JP2011153846A - X線検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明はX線検出装置に関し、X線透過膜に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたX線検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料室とX線検出器との間に設けられたゲート弁3と、その一端が前記ゲート弁3に、他端がX線検出器の第1の容器Aに接続されたベローズ12と、その一端にX線透過膜7が形成された第2の容器Bと、該第2の容器B内に取り付けられたX線検出センサ1aと、前記第1の容器Aと第2の容器Bとで仕切られる空間を真空にする第1の非蒸発型ゲッター9と、前記第2の容器内を真空にする第2の非蒸発型ゲッター8と、前記X線検出器の空間をシールするOリング10とを有して構成される。
【選択図】図1
【解決手段】試料室とX線検出器との間に設けられたゲート弁3と、その一端が前記ゲート弁3に、他端がX線検出器の第1の容器Aに接続されたベローズ12と、その一端にX線透過膜7が形成された第2の容器Bと、該第2の容器B内に取り付けられたX線検出センサ1aと、前記第1の容器Aと第2の容器Bとで仕切られる空間を真空にする第1の非蒸発型ゲッター9と、前記第2の容器内を真空にする第2の非蒸発型ゲッター8と、前記X線検出器の空間をシールするOリング10とを有して構成される。
【選択図】図1
Description
本発明はX線検出装置に関し、X線透過膜を薄くできるようにしたX線検出装置に関する。
X線マイクロアナライザ等においては、冷却された半導体X線検出器を用いて検出したX線を電気信号に変換し、変換された電気信号をマルチチャンネル波高分析器に導いて試料から放射されたX線のスペクトルを表示するようにしている。
このような装置においては、試料室側から飛散してくる汚染物質が検出器に付着して検出器を劣化させないように、検出器は保護筒によって試料室側から仕切られた空間に配置されている。そして、保護筒の前面に配置されたX線透過薄膜を介して試料からのX線は検出器に入射するようになっている。
この薄膜はX線の透過能を良くするためにごく薄く形成されており、一方保護筒の内部も真空排気されているため、試料室の排気が十分されていない状態では試料室と保護筒との圧力差により前記薄膜が破損してしまう。従って、このような事態を防ぐため、保護筒の先端には仕切弁が配置されており、試料室が十分排気された段階で仕切弁を開くようにしている。
図6は従来装置の動作を示す図である。(a)はリトラクト状態を、(b)はインサート状態を示している。図において、Aはベローズ12が取り付けられた第1の容器、Bは該第1の容器A内に設けられた第2の容器である。第2の容器B内にはX線検出センサ1と、該X線検出センサ1がその先端に取り付けられたクライオスタット14が設けられている。該クライオスタット14の先端には、液体窒素が貯留された容器15が設けられている。このため、X線検出センサ1の温度は−170℃程度になり、熱雑音の影響を軽減する。
3は試料室(図示せず)とX線検出装置間を接続するゲート弁である。X線検出装置がリトラクト(退避)状態では、該ゲート弁3は閉じており、X線検出装置が試料室へのインサート状態では開いている。5は第2の容器B内に空けられた空穴である。
X線検出センサ1を含む空間2は、液体窒素による吸着剤の冷却で高真空に維持される。ゲート弁3でTEM試料室(図示せず)と隔離される空間4と空間2との間には空穴5が穿たれており、これらの空間4と2に圧力差が生じないような働きをしている。
X線分析時に、ゲート弁3を解放し、X線検出センサ1をTEM試料室内に挿入する際にも、TEM試料室内は高真空であるため、これとつながった空間2内の吸着剤への負荷が増大し、これらの真空維持性能を劣化させることはない。
従来のこの種の装置としては、第2の仕切弁を開いた後、試料室とつながる第1の仕切弁を開くことにより、試料室側の圧力とX線検出装置側の圧力とを同じにし、X線透過膜に圧力差がかからないようにした技術が知られている(例えば特許文献1参照)。また、試料室が焼き出しされる前に、X線検出素子を試料室から引き出し、その後試料室の焼き出しを行なうようにした技術が知られている(例えば特許文献2参照)。
前述したし従来技術をシリコンドリフト型X線検出センサ(SDD)の使用に置き換えた場合、液体窒素による極低温までの冷却は不要となるが、その代わりに吸着剤の冷却による真空維持の機能もなくなってしまう。この場合のSDD素子の冷却温度は−30℃程度である。液体窒素を使わなくてもよいことがSDD採用の大きなメリットの一つであることから、液体窒素による吸着剤冷却での高真空維持の代わりに、検出器内部の真空を維持しつつ、X線窓(X線透過膜)に圧力がかかってX線透過膜が破損することがないようにすることが必要となる。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、薄いX線透過性能の優れる窓を使用しつつ、この窓に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたX線検出装置を提供することを目的としている。
上記した課題を解決するために、本発明は以下のような構成をとっている。
(1)請求項1記載の発明は、試料室とX線検出器との間に設けられたゲート弁と、その一端が前記ゲート弁に、他端が第1の容器に接続されたベローズと、前記第1の容器内に配置され、その一端にX線透過膜が形成された第2の容器と、該第2の容器内に取り付けられたシリコンドリフト型X線検出センサと、該シリコンドリフト型X線検出センサと接着されたペルチエ素子と、前記第1の容器と第2の容器とで仕切られる空間を真空にする第1の非蒸発型ゲッターと、前記第2の容器内を真空にする第2の非蒸発型ゲッターと、前記第1の容器内の空間をシールするOリングとを有し、前記第2の容器は一部区間がテーパー状をなすように形成され、前記シリコンドリフト型X線検出センサを分析位置/待避位置にそれぞれ移動させる際に、前記Oリングによりその左右の空間を分離/一体化できるように構成したことを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明は、試料室とX線検出器との間に設けられたゲート弁と、その一端が前記ゲート弁に、他端が第1の容器に接続されたベローズと、前記第1の容器内に配置され、その一端にX線透過膜が形成された第2の容器と、該第2の容器内に取り付けられたシリコンドリフト型X線検出センサと、該シリコンドリフト型X線検出センサと接着されたペルチエ素子と、前記第1の容器と第2の容器とで仕切られる空間を真空にする第1の非蒸発型ゲッターと、前記第2の容器内を真空にする第2の非蒸発型ゲッターと、前記第1の容器内の空間をシールするOリングとを有し、前記第2の容器は一部区間がテーパー状をなすように形成され、前記シリコンドリフト型X線検出センサを分析位置/待避位置にそれぞれ移動させる際に、前記Oリングによりその左右の空間を分離/一体化できるように構成したことを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明は、試料室とX線検出器との間に設けられたゲート弁と、該ゲート弁と接続される一部区間をベローズとした第1の容器と、該第1の容器内に配置され、その一端にX線透過膜が形成され、かつその任意の位置に穴が穿たれた第2の容器と、該第2の容器内に取り付けられたシリコンドリフト型X線検出センサと、該シリコンドリフト型X線検出センサと接着されたペルチエ素子と、前記第1の容器に取り付けられた排気ポンプと、前記X線検出器側の空間をシールするOリングとを有し、前記第2の容器は一部区間がテーパー状をなすように形成され、前記シリコンドリフト型X線検出センサを分析位置/待避位置にそれぞれ移動させる際に、前記Oリングによりその左右の空間を分離/一体化できるように構成したことを特徴とする。
本発明は以下に示すような効果を有する。
(1)請求項1記載の発明によれば、X線検出器を分析位置/退避位置にそれぞれ移動させる際に、Oリングによりその左右の空間を分離/一体化できるようにしたので、X線透過膜にかかる圧力差を抑制することができ、この窓(X線透過膜)に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたX線検出装置を提供することができる。
(1)請求項1記載の発明によれば、X線検出器を分析位置/退避位置にそれぞれ移動させる際に、Oリングによりその左右の空間を分離/一体化できるようにしたので、X線透過膜にかかる圧力差を抑制することができ、この窓(X線透過膜)に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたX線検出装置を提供することができる。
(2)請求項2記載の発明によれば、X線検出器を分析位置/退避位置にそれぞれ移動させる際に、Oリングによりその左右の空間を分離/一体化できるようにしたので、X線透過膜にかかる圧力差を抑制することができ、この窓(X線透過膜)に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたX線検出装置を提供することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。図1は本発明の動作説明図である。図6と同一のものは同一の符号を付して示す。(a)はリトラクト(退避)状態、(b)はインサート状態である。図において、Aは第1の容器、Bは第2の容器である。12は該第1の容器Aと接続されたベローズ、3は該ベローズ12と接続されたゲート弁である。10は第1の容器Aと第2の容器B間をシールするOリングである。
7は第2の容器Bの先端に取り付けられた窓としてのX線透過膜である。第2の容器Bにおいて、1aはX線を検出するSDDセンサ、6はこのSDDセンサ1aと密着して取り付けられた冷却用のペルチエ素子である。該ベルチエ素子6による冷却温度は−30℃程度である。SDDセンサの場合、−30℃で冷却しても良好な熱雑音特性が得られる。14は該ペルチエ素子6と接続されたクライオスタット、11は該クライオスタット14と接続された放熱部である。8は第2の容器B内を高真空化する非蒸発型ゲッター、9は第1の容器A内を高真空化する非蒸発型ゲッターである。図に示すように、第2の容器Bは一部がテーパー状化されている。第2の容器Bの一部がテーパー状になっているので、Oリング10をスムーズに第2の容器Bにシールすることができる。このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。
SDDセンサ1aを冷却するために、ペルチエ素子6をSDDセンサ1aと密着させ、ペルチエ素子6をクライオスタット14を介して放熱部11に接続する。これらが含まれる空間2aは、非蒸発型ゲッター8を配置することによってこの内部を高真空に維持する。空間4aは非蒸発型ゲッター8とは別の非蒸発型ゲッター9により高真空に維持する。
ここで、(a)に示すリトラクト状態ではOリング10は機能していないので、非蒸発型ゲッター9はベローズ12を含む空間まで排気することになる。(b)に示すインサート状態では、ゲート弁3が開き、X線透過膜7は試料室と同じ真空中にさらされることになる。この状態において、試料室側の真空度は第2の容器B側の真空度と殆ど変わらないので、X線透過膜7が膜の両側の圧力差により破損することはない。
SDDセンサ1aを分析位置/退避位置にそれぞれ移動させる際に、Oリング10によって空間CとDとを分離させる。この結果、分離時(分析モード時)には空間CとDとが分離され、非蒸発型ゲッター9への負荷を最小限とすることができる。また、リトラクト時(運搬時やTEM側の保守作業時)には、ゲート弁3のSDDセンサ1a外側を窓(X線透過膜)への圧力差解消の目的で高真空維持することができる。
更に、SDDセンサ1a部分が完全に独立した真空系を持つことで、分析試料からのアウトガスなど、試料室に起因する真空悪化に対してSDDセンサ1aが受ける悪影響を完全になくすことができる。
図2は本発明の第2の実施例の動作説明図である。図は検出器ゲート弁格納時の状態を示している。図1と同一のものは、同一の符号を付して示す。この第2の実施例は、第1の実施例がX線検出器内の容器の空間を、分離された空間毎に非蒸発型ゲッターを設けていたのを、1個のイオンポンプ(SIP)で済むようにしたものである。図において、20は試料室を構成するカラムである。該カラム20とX線検出装置とがゲート弁21を介して接続されるようになっている。
Aは第1の容器、Bは該容器Aの内側に設けられた第2の容器である。図示されていないが、第2の容器は図1に示すようにその一部がテーパ状になっている。12はベローズであり、第1の容器Aの一部を構成している。該第2の容器BにX線透過膜7とSDDセンサ1aが取り付けられている。22は第1の容器Aに取り付けられた排気用のイオンポンプ(SIP)である。26は第2の容器Bに穿たれた穴である。25はSDDセンサ1aを含んで構成される検出器である。10は第1の容器Aに取り付けられた真空シール用のOリングである。このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。
ゲート弁21内に検出器25を格納している時には、一番後まで検出器25は下がり、Oリング10でシールをすることはない。よってイオンポンプ22では、空間A及びB、検出器内部を穴26から排気することになる。ゲート弁21でカラム20とは槽を遮断しているので、TEM側に与える影響はない。
図3は本発明の第2の実施例の動作説明図で、カラム挿入途中(ゲート弁オープン前)の状態を示している。この状態は数秒間だけ続くものである。図では、X線透過膜7とSDDセンサ1aは省略されている。カラム20に挿入する時、ゲート弁21がオープン前にこの図の位置で一時停止する。停止時間は2〜3秒程度である。この位置でOリング10で空間Aと空間Bとを仕切る。イオンポンプ22では空間B及び検出器内部を排気する。イオンポンプ22では、空間Aの部分を排気する必要はないので、負荷は減少する。
図4は本発明の第2の実施例の動作説明図で、ゲート弁オープン時の状態を示している。図ではX線透過膜7とSDDセンサ1aは省略されている。数秒間の一時停止後、ゲート弁21をオープンし、カラム20と空間Aとを繋げる。空間Aはできる限り小さい空間で作り、イオンポンプ22で十分に排気されていれば、検出器挿入後も含めて、カラム20への影響は少なくてすむ。カラム20の圧力変動があれば、即座にゲート弁を閉めて、検出器格納状態に戻る。
図5は本発明の第2の実施例の動作説明図で、カラム挿入時の状態を示している。ゲート弁21オープン後、カラム20の圧力に変動がなければ、所定の位置まで検出器25を挿入する。ゲート弁挿入後も空間B及び検出器内部はイオンポンプ22で排気され、イオンポンプ22をカラム20に晒すことはない。また、カラム20に空間B(ベローズの部分)負荷を与えることもない。ここで、イオンポンプ22により空間Bの真空度を10-5〜10-6Paに保持しておけば、カラム挿入時でもカラム20と空間Bの圧力差でX線透過膜7が破壊されることはない。
第2の実施例では、排気装置としてイオンポンプを用いた場合を例にとったが、本発明はこれに限るものではなく、非蒸発型ゲッターを用いてもよい。
この実施の形態によれば、X線検出器を分析位置/退避位置にそれぞれ移動させる際に、Oリングによりその左右の空間を分離/一体化できるようにしたので、X線透過膜にかかる圧力差を抑制することができ、この窓(X線透過膜)に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたX線検出装置を提供することができる。
この実施の形態によれば、X線検出器を分析位置/退避位置にそれぞれ移動させる際に、Oリングによりその左右の空間を分離/一体化できるようにしたので、X線透過膜にかかる圧力差を抑制することができ、この窓(X線透過膜)に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたX線検出装置を提供することができる。
本発明によれば、X線検出素子にシリコンドリフト型センサを使用しても、超薄膜をX線窓に使用することができるため、特に低エネルギー領域のX線感度が、耐大気圧窓を使用した場合にくらべ大幅に向上する。
液体窒素を使用せず、SDD採用の検出器で超薄膜をX線窓に使用するためには、通常はターボ分子ポンプなどの外部設置排気装置を接続せざるを得ず、振動の問題や排気管の取り外しが必要になるなど、使い勝手が悪い。検出器内部の真空を永続的に、かつ超薄型X線窓に圧力差を与えずに維持するために本発明の構造は有用である。
1a SDDセンサ
2a 空間
3 ゲート弁
4a 空間
6 ペルチェ素子
7 X線透過膜
8 非蒸発型ゲッター
9 非蒸発型ゲッター
10 Oリング
11 放熱部
12 ベローズ
14 クライオスタット
A 第1の容器
B 第2の容器
2a 空間
3 ゲート弁
4a 空間
6 ペルチェ素子
7 X線透過膜
8 非蒸発型ゲッター
9 非蒸発型ゲッター
10 Oリング
11 放熱部
12 ベローズ
14 クライオスタット
A 第1の容器
B 第2の容器
Claims (2)
- 試料室とX線検出器との間に設けられたゲート弁と、
その一端が前記ゲート弁に、他端が第1の容器に接続されたベローズと、
前記第1の容器内に配置され、その一端にX線透過膜が形成された第2の容器と、
該第2の容器内に取り付けられたシリコンドリフト型X線検出センサと、
該シリコンドリフト型X線検出センサと接着されたペルチエ素子と、
前記第1の容器と第2の容器とで仕切られる空間を真空にする第1の非蒸発型ゲッターと、
前記第2の容器内を真空にする第2の非蒸発型ゲッターと、
前記第1の容器内の空間をシールするOリングと、
を有し、前記第2の容器は一部区間がテーパー状をなすように形成され、
前記シリコンドリフト型X線検出センサを分析位置/待避位置にそれぞれ移動させる際に、前記Oリングによりその左右の空間を分離/一体化できるように構成したことを特徴とするX線検出装置。 - 試料室とX線検出器との間に設けられたゲート弁と、
該ゲート弁と接続される一部区間をベローズとした第1の容器と、
該第1の容器内に配置され、その一端にX線透過膜が形成され、かつその任意の位置に穴が穿たれた第2の容器と、
該第2の容器内に取り付けられたシリコンドリフト型X線検出センサと、
該シリコンドリフト型X線検出センサと接着されたペルチエ素子と、
前記第1の容器に取り付けられた排気ポンプと、
前記X線検出器側の空間をシールするOリングと、
を有し、前記第2の容器は一部区間がテーパー状をなすように形成され、
前記シリコンドリフト型X線検出センサを分析位置/待避位置にそれぞれ移動させる際に、前記Oリングによりその左右の空間を分離/一体化できるように構成したことを特徴とするX線検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010014104A JP2011153846A (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | X線検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010014104A JP2011153846A (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | X線検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011153846A true JP2011153846A (ja) | 2011-08-11 |
Family
ID=44539939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010014104A Withdrawn JP2011153846A (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | X線検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2011153846A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3166126A1 (en) | 2015-11-04 | 2017-05-10 | JEOL Ltd. | Charged particle beam system |
JP2017167030A (ja) * | 2016-03-17 | 2017-09-21 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | X線分析装置 |
CN111272798A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-06-12 | 旭科新能源股份有限公司 | 一种柔性薄膜测试装置及柔性薄膜生产线 |
-
2010
- 2010-01-26 JP JP2010014104A patent/JP2011153846A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US20170236680A1 (en) * | 2015-11-04 | 2017-08-17 | Jeol Ltd. | Charged Particle Beam System |
US10529530B2 (en) * | 2015-11-04 | 2020-01-07 | Jeol Ltd. | Charged particle beam system |
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CN111272798A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-06-12 | 旭科新能源股份有限公司 | 一种柔性薄膜测试装置及柔性薄膜生产线 |
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