RU2140568C1 - Криогенный конденсационный насос - Google Patents

Криогенный конденсационный насос Download PDF

Info

Publication number
RU2140568C1
RU2140568C1 RU98114582A RU98114582A RU2140568C1 RU 2140568 C1 RU2140568 C1 RU 2140568C1 RU 98114582 A RU98114582 A RU 98114582A RU 98114582 A RU98114582 A RU 98114582A RU 2140568 C1 RU2140568 C1 RU 2140568C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plates
cryopanel
cryogenic
pumps
condenser pump
Prior art date
Application number
RU98114582A
Other languages
English (en)
Inventor
В.А. Жохов
В.Г. Кехваянц
Ю.Ф. Потапов
С.С. Сидоров
Б.В. Прусов
Original Assignee
Центральный аэрогидродинамический институт им.проф.Н.Е.Жуковского
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Центральный аэрогидродинамический институт им.проф.Н.Е.Жуковского filed Critical Центральный аэрогидродинамический институт им.проф.Н.Е.Жуковского
Priority to RU98114582A priority Critical patent/RU2140568C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2140568C1 publication Critical patent/RU2140568C1/ru

Links

Landscapes

  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

Насос относится к экспериментальному оборудованию, в частности к насосам для откачки газа из вакуумных камер и аэродинамических труб. Криогенную панель конденсационного насоса выполняют в виде пакета пластин из пористого металла с открытой системой пор. Полости между пластинами соединяют друг с другом и с откачиваемым объемом трубками из пористого металла. Такое выполнение позволяет увеличить производительность криогенного конденсационного насоса за счет увеличения эффективной площади криопанели при неизменных ее габаритных размерах. 1 ил.

Description

Изобретение относится к экспериментальному оборудованию, в частности к насосам для откачки газа из вакуумных камер и аэродинамических труб.
Криогенные насосы являются практически единственным средством откачки, при работе которых достигаются давления ниже 10-5 Па и не выделяются какие-либо загрязнения в откачиваемый объем.
Из всех видов криогенных насосов в настоящее время наиболее распространены конденсационные и адсорбционные насосы. Действие криогенных насосов основано на физических явлениях, происходящих при низких температурах: конденсации газов на охлаждаемых металлических поверхностях (конденсационные насосы); адсорбции газов на твердых охлажденных сорбентах (адсорбционные насосы). Криогенные конденсационные насосы (ККН) способны выдерживать более высокие удельные газовые нагрузки по сравнению с адсорбционными насосами, так как в отличие от последних конденсация осуществляется в том числе и на сконденсированном на поверхности криопанели твердом осадке.
Известен криогенный конденсационный насос, включающий корпус, теплозащитный экран, систему охлаждения, криопанель (см."Вакуумная техника. Справочник". под ред. Е.С.Фролова и В.В.Минайчева, 2-ое изд., М., Машиностроение, 1992).
Недостатком этого насоса является малая поверхность контакта криопанели с откачиваемым газом и соответственно низкая производительность, обусловленная наличием единственной пластины криопанели.
Наиболее близким из известных технических решений является криогенный конденсационный насос, установленный в аэродинамической трубе (АДТ), включающий корпус (совмещен с корпусом камеры АДТ), теплозащитный экран, систему охлаждения, криопанель в виде пакета пластин (см. В.А.Жохов, В.Г.Кехваянц, Б. В. Прусов, С. С. Сидоров. "Аэродинамическая труба", авт.свидетельство N 1803758).
Недостатком указанного насоса является то, что пластины криопанели выполнены из компактного металла, что уменьшает поверхность контакта откачиваемого газа с криопанелью.
Задачей изобретения является повышение производительности криогенного конденсационного насоса.
Техническим результатом настоящего изобретения является увеличение эффективности площади криопанели при неизменных ее габаритных размерах.
Указанный технический результат достигается тем, что в криогенном конденсационном насосе, содержащем корпус, теплозащитный экран, систему охлаждения, криопанель в виде пакета пластин, пластины выполнены из пористого металла с открытой системой пор, причем полости между пластинами соединены друг с другом и с откачиваемым объемом трубками из пористого металла.
На чертеже показана принципиальная схема криогенного конденсационного насоса, размещенного в АДТ, где по сравнению с вакуумной камерой более напряженные по газовой нагрузке режима работы ККН.
Криогенный конденсационный насос содержит корпус 1 (в данном случае совпадает с корпусом камеры АДТ), теплозащитный экран 2, систему охлаждения 3, криопанель 4, состоящую из пакета пластин 5 пористого металла с открытой системой пор, трубки из пористого металла 6, соединяющие полости между пластинами друг с другом и с откачиваемым объемом. Пора считается открытой, если она сообщается с поверхностями пористого тела и проницаема для газа и жидкости при наличии градиента давления на пористом теле. Кроме того, на рисунке показаны элементы АДТ: система подачи газа 7, сопло 8, модель 9, вакуумный насос 10 для предварительной откачки камеры АДТ.
Работа криогенного конденсационного насоса в АДТ осуществляется следующим образом. После предварительной откачки камеры АДТ вакуумным насосом 10, охлаждают теплозащитный экран 2 и криопанель 4 с помощью системы охлаждения 3, которая может быть заливной, испарительной или с автономными ожижительными установками и с газовыми холодильными машинами. По достижению необходимой температуры теплозащитного экрана и криопанели с помощью системы подачи газа 7 через сопло 8 осуществляют напуск газа на исследуемую модель 9. Выходящий из сопла газ натекает на первую пластину криопанели 4 и через открытые поры пластин 5 и пористые трубки 6 перетекает в полости между пластинами и конденсируется на поверхностях пластин и в каналах пор.
Удельная поверхность (отношение суммарной поверхности тела к его массе) пористого металла, полученного методами порошковой металлургии составляет порядка 0,05 - 1 м2/г (см. Е. Л.Шведков, Э.Т.Денисенко, Н.Н.Ковенский. "Словарь - справочник по порошковой металлургии", Киев, 1982 и С.В.Белов. "Пористые металлы в машиностроении", М., 1976). Для пластин из компактных металлов, используемых в качестве криопанели, эта величина порядка 10-4 м2/г.
Использование пористого металла в качестве материала пластин криопанели позволяет увеличить эффективную площадь по сравнению с вариантом пластин из компактного металла.
Поскольку криогенные конденсационные насосы относятся к группе насосов поверхностного действия, их производительность пропорциональна эффективной площади контакта откачиваемого газа с криопанелью.
Следовательно ККН с криопанелью из пористого металла могут обладать первоначальной производительностью заметно превосходящей производительность ККН с криопанелью из компактного металла. По мере нарастания слоя конденсата в каналах пор производительность насоса будет уменьшаться и в пределе при закрытии каналов пор будет приближаться к производительности ККН с компактным металлом.
Число пористых пластин криопанели зависит от газовой нагрузки на ККН, мощности системы охлаждения и определяется габаритными размерами камеры.
Тепловое излучение от стенок насоса на криопанель составляет часть теплопритока, соизмеримую с тепловой конденсации. Поэтому при наличии криопанели в виде пакета пластин они выполняют кроме всего прочего и роль дополнительных теплозащитных экранов, снижая тепловые нагрузки на внутренние пластины.
Для криопанелей обычно выбираются материалы с высокими коэффициентами теплопроводности: медь, алюминий, сплавы на их основе и другие металлы.

Claims (1)

  1. Криогенный конденсационный насос, включающий корпус, теплозащитный экран, систему охлаждения, криопанель в виде пакета пластин, отличающийся тем, что пластины выполнены из пористого металла с открытой системой пор, причем полости между пластинами соединены друг с другом и с откачиваемым объемом трубками из пористого металла.
RU98114582A 1998-07-29 1998-07-29 Криогенный конденсационный насос RU2140568C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98114582A RU2140568C1 (ru) 1998-07-29 1998-07-29 Криогенный конденсационный насос

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98114582A RU2140568C1 (ru) 1998-07-29 1998-07-29 Криогенный конденсационный насос

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2140568C1 true RU2140568C1 (ru) 1999-10-27

Family

ID=20209065

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98114582A RU2140568C1 (ru) 1998-07-29 1998-07-29 Криогенный конденсационный насос

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2140568C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105464929A (zh) * 2015-12-29 2016-04-06 安徽万瑞冷电科技有限公司 低温泵冷屏

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105464929A (zh) * 2015-12-29 2016-04-06 安徽万瑞冷电科技有限公司 低温泵冷屏

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1070130A (en) Cryopumping method and apparatus
US5513499A (en) Method and apparatus for cryopump regeneration using turbomolecular pump
US4724677A (en) Continuous cryopump with a device for regenerating the cryosurface
US6154478A (en) Chemical oxygen-iodine laser (coil)/cryosorption vacuum pump system
CA1045395A (en) Refrigerating process and apparatus therefor
EP0079960A1 (en) IMPROVED CRYOPUMP.
US4212170A (en) Cryopump
US3712074A (en) Cryogenic gas trap
US5483803A (en) High conductance water pump
CN108430606B (zh) 使用选择性转移膜的蒸发冷却系统和方法
US4691534A (en) Cryogenic pump with refrigerator with the geometry of the shields, suitable for achieving a high efficiency and an extended life
JPS6035190A (ja) クライオポンプ
US4485631A (en) Method and apparatus for rapidly regenerating a self-contained cryopump
KR100706818B1 (ko) 크라이오 펌프
US5345787A (en) Miniature cryosorption vacuum pump
RU2140568C1 (ru) Криогенный конденсационный насос
US3387767A (en) High vacuum pump with cryosorption pumping element
US3464223A (en) Trap pump for vacuum system
US4219588A (en) Method for coating cryopumping apparatus
US4838035A (en) Continuous cryopump with a method for removal of solidified gases
Foster High‐throughput continuous cryopump
JP2967785B2 (ja) ゲツターポンプ装置
US4896511A (en) Optimally staged cryopump
JP4304450B2 (ja) 真空排気装置
RU2094656C1 (ru) Адсорбционный высоковакуумный насос

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090730