JPS6138178A - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
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- JPS6138178A JPS6138178A JP15826284A JP15826284A JPS6138178A JP S6138178 A JPS6138178 A JP S6138178A JP 15826284 A JP15826284 A JP 15826284A JP 15826284 A JP15826284 A JP 15826284A JP S6138178 A JPS6138178 A JP S6138178A
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- plate
- bypass
- exhaust
- gas
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は真空排気装置に係シ、特に核装置用真空チャン
バの真空排気に好適な複合クライオポンプを主排気ポン
プとする真空排気装置に関する。
バの真空排気に好適な複合クライオポンプを主排気ポン
プとする真空排気装置に関する。
核装置(核融合装置)では、高温プラズマ作成の段階で
重水素り、やトリチウムT、などの水素同位体ガス、ヘ
リウムガス等が発生する。この中で、水素同位体ガスは
、燃料として再利用される。
重水素り、やトリチウムT、などの水素同位体ガス、ヘ
リウムガス等が発生する。この中で、水素同位体ガスは
、燃料として再利用される。
このため、核装置用真空チャンバを排気する真空ポンプ
としては、ガスの種類によって選択排気できる機能を有
している複合クライオポンプが有効であり、この複合ク
ライオポンプは、一般に第4図に示す如くなっている。
としては、ガスの種類によって選択排気できる機能を有
している複合クライオポンプが有効であり、この複合ク
ライオポンプは、一般に第4図に示す如くなっている。
第4図において複合クライオポンプ10は、ポンプケー
ス12の内部にシェブロンあるいはルーパ形状の凝縮板
14と、活性炭等の吸着剤を表面に接着した吸着板16
とが装着してある。ポンプケース12の一側、即ち、真
空チャンバに接続される側にはゲートパルプ18が設け
てあシ、ポンプケース12の他側、即ち、粗引き排気系
に接続される側には、フォアバルブ20が設けである。
ス12の内部にシェブロンあるいはルーパ形状の凝縮板
14と、活性炭等の吸着剤を表面に接着した吸着板16
とが装着してある。ポンプケース12の一側、即ち、真
空チャンバに接続される側にはゲートパルプ18が設け
てあシ、ポンプケース12の他側、即ち、粗引き排気系
に接続される側には、フォアバルブ20が設けである。
なお、第4図に示した符号22は、吸着板16を冷却す
る冷却材部である。
る冷却材部である。
凝縮板14と吸着板16とは、共に液体ヘリウムによっ
て冷却されておシ、凝縮板14に蒸気圧の低い水素同位
体を凝縮させ、吸着板16にヘリウムガスを吸着させる
ことによシ、真空チャンバを真空排気する4、シかしな
がら、凝縮あるいは吸着量が一定量を越えると、排気機
能が低下するため、定期的に排気運転を停止して吸着板
16と凝縮板14との脱ガス、即ち再生運転を行う必要
がある。このため、核装置用の真空排気装置としては、
IEEE (1979年)におけるDonQ、Coff
1n。
て冷却されておシ、凝縮板14に蒸気圧の低い水素同位
体を凝縮させ、吸着板16にヘリウムガスを吸着させる
ことによシ、真空チャンバを真空排気する4、シかしな
がら、凝縮あるいは吸着量が一定量を越えると、排気機
能が低下するため、定期的に排気運転を停止して吸着板
16と凝縮板14との脱ガス、即ち再生運転を行う必要
がある。このため、核装置用の真空排気装置としては、
IEEE (1979年)におけるDonQ、Coff
1n。
Charles RoWaHhcrs等による”Vac
uumpumping of Tritium i
n Fusion powerReactors ”と
題する文献に示されているように、真空チャンバと粗引
き排気系の中間に2台の複合クライオポンプを並列に配
置し、両ポンプを排気と再生の交互に運転する、いわゆ
るバッチ運転を行うよう構成してある。複合クライオポ
ンプ10の再生は、吸着板16の加熱→ヘリウムガスの
排気→凝縮板14の加熱→水素同位体の排気→凝縮板1
4及び吸着板16の冷却、の順に行われ、水素同位体と
ヘリウムガスが分離して排気される。
uumpumping of Tritium i
n Fusion powerReactors ”と
題する文献に示されているように、真空チャンバと粗引
き排気系の中間に2台の複合クライオポンプを並列に配
置し、両ポンプを排気と再生の交互に運転する、いわゆ
るバッチ運転を行うよう構成してある。複合クライオポ
ンプ10の再生は、吸着板16の加熱→ヘリウムガスの
排気→凝縮板14の加熱→水素同位体の排気→凝縮板1
4及び吸着板16の冷却、の順に行われ、水素同位体と
ヘリウムガスが分離して排気される。
即ち、再生手順は、まずゲートバルブ18を閉じてフォ
アパルプ20を開き、吸着板16の冷却を行っている液
体ヘリウムを排除すると同時に、吸着板16と冷却材部
22との間に配設したヒータで吸着板16を30に程度
に加熱し、吸着板16から脱離するヘリウムガスを粗引
き排気系によって排気することにょ9、吸着板16を再
生する。次に、凝縮板14を加熱し、凝縮板14がら蒸
発する水素同位体ガスをヘリウムガスと同じ経路で粗引
き排気系によって排気する。第5図はこの再生過程にお
ける凝縮板14、吸着板16の温度及び複合クライオポ
ンプ/’0内の圧力変化の一例を示したものである。
アパルプ20を開き、吸着板16の冷却を行っている液
体ヘリウムを排除すると同時に、吸着板16と冷却材部
22との間に配設したヒータで吸着板16を30に程度
に加熱し、吸着板16から脱離するヘリウムガスを粗引
き排気系によって排気することにょ9、吸着板16を再
生する。次に、凝縮板14を加熱し、凝縮板14がら蒸
発する水素同位体ガスをヘリウムガスと同じ経路で粗引
き排気系によって排気する。第5図はこの再生過程にお
ける凝縮板14、吸着板16の温度及び複合クライオポ
ンプ/’0内の圧力変化の一例を示したものである。
第5図に示すように、吸着板16の再生過程においては
、吸着板16の加熱に伴うヘリウムガスの脱離によシ、
温度上昇とともにポンプケース12内の圧力も上昇する
。吸着板16が温度T。
、吸着板16の加熱に伴うヘリウムガスの脱離によシ、
温度上昇とともにポンプケース12内の圧力も上昇する
。吸着板16が温度T。
(30に程度)まで上昇すると、吸着したヘリウムガス
の大部分が脱離して、圧力がP、をピークに降下する。
の大部分が脱離して、圧力がP、をピークに降下する。
加熱時間t、は、ヒータ容量によって制御しうるが、急
速な加熱は吸着剤内部でガスが急激に膨張し、気孔が崩
壊する。また、ポンプケース12の圧力が高くなるため
、蒸発したヘリウムガスによる熱伝達が促進され、凝縮
板14上の水素同位体も蒸発してヘリウムガスに混入す
る恐れがある。このため、加熱時間には余裕をもたせる
必要がある。一方、圧力の降下時間t、は粗引き排気系
の排気能力による。粗引き排気系は、一般にターボ分子
ポンプを含めて構成されておシ、同ポンプの排気速度が
大きいため、短時間で初期圧力までの排気を完了し得る
。
速な加熱は吸着剤内部でガスが急激に膨張し、気孔が崩
壊する。また、ポンプケース12の圧力が高くなるため
、蒸発したヘリウムガスによる熱伝達が促進され、凝縮
板14上の水素同位体も蒸発してヘリウムガスに混入す
る恐れがある。このため、加熱時間には余裕をもたせる
必要がある。一方、圧力の降下時間t、は粗引き排気系
の排気能力による。粗引き排気系は、一般にターボ分子
ポンプを含めて構成されておシ、同ポンプの排気速度が
大きいため、短時間で初期圧力までの排気を完了し得る
。
吸着板16の排気が完了したことを確認すると同時に凝
縮板14の再生に入シ、凝縮板14を温度T、(20〜
30K)まで加熱し、蒸発した水素同位体ガスを排気す
る。この凝縮板14の再生時間は、吸着板16の場合と
それほど大きな相違はない。圧力P2は、核反応によっ
て生成される水素同位体ガス量がヘリウムガス量に比べ
て多いため、圧力P、よりも高くなっている。凝縮板1
4の再生過程において吸着板16の温度をT。
縮板14の再生に入シ、凝縮板14を温度T、(20〜
30K)まで加熱し、蒸発した水素同位体ガスを排気す
る。この凝縮板14の再生時間は、吸着板16の場合と
それほど大きな相違はない。圧力P2は、核反応によっ
て生成される水素同位体ガス量がヘリウムガス量に比べ
て多いため、圧力P、よりも高くなっている。凝縮板1
4の再生過程において吸着板16の温度をT。
からTs (約100K)まで加熱しているのは、凝
縮板14から蒸発した水素同位体ガスが、吸着板16に
吸着されるのを防止するためである。
縮板14から蒸発した水素同位体ガスが、吸着板16に
吸着されるのを防止するためである。
再生完了後、次の真空チャンバの排気に備えて凝縮板1
4と吸着板16とを液体ヘリウムによシ冷却する。しか
し、前述したように、吸着板16の温度が100にと高
いため、かなシの冷却時間を必要となる。この冷却時間
を含め、複合クライオポンプ10の再生時間を総合する
と約90分を要し、その大部分が凝縮板14と吸着板1
6との加熱及び冷却に要する時間となっている。
4と吸着板16とを液体ヘリウムによシ冷却する。しか
し、前述したように、吸着板16の温度が100にと高
いため、かなシの冷却時間を必要となる。この冷却時間
を含め、複合クライオポンプ10の再生時間を総合する
と約90分を要し、その大部分が凝縮板14と吸着板1
6との加熱及び冷却に要する時間となっている。
このように、第4図に示した複合クライオポンプにおい
ては、凝縮板14と吸着板16とを同時に加熱再生する
ことができガいため、再生プロセスにかなりの時間を要
し、充分な再生が得られず、また再生運転の手順を誤る
と、選択排気したガスが混合する虞れがある。この問題
を解決する手段として、同文献には、仕切弁によってポ
ンプケース12を凝縮板側と吸着板側の2室に分離する
ことによシ、凝縮板14と吸着板16との加熱過程を同
時に行う方法が提案されている。
ては、凝縮板14と吸着板16とを同時に加熱再生する
ことができガいため、再生プロセスにかなりの時間を要
し、充分な再生が得られず、また再生運転の手順を誤る
と、選択排気したガスが混合する虞れがある。この問題
を解決する手段として、同文献には、仕切弁によってポ
ンプケース12を凝縮板側と吸着板側の2室に分離する
ことによシ、凝縮板14と吸着板16との加熱過程を同
時に行う方法が提案されている。
第6図は、ポンプケース12を凝縮板側と吸着板側とに
分離できる複合クライオポンプを示したものである。第
6図に示した複合クライオポンプ24は、ポンプケース
12に仕切弁26が設けてあシ、凝縮板14が配設して
ある上流側真空室28と、吸着板16が配設してある下
流側真空室30とに分割できるようになっている。この
ような複合タライオポンプ24の再生手段は、グー、ト
バルプ18と仕切弁26とを閉じ、フォアパルプ20を
開いた状態で、凝縮板14と吸着板16とをほぼ同時に
加熱し、吸着板16から下流側真空室30に脱離したヘ
リウムガスの排気を完了する。
分離できる複合クライオポンプを示したものである。第
6図に示した複合クライオポンプ24は、ポンプケース
12に仕切弁26が設けてあシ、凝縮板14が配設して
ある上流側真空室28と、吸着板16が配設してある下
流側真空室30とに分割できるようになっている。この
ような複合タライオポンプ24の再生手段は、グー、ト
バルプ18と仕切弁26とを閉じ、フォアパルプ20を
開いた状態で、凝縮板14と吸着板16とをほぼ同時に
加熱し、吸着板16から下流側真空室30に脱離したヘ
リウムガスの排気を完了する。
その後、仕切弁26を開いて凝縮板14から上流側真空
室28に蒸発した水素同位体ガスをヘリウムガスと同一
経路で排気する。この場合の凝縮板14、吸着板16の
温度及び上、下流側真空室28.30の圧力の経時変化
を第7図に示す。
室28に蒸発した水素同位体ガスをヘリウムガスと同一
経路で排気する。この場合の凝縮板14、吸着板16の
温度及び上、下流側真空室28.30の圧力の経時変化
を第7図に示す。
第6図に示した複合クライオポンプ24にあって、は、
ヘリウムガスの排気完了後、直ちに水素同位体ガスの排
気を行うことができるため、第7図に示されるように凝
縮板14を加熱する時間t。
ヘリウムガスの排気完了後、直ちに水素同位体ガスの排
気を行うことができるため、第7図に示されるように凝
縮板14を加熱する時間t。
たけ再生時間を短縮することができる。しかしながら、
吸着板16を短時間で温度T、からT、まで加熱する必
要があシ、前述の場合よシもヒータ容量を大きくする必
要がある。また吸着板16の冷却時間は短縮されない。
吸着板16を短時間で温度T、からT、まで加熱する必
要があシ、前述の場合よシもヒータ容量を大きくする必
要がある。また吸着板16の冷却時間は短縮されない。
更に、蒸発した水素同位体ガスは、ヘリウムガスを排気
する間排気しないで上流側真空室内に貯溜しておくため
、圧力がP、まで上昇する。この圧力は、水素同位体ガ
スが貯溜される上流側真空室28の容積が、仕切りによ
って縮小されているため、仕切弁26がない場合の貯溜
圧力よりも高くなる。また、第8図に示しだ水素ガスの
圧力と温度の爆発範囲との関係から、水素ガスの爆発限
界は圧力が低くなるほど爆発温度も下がシ、上流側真空
室28の大きさによっては万一上流側真空室28にリー
クがあった場合、爆発範囲内に入シ、上述のヒータ等を
点火源として爆発する危険性を含んでいる。
する間排気しないで上流側真空室内に貯溜しておくため
、圧力がP、まで上昇する。この圧力は、水素同位体ガ
スが貯溜される上流側真空室28の容積が、仕切りによ
って縮小されているため、仕切弁26がない場合の貯溜
圧力よりも高くなる。また、第8図に示しだ水素ガスの
圧力と温度の爆発範囲との関係から、水素ガスの爆発限
界は圧力が低くなるほど爆発温度も下がシ、上流側真空
室28の大きさによっては万一上流側真空室28にリー
クがあった場合、爆発範囲内に入シ、上述のヒータ等を
点火源として爆発する危険性を含んでいる。
このように、第6図に示した複合クライオポンプ24を
用いた場合においても、上流側真空室28と下流側真空
室30との粗引き排気系が共通であるため、仕切弁26
を開いて水素同位体ガスを排気する過程で、吸着板16
に同ガスが吸着されるのを防止するだめ、吸着板16を
100に程度に加熱する必要がちシ、大幅な再生時間の
短縮は期待できない。また、下流側真空室30内のヘリ
ウムガスを排気する間、水素同位体ガスを上流側真空室
28内において10Torr前後の高圧状態で混在する
中で爆発の危険性を含んでいる。
用いた場合においても、上流側真空室28と下流側真空
室30との粗引き排気系が共通であるため、仕切弁26
を開いて水素同位体ガスを排気する過程で、吸着板16
に同ガスが吸着されるのを防止するだめ、吸着板16を
100に程度に加熱する必要がちシ、大幅な再生時間の
短縮は期待できない。また、下流側真空室30内のヘリ
ウムガスを排気する間、水素同位体ガスを上流側真空室
28内において10Torr前後の高圧状態で混在する
中で爆発の危険性を含んでいる。
本発明は、再生ガスの排気路路を工夫することによシ、
再生能率が良く安全性に優れた核装置用真空排気装置を
提供することを目的とする。
再生能率が良く安全性に優れた核装置用真空排気装置を
提供することを目的とする。
本発明は、複合クライオポンプの再生プロセスにおいて
、ポンプ内の圧力及び温度の経時変化について検討した
結果、凝縮板と吸着板とを加熱した際に発生するガスの
排気時間に比して、吸着板と凝縮板の加熱及び冷却時間
が数倍もかがゑことに着目し、加熱、冷却時間を短縮す
る手段として凝縮板から蒸発するガス専用のバイパス排
気経路を設けることによシ、凝縮板から蒸発したガスが
吸着板で吸着されるのを防ぐために従来設けていた吸着
板の再加熱過程を削除できるように構成したものである
。
、ポンプ内の圧力及び温度の経時変化について検討した
結果、凝縮板と吸着板とを加熱した際に発生するガスの
排気時間に比して、吸着板と凝縮板の加熱及び冷却時間
が数倍もかがゑことに着目し、加熱、冷却時間を短縮す
る手段として凝縮板から蒸発するガス専用のバイパス排
気経路を設けることによシ、凝縮板から蒸発したガスが
吸着板で吸着されるのを防ぐために従来設けていた吸着
板の再加熱過程を削除できるように構成したものである
。
本発明に係る真空排気装置の好ましい実施例左、添付図
面に従って詳説する。なお、前記従来技術において説明
した部分に対応する部分については、同−の符号を付し
、その説明は省略する。
面に従って詳説する。なお、前記従来技術において説明
した部分に対応する部分については、同−の符号を付し
、その説明は省略する。
第1図は、本発明に係る真空排気装置の実施例の概略構
成図である。第1図において真空排気装置は、一対の複
合クライオポンプ24.32が配設されている。複合ク
ライオポンプ32は、′複合クライオポンプ24と同一
の構造をしておシ、仕切弁34により凝縮板36が配設
された上流側真空室38と、吸着板40が配設された下
流側真空室42とに分割される。複合クライオポンプ2
4゜32は、それぞれ上流側真空室28.38がゲート
パルプ18.44を介して配管46,48によシ真空チ
ャ/バ50に接続されている。また、下流側真空室30
.42は、フォアパルプ20゜52を介して配管54.
56によシ粗引き排気系58に接続してある。
成図である。第1図において真空排気装置は、一対の複
合クライオポンプ24.32が配設されている。複合ク
ライオポンプ32は、′複合クライオポンプ24と同一
の構造をしておシ、仕切弁34により凝縮板36が配設
された上流側真空室38と、吸着板40が配設された下
流側真空室42とに分割される。複合クライオポンプ2
4゜32は、それぞれ上流側真空室28.38がゲート
パルプ18.44を介して配管46,48によシ真空チ
ャ/バ50に接続されている。また、下流側真空室30
.42は、フォアパルプ20゜52を介して配管54.
56によシ粗引き排気系58に接続してある。
上流側真空室28.38には、それぞれバイパス排気口
60.62が形成してあシ、このバイパス排気口60.
62がバイパスパルプ64.66を介してバイパス管6
8.70に接続され、粗引き排気系58に連通される。
60.62が形成してあシ、このバイパス排気口60.
62がバイパスパルプ64.66を介してバイパス管6
8.70に接続され、粗引き排気系58に連通される。
なお、吸着板16゜40は、冷却材部22.72内の液
体ヘリウムによ、94.2 Kに冷却されており、凝縮
板14.36も液体ヘリウムによ!D42Kに冷却され
ている。
体ヘリウムによ、94.2 Kに冷却されており、凝縮
板14.36も液体ヘリウムによ!D42Kに冷却され
ている。
本実施例による真空排気装置と従来の真空排気装置との
相違は、複合クジイオポンプ24.32の再生時に上流
側真空室28.38の排気用として、それぞれバイパス
排気管68.70を新設したことにある。即ち、複合ク
ライオポンプ24を再生する場合、ゲートパルプ18、
仕切弁26、及びフォアパルプ20を閉じ、バイパスパ
ルプ64を開いて凝縮板14と吸着板16をほぼ同時に
加熱を開始する。そして、まず、凝縮板14から蒸発す
る水素同位体ガスを上流側真空室28から排気する。そ
の後、バイパスパルプ64を閉じ、フォアパルプ20を
開となるようにパルプを切シ換え、下流側真空室30内
の吸着板16からのヘリウム脱離ガスを下部排気口から
排気する。
相違は、複合クジイオポンプ24.32の再生時に上流
側真空室28.38の排気用として、それぞれバイパス
排気管68.70を新設したことにある。即ち、複合ク
ライオポンプ24を再生する場合、ゲートパルプ18、
仕切弁26、及びフォアパルプ20を閉じ、バイパスパ
ルプ64を開いて凝縮板14と吸着板16をほぼ同時に
加熱を開始する。そして、まず、凝縮板14から蒸発す
る水素同位体ガスを上流側真空室28から排気する。そ
の後、バイパスパルプ64を閉じ、フォアパルプ20を
開となるようにパルプを切シ換え、下流側真空室30内
の吸着板16からのヘリウム脱離ガスを下部排気口から
排気する。
以上の再生過程における圧力及び温度と経過時間の関係
を示すと第2図のようになる。本実施例では、凝縮板1
4と吸着板16との再生が完了するまで仕切弁26を閉
じているため、水素同位体ガスとヘリウムガスが混合す
る心配がなく、従来必要であった凝縮板14の再生時の
吸着板16の再加熱動作を省略することができる。従っ
て、排気を完了するまでの時間は、従来とほぼ変わらな
いが、吸着板16はTI (3oK程度)までしか加熱
されていないので冷却に要する時間が大幅に短縮され、
複合クライオポンプの再生時間を第4図に示した複合ク
ライオポンプの約半分に短縮することができる。
を示すと第2図のようになる。本実施例では、凝縮板1
4と吸着板16との再生が完了するまで仕切弁26を閉
じているため、水素同位体ガスとヘリウムガスが混合す
る心配がなく、従来必要であった凝縮板14の再生時の
吸着板16の再加熱動作を省略することができる。従っ
て、排気を完了するまでの時間は、従来とほぼ変わらな
いが、吸着板16はTI (3oK程度)までしか加熱
されていないので冷却に要する時間が大幅に短縮され、
複合クライオポンプの再生時間を第4図に示した複合ク
ライオポンプの約半分に短縮することができる。
核装置の真空チャンバ50は、容積が大きいため、実際
の排気には第1図に示した排気装置を一つのユニットと
して多数のユニットで構成された排気システムによるよ
うになる。このため、再生時間の短縮は、真空排気装置
の小形化、おるいは排気システムのポンプ数削減につな
がシ極めて有効である。また、上述の吸着板の再加熱過
程の削除によって、加熱に要する電力及び冷却用液体ヘ
リウムの消費量を大幅に削減できる。更に、水素同位体
ガスから先に排気することによって、同ガスの上流側真
空室28内の圧力P4は、第4図に示した従来の複合ク
ライオポンプ10の圧力P。
の排気には第1図に示した排気装置を一つのユニットと
して多数のユニットで構成された排気システムによるよ
うになる。このため、再生時間の短縮は、真空排気装置
の小形化、おるいは排気システムのポンプ数削減につな
がシ極めて有効である。また、上述の吸着板の再加熱過
程の削除によって、加熱に要する電力及び冷却用液体ヘ
リウムの消費量を大幅に削減できる。更に、水素同位体
ガスから先に排気することによって、同ガスの上流側真
空室28内の圧力P4は、第4図に示した従来の複合ク
ライオポンプ10の圧力P。
よりわずかに高くなる程度ですみ、同ガスによる爆発を
防止することができる。
防止することができる。
第3図は、本発明に係る排気装置の他の実施例を示した
ものである。第3図において上流側真空室28.38に
設けたバイパス管68.70は、下流側真空室30.4
2が接続される粗引き排気系58とは異なる粗引き排気
系74に接続されている。このように構成することによ
シ、上流側真空室と下流側真空室とを同時に再生するこ
とができ、複合クライオポンプの再生時間を大幅に短縮
することができる。
ものである。第3図において上流側真空室28.38に
設けたバイパス管68.70は、下流側真空室30.4
2が接続される粗引き排気系58とは異なる粗引き排気
系74に接続されている。このように構成することによ
シ、上流側真空室と下流側真空室とを同時に再生するこ
とができ、複合クライオポンプの再生時間を大幅に短縮
することができる。
なお、前記実施例では、複合クライオポンプが2ヶ並列
に設けられた場合について説明したが、3ヶ以上を並列
に設けてもよい。
に設けられた場合について説明したが、3ヶ以上を並列
に設けてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、再生時間の短縮
及び吸着板の再加熱過程の削除によシ再生能率が良好で
運転経費が少なく、また爆発の危陰性がなく安全性に優
れた真空排気装置が得られる。
及び吸着板の再加熱過程の削除によシ再生能率が良好で
運転経費が少なく、また爆発の危陰性がなく安全性に優
れた真空排気装置が得られる。
第1図は本発明に係る真空排気装置の実施例の概略構成
図、第2図は第1図に示した真空排気装置の再生時間と
再生時の圧力変化とを示す図、第3図は本発明に係る真
空排気装置の他の実施例の概略構成図、第4図は従来の
複合クライオポンプの構造図、第5図は第4図に示した
複合クライオポンプの再生時間と再生時の圧力変化とを
示す図、第6図は真空室を仕切弁によシ分割でざる複合
クライオポンプの構造図、第7図は第6図に示した複合
クシイオポンプの再生時間と再生時の圧力変化とを示す
図、第8図は水素ガスの爆発限界を示す図である。 10.24.32・・・複合クライオポンプ、12・・
・ポンプケース、14.36・・・凝縮板、16.40
・・・吸着板、18.44・・・ゲートバルブ、2o。 52・・・フォアバルブ、22.72・・・冷却材部、
26.34・・・仕切弁、28.38・・・上流側真空
室、30.42・・・下流側真空室、50・・・真空チ
ャンバ、58.74・・・粗引き排気系、60.62・
・・バイパスm気口、64. s 6・・・バイパスバ
ルブ、68゜70・・・バイパス管。
図、第2図は第1図に示した真空排気装置の再生時間と
再生時の圧力変化とを示す図、第3図は本発明に係る真
空排気装置の他の実施例の概略構成図、第4図は従来の
複合クライオポンプの構造図、第5図は第4図に示した
複合クライオポンプの再生時間と再生時の圧力変化とを
示す図、第6図は真空室を仕切弁によシ分割でざる複合
クライオポンプの構造図、第7図は第6図に示した複合
クシイオポンプの再生時間と再生時の圧力変化とを示す
図、第8図は水素ガスの爆発限界を示す図である。 10.24.32・・・複合クライオポンプ、12・・
・ポンプケース、14.36・・・凝縮板、16.40
・・・吸着板、18.44・・・ゲートバルブ、2o。 52・・・フォアバルブ、22.72・・・冷却材部、
26.34・・・仕切弁、28.38・・・上流側真空
室、30.42・・・下流側真空室、50・・・真空チ
ャンバ、58.74・・・粗引き排気系、60.62・
・・バイパスm気口、64. s 6・・・バイパスバ
ルブ、68゜70・・・バイパス管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、凝縮板が配設してある上流側真空室と、吸着板が配
設してある下流側真空室と、この下流側真空室と前記上
流側真空室とを連通・遮断する仕切弁とを有する複数の
複合クライオポンプと、これら各複合クライオポンプの
上流側真空室に接続する真空容器と前記上流側真空室と
を連通・遮断するゲートバルブと、 前記各複合クライオポンプの前記下流側真空室にフオア
バルブを介して接続した排気装置と、前記凝縮板と前記
吸着板とを冷却している冷媒と、を有する真空排気装置
において、 前記各複合クライオポンプの上流側真空室に形成したバ
イパス排気口と、 これら各複合クライオポンプのバイパス排気口に設けた
バイパスバルブと、 このバイパスバルブを介して前記各バイパス排気口と排
気手段とを連結するバイパス管と、を設けたことを特徴
とする真空排気装置。 2、前記排気手段は、前記各下流側真空室が接続してあ
る排気装置であることを特徴とする特許請求の範囲第1
項に記載の真空排気装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15826284A JPS6138178A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15826284A JPS6138178A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 真空排気装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6138178A true JPS6138178A (ja) | 1986-02-24 |
Family
ID=15667772
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15826284A Pending JPS6138178A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6138178A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6158226A (en) * | 1996-12-16 | 2000-12-12 | Ebara Corporation | Trapping device |
JP2016223400A (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-28 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 | クライオポンプ |
WO2024041868A1 (en) * | 2022-08-22 | 2024-02-29 | Uk Atomic Energy Authority | Improvements in and relating to fusion reactor fuel recovery |
-
1984
- 1984-07-27 JP JP15826284A patent/JPS6138178A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6158226A (en) * | 1996-12-16 | 2000-12-12 | Ebara Corporation | Trapping device |
JP2016223400A (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-28 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 | クライオポンプ |
WO2024041868A1 (en) * | 2022-08-22 | 2024-02-29 | Uk Atomic Energy Authority | Improvements in and relating to fusion reactor fuel recovery |
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