SU947466A1 - Криовакуумна установка - Google Patents

Description

(5k) КРИОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА.

.,- I--. - ,

. , ..-

Изобретение относитс  к вакуумной технике и касаетс  криовакуумных ус- . тановбк, предназначенных дл  создани  вакуума путем конденсации и адсорбции газов.

Известна криовакуумна  установка, содержаща  криогенератор и крионасосы , каждый из которых состоит из корпуса и криопанели, выполненной в виде емкости. Перед откачкой вакуумируемого объекта криопанель изолируетс  от него и охлаждаетс  криогенератором . Аккумулированный .в ней холод расходуетс  в период откачки вакуумируемого объекта 1 .

Недостатком такойкриовакуумной установки  вл етс  низка  эффектив ность, обусловленна  тем, что регенерации и охлаждению до рабочих температур перед откачкой вакуумируемого объекта лодвергаётс  вс  масса криопанели , вследствие чего увеличивают-с  затраты энергии на проведение этих процесс:ов.

изобретени ,- повышение эф- фективности установки. . Поставленна  цель достигаетс  тем, что криовакуумна  установка, содержаща  криогенератор и крионасосы, каждый иё которых состоит из корпуса

и криопанели, выполненной в виде емкости , снабжена изолированным трубопроводом с запорной арматурой, объедин юидам емкости в группы, состо щие по меньшей мере из трех емкостей.

На черт-еже: показана схема предлагаемой криовакуумной установки.

Установка содержит три крионасоса 1, 2 и 3, каждаай из которых содержит

10 герметичный корпус 4, внутри которого размещена криопанель 5, окруженна  защитными экранами б и 7. Крмопанель 5 выполнена в виде емкости, ,на наружной поверхности которой находитс 

5 сорбент 8. Охлаждение криопанели 5 осуществл етс  криогенератором 9. Вентили 10 и 11 служат дл  подачи хладагента из .крйогенератора 9 к .криопднели 5. Изолированный трубопро20 вод .12 соедин ет полости криопанелей 5 всех трех крирнасосов 1, 2 и 3. На

, трубопроводе 12 перед каждой криопанелыо 5 установлен вентиль 13. Крионасосы 1, 2 и 3 подсоедин ютс  к от25 качиваемрму объекту через патрубки 14 с вентил ми 15. Дл  создани  ва-. куума в полости крионасосов 1, 2 и 3 в период их регенерации служат вакуумные насосы 16 и.система соединительных трубопроводов с вентил ми 17,

Claims (1)

1. Формула изобретения .Криовакуумная установка, содержащая криогенератор и крионасосы, каждый из которых состоит из корпуса и ,криопанели, выполненной в виде емкости, от ли ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения эффективности, емкости объединены в группы, состоящие по меньшей мере из трех емкостей , соединенных изолированным трубопроводом с запорной арматурой.