Ag | Verfahren zur herstellung von keramischen druckmesssensoren |
| US6735845B2 (en) * | 1997-02-20 | 2004-05-18 | Mks Instruments Inc. | Method of producing an integrated reference pressure sensor element |
-
1986
- 1986-07-01 SU SU864082255A patent/SU1362971A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 504108, кл. G 01 L 7/02, 1976. За вка JP № 59-38533, кл. G 01 L 7/00, 1984. * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6735845B2 (en) * | 1997-02-20 | 2004-05-18 | Mks Instruments Inc. | Method of producing an integrated reference pressure sensor element |
| US7155803B2 (en) | 1997-02-20 | 2007-01-02 | Mks Instruments Inc. | Method of manufacturing a sensor element having integrated reference pressure |
| WO1999034183A1 (de) * | 1997-12-23 | 1999-07-08 | Unaxis Trading Ag | Verfahren zur herstellung von keramischen druckmesssensoren |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1132066A (en) | Thermal insulation of vessels and method of fabrication | |
| US5287746A (en) | Modular transmitter with flame arresting header | |
| JP4664675B2 (ja) | 密封封止 | |
| US3998515A (en) | Hermetic electrical penetrator | |
| JP3431606B2 (ja) | 圧力センサ | |
| CN107076636B (zh) | 具有用于粗泄漏测试的测量体积的薄膜腔 | |
| SU1362971A1 (ru) | Способ вакуумировани датчиков абсолютного давлени и устройство дл его осуществлени | |
| SE426114B (sv) | Sett att omvandla radioaktivt partikel- eller styckeformigt material | |
| US4898147A (en) | Domestic oven observation window having a low temperature external surface | |
| US4201915A (en) | Pneumatic infrared radiation detector having a hermetically sealed chamber and a window | |
| SU695537A3 (ru) | Способ изготовлени спеченных изделий | |
| JP2004361159A (ja) | リモートシール形圧力・差圧発信器 | |
| US4922108A (en) | Infrared radiation source, especially for a multi-channel gas analyzer | |
| US4704068A (en) | Process for introducing an adsorption agent | |
| CN218766734U (zh) | 一种多功能多用途燃爆实验组合装置 | |
| GB1463538A (en) | Method of manufacturing nuclear fuel elements | |
| US4343176A (en) | Long-life leak standard assembly | |
| JP2838961B2 (ja) | 真空断熱容器の開口部閉塞方法 | |
| US5750882A (en) | Gas permeability measurements for film envelope materials | |
| SU1569608A1 (ru) | Датчик абсолютного давлени | |
| US3908378A (en) | Fluid pressure responsive device | |
| CN216012635U (zh) | 一种氦质谱检漏仪用校准装置 | |
| JPH05196530A (ja) | 差圧・圧力発信器および封入液封入方法 | |
| JP2631052B2 (ja) | リモートシール型差圧・圧力発信器および封入液封入方法 | |
| Bosseboeuf et al. | Design and construction of an ultra-high vacuum set up for the characterization of getter films deposited on wafers |