JPS58165584A - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
- Publication number
- JPS58165584A JPS58165584A JP4873282A JP4873282A JPS58165584A JP S58165584 A JPS58165584 A JP S58165584A JP 4873282 A JP4873282 A JP 4873282A JP 4873282 A JP4873282 A JP 4873282A JP S58165584 A JPS58165584 A JP S58165584A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- pump
- vacuum
- vacuum pump
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
- F04B37/16—Means for nullifying unswept space
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分針〕
本発明は真空排気装置に係り、特に低真空域から超高真
空域の広い範囲にわたり排気することが可能な真空排気
装置に関する。
空域の広い範囲にわたり排気することが可能な真空排気
装置に関する。
従来、真空ポンプの中で、ターボ分子ポンプ、メカニカ
ルブースタポンプおよび油回転真空ポンプ等の回転式ポ
ンプにあっては、単独または組合わせにより容器内の気
体を大気圧まで圧縮して排出するかき出し方式のポンプ
であり、これらのポンプは潤滑油を使用しているため、
油固有の蒸気圧により容器内への□油の逆拡散、表面移
動、誤操作等による逆流のため完全に油清浄な真空を得
ることは理論的に不可能である。
ルブースタポンプおよび油回転真空ポンプ等の回転式ポ
ンプにあっては、単独または組合わせにより容器内の気
体を大気圧まで圧縮して排出するかき出し方式のポンプ
であり、これらのポンプは潤滑油を使用しているため、
油固有の蒸気圧により容器内への□油の逆拡散、表面移
動、誤操作等による逆流のため完全に油清浄な真空を得
ることは理論的に不可能である。
また、上記ポンプと同様に容器内の気体を連続的に排出
できる蒸気噴射式真空ポンプは、作動液として油または
水銀等を使用しているため逆拡散等が生じ、このような
現象を防止する゛ため通常ボ、 ンブの上流側にコール
ドトラップ等を挿入するが、作動波の冷却藺温度での蒸
気圧および誤操作等により、完全に油または水銀清浄な
真空を得ることほぐき〜ない。
できる蒸気噴射式真空ポンプは、作動液として油または
水銀等を使用しているため逆拡散等が生じ、このような
現象を防止する゛ため通常ボ、 ンブの上流側にコール
ドトラップ等を挿入するが、作動波の冷却藺温度での蒸
気圧および誤操作等により、完全に油または水銀清浄な
真空を得ることほぐき〜ない。
イオンポンプやサブリメーシ璽ンボンプ等の場合は、連
続排気をすることができ、しかも油清浄な真空を得るこ
とができるが、気体溜め込み方式のため、その補集量に
限界があり、ヘリウム、ネオン、アルゴンの気体に対す
る排気能力が小さい。
続排気をすることができ、しかも油清浄な真空を得るこ
とができるが、気体溜め込み方式のため、その補集量に
限界があり、ヘリウム、ネオン、アルゴンの気体に対す
る排気能力が小さい。
クライオポンプやソーダシ１ンボンプ等の場合も、上記
イオンポンプ等と同様に油清浄な真空を得られるが、溜
め込み方式のため、その捕集量に限界があり、水素、ヘ
リウム、ネオンの気体に対する排気能力が小さいもので
ある。
イオンポンプ等と同様に油清浄な真空を得られるが、溜
め込み方式のため、その捕集量に限界があり、水素、ヘ
リウム、ネオンの気体に対する排気能力が小さいもので
ある。
また、近年核融合装置、加速器、真空蒸着装置およびス
パッタリング装置等でｔｏ −１２丁ｏｒｒ（１０−１
０Ｐａ）から１０−”Ｔｏｒｒ （ｉｏ−’ Ｐａ ）
＠度までの広い圧力範囲において、すべての気体に対
して安定した排気能力を有し、かつ排気量が太静く、完
全に油清浄な排気を行なうことができる真空排気装置が
要求されるに至り、これに伴ない、水素、重水素、トリ
チウム、ヘリウム、ネオン等の極低温下でも蒸気圧の高
い気体を含む気体を排気できる真空排気装置の必要性が
増してきた。
パッタリング装置等でｔｏ −１２丁ｏｒｒ（１０−１
０Ｐａ）から１０−”Ｔｏｒｒ （ｉｏ−’ Ｐａ ）
＠度までの広い圧力範囲において、すべての気体に対
して安定した排気能力を有し、かつ排気量が太静く、完
全に油清浄な排気を行なうことができる真空排気装置が
要求されるに至り、これに伴ない、水素、重水素、トリ
チウム、ヘリウム、ネオン等の極低温下でも蒸気圧の高
い気体を含む気体を排気できる真空排気装置の必要性が
増してきた。
しかし、これは前記余”ンブのみでは行なうことができ
ないため、従来、例えば水素に対しては解離させた水素
を触媒に当て、これを水に変換して水素を消滅させた後
、生成した水をコールトド２ツブ等で補集するものがあ
るが、触媒の充填量および水の捕集量に限界があるため
、再生操作を要するという欠点を有している。
ないため、従来、例えば水素に対しては解離させた水素
を触媒に当て、これを水に変換して水素を消滅させた後
、生成した水をコールトド２ツブ等で補集するものがあ
るが、触媒の充填量および水の捕集量に限界があるため
、再生操作を要するという欠点を有している。
また、トリチウム、ヘリウム、ネオン等に対しては、未
だ適当な真空排気装置は存在していない。
だ適当な真空排気装置は存在していない。
本発明は上記欠点に鑑みなされたもので、低真空域から
超高真空域までの広い圧力範囲にわたり、極低温下でも
蒸気圧の高い気体の排気が可能で、完全に油清浄な真空
を得ることができる真空排気装置を提供することを目的
とするものである。
超高真空域までの広い圧力範囲にわたり、極低温下でも
蒸気圧の高い気体の排気が可能で、完全に油清浄な真空
を得ることができる真空排気装置を提供することを目的
とするものである。
上記目的を達成するため、本発明に係る真空排気装置は
、筒状ケース内部に気体を選択的に透過する隔膜を、気
体が必ずこの隔膜を通過するように気密接合してなる隔
膜機構と、真空ポンプとを直列に接続しキー成される透
過式真空ポンプと、気体を選択的に捕集することのでき
る溜め込み式ポンプとを被排気容器に接続して構成され
、極低温下でも蒸気圧の高い気体の排気は、透過式真空
ポンプで行ない、その他の気体は溜め込み式ポンプで排
気するようになされている。
、筒状ケース内部に気体を選択的に透過する隔膜を、気
体が必ずこの隔膜を通過するように気密接合してなる隔
膜機構と、真空ポンプとを直列に接続しキー成される透
過式真空ポンプと、気体を選択的に捕集することのでき
る溜め込み式ポンプとを被排気容器に接続して構成され
、極低温下でも蒸気圧の高い気体の排気は、透過式真空
ポンプで行ない、その他の気体は溜め込み式ポンプで排
気するようになされている。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明に係る真空排気装置の一実施例を示した
もので、隔膜機構／は１円筒ケースコの内部に周面が波
状に形成された円筒状の気体透過性質を有する隔膜３が
、複数配置されており、気体が必ず隔膜３を通過するよ
うに溶接等により気密接合されている。
もので、隔膜機構／は１円筒ケースコの内部に周面が波
状に形成された円筒状の気体透過性質を有する隔膜３が
、複数配置されており、気体が必ず隔膜３を通過するよ
うに溶接等により気密接合されている。
この隔膜３は、特に・極低温下でも蒸気圧の高い気体（
水素、ヘリウム、トリチ、ウム、重水素およびネオン等
）を選択的に排気する能力を有しており、例えば、パラ
ジウム、ニッケル、チタン、ジルコニウム、ニオブ、バ
ナジウム、タンタル等の金属、およびこれらの合金、バ
イコールガラス、溶融石英ガラスまたは、重合体、脅威
樹脂等の材質で作られ、これらの材質の薄板を波状に形
成するものである。このように隔膜Ｊを波状に形成する
ことにより、気体の透過面積を増加することができ、し
かも、隔膜ｊＫ直接通電して加熱する場合に、その抵抗
値を増加させることもできる。
水素、ヘリウム、トリチ、ウム、重水素およびネオン等
）を選択的に排気する能力を有しており、例えば、パラ
ジウム、ニッケル、チタン、ジルコニウム、ニオブ、バ
ナジウム、タンタル等の金属、およびこれらの合金、バ
イコールガラス、溶融石英ガラスまたは、重合体、脅威
樹脂等の材質で作られ、これらの材質の薄板を波状に形
成するものである。このように隔膜Ｊを波状に形成する
ことにより、気体の透過面積を増加することができ、し
かも、隔膜ｊＫ直接通電して加熱する場合に、その抵抗
値を増加させることもできる。
上記隔膜機構ｌの一方には、例えば蒸気噴射式ポンプや
ターボ分子ポンプ等の通常の真空ボンブダの吸気側が、
熱遮蔽バクフル５を介して直列に接続され、透過式真空
ポンプ６を構成している。
ターボ分子ポンプ等の通常の真空ボンブダの吸気側が、
熱遮蔽バクフル５を介して直列に接続され、透過式真空
ポンプ６を構成している。
また、隔膜機構／には、隔膜を昇温するための加熱機構
（図示せず）が設けられており、隔膜機構／の他方側は
、熱遮蔽バッフル７を介してマニホールドｔＫ＊絖され
ている。上記熱遮蔽ノ（ツフルｔ、７は隔膜Ｊが加熱状
態にあるときに、その輻射熱をさえぎるためのものであ
る。
（図示せず）が設けられており、隔膜機構／の他方側は
、熱遮蔽バッフル７を介してマニホールドｔＫ＊絖され
ている。上記熱遮蔽ノ（ツフルｔ、７は隔膜Ｊが加熱状
態にあるときに、その輻射熱をさえぎるためのものであ
る。
上記マニホールドｔには、隔離パルプｔを介して被排気
容器１０が接続され、さらに溜め込みポンプとしてのク
ライオポンプ／ｌが透過式真空ポンプ６と並列に接続さ
れており、被排気容器／θとマニホールドｆＫは、それ
ぞれ弁ｌコ、／Ｊを介して粗引きポンプ／４１が接続さ
れている。
容器１０が接続され、さらに溜め込みポンプとしてのク
ライオポンプ／ｌが透過式真空ポンプ６と並列に接続さ
れており、被排気容器／θとマニホールドｆＫは、それ
ぞれ弁ｌコ、／Ｊを介して粗引きポンプ／４１が接続さ
れている。
上記隔離パルプｔは、被排気容器１０とマニホールドー
な真空的に遮断するもので、例えば、被排気容器１０を
大気圧に開放する場合、クライオポンプｌ／を再生する
場合、クライオポンプｌ／の作動圧力域まで粗引きする
場合等に遮断され、被排気容器１０を高真空に排気する
ときには開いている。
な真空的に遮断するもので、例えば、被排気容器１０を
大気圧に開放する場合、クライオポンプｌ／を再生する
場合、クライオポンプｌ／の作動圧力域まで粗引きする
場合等に遮断され、被排気容器１０を高真空に排気する
ときには開いている。
本実施例により排気を行なう場合は、まず、隔離パルブ
タを遮断して弁／２． ／Ｊを開き、所定の圧力域まで
粗引きポンプ／４Ｉで粗引きをする。その後、隔離バル
ブデを開き、弁ｌコ、／３を閉じてクライオポンプｌ／
、透過式真空ポンプ６を作動させる。このとき、隔膜機
構／内の隔膜３を加熱して作動させるもので、この隔膜
３の加熱により気体の透過量は増加される。そして、透
過式真空ポンプ６における気体の排気は、被排気容器１
０＠と真空ポンプ４ＩＩＩＩＩとの圧力差によってこの
圧力の低い方へ気体が隔膜３を透過することにより行な
われるもの１：：′・１ で、真空ポンプ亭により上記：圧力差を生じさせて排気
を行なうようになされている。この透過式真空ポンプ６
は、極低温下で蒸気圧の高い気体を主として排気するも
ので、クライオポンプ／ｌはその他蒸気圧の低い気体を
主として排気するものである。
タを遮断して弁／２． ／Ｊを開き、所定の圧力域まで
粗引きポンプ／４Ｉで粗引きをする。その後、隔離バル
ブデを開き、弁ｌコ、／３を閉じてクライオポンプｌ／
、透過式真空ポンプ６を作動させる。このとき、隔膜機
構／内の隔膜３を加熱して作動させるもので、この隔膜
３の加熱により気体の透過量は増加される。そして、透
過式真空ポンプ６における気体の排気は、被排気容器１
０＠と真空ポンプ４ＩＩＩＩＩとの圧力差によってこの
圧力の低い方へ気体が隔膜３を透過することにより行な
われるもの１：：′・１ で、真空ポンプ亭により上記：圧力差を生じさせて排気
を行なうようになされている。この透過式真空ポンプ６
は、極低温下で蒸気圧の高い気体を主として排気するも
ので、クライオポンプ／ｌはその他蒸気圧の低い気体を
主として排気するものである。
したがって、本実施例においてはすべての気体を低真空
域から超高真空域にわたって排気することができる。
域から超高真空域にわたって排気することができる。
第１図は、本発明に係る真空排気装置の他の実施例を示
したもので、第１図と同一部分には同一符号を付して説
明を省略する。
したもので、第１図と同一部分には同一符号を付して説
明を省略する。
隔膜機構３の一方には熱遮蔽バッフルＳを介して真空ポ
ンプ参が接続され、透過式真空ポンプ６が構成され、隔
膜機構／の他方には、熱遮蔽パッフルクを介してクライ
オポンプｌ／が直列に接続されており、このクライオポ
ンプ／ｌの吸気側には隔離パルプｔを介して被排気容器
１０に接続されている。また、粗引きポンプ／ｌＩが弁
／２． ／３を介して被排気容。７ｏおよ、２１清オ、
７ツ７２．わあ。
ンプ参が接続され、透過式真空ポンプ６が構成され、隔
膜機構／の他方には、熱遮蔽パッフルクを介してクライ
オポンプｌ／が直列に接続されており、このクライオポ
ンプ／ｌの吸気側には隔離パルプｔを介して被排気容器
１０に接続されている。また、粗引きポンプ／ｌＩが弁
／２． ／３を介して被排気容。７ｏおよ、２１清オ、
７ツ７２．わあ。
続されている。 ・、：１
本実施例においても前記実施例の場合と同様に作動し、
同様の効果を得ることができる。
同様の効果を得ることができる。
以上述べたように本発明に係る真空排気装置は、選択的
に気体を排気することができる気体透過性隔膜を備えた
透過式真空ポンプと、溜め込み式ポンプとを被排気容器
に接続して構成され、極低温下でも蒸気圧の高い気体の
排気は透過式真空ポンプで行ない、その他の気体は溜め
込み式ポンプで排気するようにしたので、すべての気体
を低真空域から超高真空域にわたって排気することがで
き、しかも、ポンプの１１１滑油または作動液で汚染さ
れないため油清浄な真空を得ることができる。
に気体を排気することができる気体透過性隔膜を備えた
透過式真空ポンプと、溜め込み式ポンプとを被排気容器
に接続して構成され、極低温下でも蒸気圧の高い気体の
排気は透過式真空ポンプで行ない、その他の気体は溜め
込み式ポンプで排気するようにしたので、すべての気体
を低真空域から超高真空域にわたって排気することがで
き、しかも、ポンプの１１１滑油または作動液で汚染さ
れないため油清浄な真空を得ることができる。
また、水素および重水素等の排気は溜め込み式でないた
め防爆対策も必要でなく、さらに、作動中に誤操作等に
よって大気圧に解放されても、油の逆流や致命的な損傷
を受けることがない等の効果を有する。
め防爆対策も必要でなく、さらに、作動中に誤操作等に
よって大気圧に解放されても、油の逆流や致命的な損傷
を受けることがない等の効果を有する。
第７図および第一図はそれぞれ本発明の一実施例を示す
系統図である。 ／・・・隔膜機構、コ・・・円筒ケース、３・・・隔膜
、ダ・・・真空ポンプ、３，７・・・熱遮蔽バクフル、
６・・・透過式真空ポンプ、ｌ・・・マンホールド、９
・・・隔離バルブ、ＩＯ・・・被排気容器、／ハ・・ク
ライオポンプ、／λ。 ／Ｊ・・・弁、揮・・・粗引きポンプ。 出願人代理人 猪 股 清
系統図である。 ／・・・隔膜機構、コ・・・円筒ケース、３・・・隔膜
、ダ・・・真空ポンプ、３，７・・・熱遮蔽バクフル、
６・・・透過式真空ポンプ、ｌ・・・マンホールド、９
・・・隔離バルブ、ＩＯ・・・被排気容器、／ハ・・ク
ライオポンプ、／λ。 ／Ｊ・・・弁、揮・・・粗引きポンプ。 出願人代理人 猪 股 清
Claims (1)
- 筒状ケース内部に気体を選択的に透過する隔膜を、気体
が必ずこの隔膜を通過するように気＊＊合してなる隔膜
機構と、真空ポンプとを直列に接続して構成される透過
式真空ポンプと、気体を選択的に捕集することのできる
溜め込み式ポンプとを被排気容器に１ｉ！！続したこと
を特徴とする真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4873282A JPS58165584A (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4873282A JPS58165584A (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 真空排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58165584A true JPS58165584A (ja) | 1983-09-30 |
Family
ID=12811457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4873282A Pending JPS58165584A (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58165584A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02294575A (ja) * | 1989-05-10 | 1990-12-05 | Ebara Corp | 真空排気装置及びその再生方法 |
| JPH0480983U (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-14 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS456064Y1 (ja) * | 1967-08-14 | 1970-03-25 |
-
1982
- 1982-03-26 JP JP4873282A patent/JPS58165584A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS456064Y1 (ja) * | 1967-08-14 | 1970-03-25 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02294575A (ja) * | 1989-05-10 | 1990-12-05 | Ebara Corp | 真空排気装置及びその再生方法 |
| JPH0480983U (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-14 |
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