SU1439278A1

SU1439278A1 - Сорбционный вакуумный насос

Info

Publication number: SU1439278A1
Application number: SU874207554A
Authority: SU
Inventors: Анатолий Васильевич Балаков; Алексей Анатольевич Краснушкин; Тамара Ивановна Соболева
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6681
Priority date: 1987-03-09
Filing date: 1987-03-09
Publication date: 1988-11-23

Description

jssssaa

- КДГКЭ

OD

Фиг.1

Изобретение относитс к вакуумной технике 3 а именно к конструкци м сорб ционных вакуумных Hacdcos,

Цель изобрете-ни - улучшение от- качных характеристик насосов.

На фиг, 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез . А-А на фиг. 1.

Сорбционный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 25 размещенные в корпусе 1 кольцевой охлаждаемый сосуд, слой 3 адсорбента- и расположенный по оси корпуса 1 ис- паритель 4 геттера, причем сосуд вы полнен в виде верхнего 5 и нижнего 6 кольцевых коллекторов, сообщенных между собой при помощи параллельных трубок 7, расположенных в слое 3 адсорбента , а.последний размещен ма ду коллек,торами 5 и 6.

Насос работает следующим образом.

В коллекторы 5 и 6 подаетс хладагент , который заполн ет параллельные трубки 7 J, расположенные в слое 3 адсорбента, что обеспечивает интенсивное охлаждение адсорбента вследствие развитой поверхности теплообме на. Слой 3 адсорбента при понижении температуры последнего начинает тенсивно поглощать откачиваемый газ поступающий в корпус 1 насоса через входной патрубок 2. Предельное остаточное давление определ етс темпе- ратурой хладагента и в случав использовани жидкого азота с температурой около 80К состав остаточной атмосферы определ етс плохо адсорбируемыми газами, в первую очередь водоро-

дом, вл ющим1с основным компойентом газовыделени конструкционных материалов вакуумных систем, С целью откачки плохо адсорбируемых газов на уровне остаточного давлени пор дка 10 Па включаетс испаритель 4 геттера . Испар ющийс геттер (например, титан) осаждаетс на -внутреннюю поверхность сло 3 адсорбента и активно поглощает плохо адсорбируег&те газы, причем ахтивньгй слой геттера посто нно возобновл етс . Развита поверх- ность адсорбента способствует высоКИМ скоростным характеристикам, по похо адсорбируемым газам.

Таким образом, конструкци предла гаемого насоса улучщает его откачные характеристики, в частности величину предельного остаточного давлени и быстроту действи по плохо адсорбиру- емьм газам.

Claims

Формула изобретени

Сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус с входньп патрубком, размещенные в корпусе кольцевой ох- лаждаемьй сосуд, слой адсорбента и расположенный по оси корпуса испаритель геттера, отличающий- с тем, что, с целью улучшени от- качных характеристик, сосуд выполнен в вщ|;е верхнего и нижнего кольцевых коллекторов, сообщенных между собой при помощи параллельных трубок, расположенных в слое адсорбента, а последний: размещен между коллектора . ми.

. ; -- @t-- O:.. @..-.-:@f:4 : @.: :.@.°.-:

. /й. - . . ..vP-... : (Pf { @-: .V

.y. . ;yt/... . ;Vr .- V - .Vv. . У - .y -..

Фаг.