JP4679181B2 - エネルギー分散型x線検出器および試料分析装置 - Google Patents
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(1)冷媒ガス(たとえばヘリウムガス)の圧縮膨張に伴う圧力変化を得るために冷凍機には機械的摺動部が存在しているが、冷凍機を長時間使用するとその摺動部が摩耗して圧縮効率が低下し、冷凍機の冷却性能が低下してしまう。
(2)冷凍機の内部を冷媒ガスが循環(クローズドサイクル)する構造であるため、冷凍機を長時間使用するとその冷媒ガスの純度劣化が起こり、冷凍機の冷却効率が低下する。
10は排気管であり、排気管10は真空容器7の先端部分に取り付けられている。図1に示すように、排気管10と筒状の真空容器先端部分で二重管が形成されるように、排気管10は真空容器7の先端部分に取り付けられている。排気管10の一端は真空シールリング11を介して試料容器2に取り付けられており、排気管10と真空容器7の間の空間gは、試料室5を介して真空ポンプ4により排気されている。一方、排気管10の他端には電磁弁12が取り付けられている。
図1において13はフランジであり、フランジ13は真空シールリング14を介して前記フランジ取付部8aにボルト15により固定されている。そして、第1の真空ベローズ16の一端がフランジ13に密着状態で取り付けられており、また、円盤状の固定金具17の上面が第1の真空ベローズ16の他端に密着状態で取り付けられている。さらに、第2の真空ベローズ18の一端が固定金具17の下面に密着状態で取り付けられている。このように、第1の真空ベローズ16と第2の真空ベローズ18は、固定金具17を介して連結されている。
なお、上述したフランジ13と第1の真空ベローズ16と固定金具17と第2の真空ベローズ18は、図2(b)に示すように一体的に構成されており、それらは装置組立時には一緒に前記真空容器7に取り付けられる。
また、図2(c)は固定金具17の斜視図であり、固定金具17の上面には低温端固定部17aが形成されている。また、固定金具17の中央部分には、その固定金具を貫通する空孔17bが形成されている。さらに固定金具17には、その固定金具を貫通する通気孔17cが形成されている。この通気孔17cは、図1に示すように、第1の真空ベローズ16の内側(すなわち冷凍機室19)と第2の真空ベローズ18の内側(すなわち冷凍機室20)をつなげる通気孔である。
このような構造の固定金具17は伝熱性の高い材料(たとえば銅)で作られている。一方、上述した第1の真空ベローズ16と第2の真空ベローズ18は、熱が伝わりにくい材料(たとえばSUS)で作られており、熱がより伝わりにくくするために薄く作られている。さらにベローズなのでその長さは長く(表面積は広く)、このような第1の真空ベローズ16と第2の真空ベローズ18は断熱性にたいへん優れている。加えて、これらの真空ベローズ(16,18)は防振性にも優れている。
図1に示すように、第2の真空ベローズ18の他端は真空シールリング22を介して真空容器7にボルト23により取り付けられている。そして、開閉蓋26が真空シールリング27を介して真空容器7(冷凍機室20を形成する形成部材)のフランジ取付部9aにボルト28により固定されている。この開閉蓋26には排気管29が取り付けられており、折り曲げ可能な排気管29は前記電磁弁12に接続されている。さらに、リークバルブ30が開閉蓋26に取り付けられている。
また、図1において31は冷凍機であり、フランジ32が冷凍機31に密着状態で取り付けられている(図2(d)参照)。このフランジ32は、真空シールリング33を介して前記フランジ13(冷凍機室19を形成する形成部材)にボルト34により固定されている。そして、冷凍機31の低温端(コールドヘッド)35は、前記固定金具17の低温端固定部17aにボルト36により固定されている。なお、ボルト36は、固定金具17の下面側から空孔17bを通り、低温端35の端面(37)中央部に形成された雌ネジにねじ込まれている。このネジ固定により、低温端35の端面37は固定金具17の低温端固定部17aに密着状態で固定される。
また、図1に示すように、伝熱棒38の一端が前記固定金具17の側面に取り付けられている。そして、X線検出器39がその伝熱棒38の他端に取り付けられており、X線検出器39はX線検出素子(半導体素子)40とFET41を備えている。このようなX線検出器39と伝熱棒38は真空容器7内部の真空室42に配置されており、さらにその真空室42にはゲッターポンプ43が配置されている。非蒸発型のゲッターポンプ43として、たとえばチタン金属が用いられている。
前記X線検出器39の前面にはベリリウム等からなるX線窓44が配置されており、このX線窓44は、真空容器7のX線通過孔45を塞ぐように真空容器7に密着状態で取り付けられている。試料3から発生した特性X線は、このX線窓44を通ってX線検出素子40で検出される。
以上、図1のエネルギー分散型X線検出器の構造を説明した。上記説明からわかるように、真空室42は気密に保持されており、真空室42はゲッターポンプ43により高真空に維持されている。そして、その真空室42の側壁である前記真空ベローズ(16,18)には、本発明における伝熱部材である固定金具17が取り付けられている。図1の例では、伝熱部材はその固定金具17と伝熱棒38で構成されており、その伝熱部材の一端部にX線検出器39が取り付けられ、伝熱部材の他端部に冷凍機31の低温端35が取り付けられている。なお、前記真空ベローズ(16,18)の外面は一周にわたって真空室42に面している。
また、上記説明からわかるように、冷凍機室(19,20)は気密に保持されている。この冷凍機室(19,20)は、隔壁である真空ベローズ(16,18)を介して真空室42と接続されており、その真空室42と真空的に完全に分離している。また、固定金具17の通気孔17cでつながった冷凍機室19と冷凍機室20は、排気管29、排気管10、試料室5を介して真空ポンプ4で高真空に排気されている。
このような構造のエネルギー分散型X線検出器において、X線検出素子40を冷却するときには冷凍機31の電源が入れられる。こうして冷凍機31の動作が開始されると、冷凍機31の内部を冷媒ガス(たとえばヘリウムガス)が圧縮膨張されながら循環し、冷凍機31の低温端35は極低温に冷却される。この低温端35における冷熱は、伝熱部材である固定金具17と伝熱棒38を介してX線検出器39に伝えられ、X線検出器39は冷却される。
この冷却のときには電磁弁12は開けられており、低温端35および固定金具17が配置されている冷凍機室(19,20)は真空ポンプ4により高真空に排気されている。また、伝導棒38が配置されている真空室42はゲッターポンプ43により高真空に維持されている。このため、低温端35と固定金具17と伝熱棒38への外部からの熱の流入は抑えられ、その結果、X線検出器39は極低温に冷却される。
さらに、固定金具17は断熱性の高い真空ベローズ(16,18)を介して真空容器7側に接続されているので、真空容器7側からの熱は真空ベローズ(16,18)で遮断される。このため、固定金具17は極低温に保たれる。これも、X線検出器39が極低温に冷却される理由の1つである。
また、真空ベローズ(16,18)は防振性にも優れているので、真空容器7側からの振動は真空ベローズ(16,18)で遮断される。このため、固定金具17の振動は抑えられ、ひいてはX線検出器39の振動も抑えられる。この結果、振動による電気的ノイズが検出信号に混入することが防止される。
このように、図1のエネルギー分散型X線検出器におけるX線検出器39は、振動が抑えられて極低温に冷却される。しがって、このようなエネルギー分散型X線検出器を用いれば、試料3のX線分析を高精度に行うことができる。
以上、X線検出器39の冷却について説明した。以下、冷凍機31の交換について説明する。
冷凍機31を交換するときには、まず電磁弁12が閉じられる。その後でリークバルブ30が開けられ、冷凍機室(20,19)は大気に開放される。このとき、X線検出素子40が配置されている真空室42は大気に開放されることはなく、依然として高真空に維持されている。
そして作業者は、ボルト28を外して、開閉蓋26を真空容器7から取り外す。次に作業者は、低温端35を低温端固定部17aに固定しているボルト36を外す。そして作業者は、ボルト34を外して、冷凍機31をフランジ13から取り外す。このときも真空室42は大気に開放されることなく高真空に維持されている。
こうして、それまで使用された冷凍機31が取り外されると、次に作業者は、新しい冷凍機をフランジ13に固定する。そして作業者は、その新しい冷凍機の低温端を低温端固定部17aにボルト36で固定してから、開閉蓋26を真空容器7にボルト28で固定する。
以上、冷凍機31の交換について説明した。図1の装置では、冷凍機31が真空室42の外で伝熱部材(固定金具17)に着脱できる構造となっているので、上述した冷凍機の交換の間、真空室42は大気に開放されることはなく、ずっと高真空に維持される。このため、冷凍機の交換時にX線検出素子40が大気に晒されることが防止され、X線検出素子40の表面は清浄な状態に保たれる。また、冷凍機31の交換作業は、分析装置が置かれているその場で行えるため、分析装置のダウンタイムを従来よりもかなり短縮することができる。
以上、図1のエネルギー分散型X線検出器について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではない。この例では冷凍機室(19,20)は真空ポンプ4により排気されているが、その排気の代わりに、冷凍機室(19,20)にヘリウムなどの液化しないガスを充填するようにしても良い。
また、図1の例において、冷凍機31の代わりにペルチェ素子をフランジ13に取り付けるようにしても良い。その場合にも、ペルチェ素子の低温端は、気密に保持された冷凍機室19に配置されて固定金具17に固定される。その他の構造は図1の例と同じである。
また、本発明のエネルギー分散型X線検出器を走査電子顕微鏡や透過電子顕微鏡や蛍光X線分析装置などに取り付けるようにしても良い。
Claims (12)
- 真空室を形成する真空容器と、
一端部が前記真空室内に位置し、他端部が前記真空室外に位置するように、前記真空室の側壁に取り付けられた伝熱部材と、
前記真空室に配置され、前記伝熱部材の一端部に取り付けられたX線検出器と、
前記伝熱部材の他端部に着脱可能に取り付けられた冷凍機
を備えたことを特徴とするエネルギー分散型X線検出器。 - 前記伝熱部材が取り付けられる前記真空室の側壁は、断熱防振部材で形成されていることを特徴とする請求項1記載のエネルギー分散型X線検出器。
- 真空室を形成する真空容器と、
前記真空室と隔壁を介して接続された冷凍機室と、
一端部が前記真空室に位置し、他端部が前記冷凍機室に位置するように、前記隔壁に取り付けられた伝熱部材と、
前記真空室に配置され、前記伝熱部材の一端部に取り付けられたX線検出器と、
前記伝熱部材の他端部に着脱可能に取り付けられていると共に、前記冷凍機室に位置する冷凍機
を備えたことを特徴とするエネルギー分散型X線検出器。 - 前記冷凍機は、前記冷凍機室を形成する形成部材に着脱可能に取り付けられており、
前記冷凍機の低温端は前記伝熱部材の他端部に着脱可能に取り付けられている
ことを特徴とする請求項3記載のエネルギー分散型X線検出器。 - 前記隔壁は断熱防振部材で形成されていることを特徴とする請求項3記載のエネルギー分散型X線検出器。
- 前記隔壁は真空ベローズを有しており、
その真空ベローズの外面は一周にわたって前記真空室に面していて、その真空ベローズの内側が前記真空室と真空的に分離した前記冷凍機室となっており、
前記伝熱部材は前記真空ベローズに取り付けられている
ことを特徴とする請求項3記載のエネルギー分散型X線検出器。 - 前記隔壁は第1の真空ベローズと第2の真空ベローズを有しており、
前記伝熱部材の上面が前記第1の真空ベローズに取り付けられていると共に、前記伝熱部材の下面が前記第2の真空ベローズに取り付けられており、
前記冷凍機室に位置する前記伝熱部材の他端部には、前記冷凍機の低温端を固定するための低温端固定部と、前記第1の真空ベローズの内側と前記第2の真空ベローズの内側をつなげる通気孔が形成されている
ことを特徴とする請求項6記載のエネルギー分散型X線検出器。 - 前記冷凍機室を排気するための排気管を備えていることを特徴とする請求項3記載のエネルギー分散型X線検出器。
- 開閉蓋が前記冷凍機室を形成する形成部材に取り付けられており、その開閉蓋は、前記冷凍機の低温端を前記伝熱部材の他端部に着脱するときに開閉される
ことを特徴とする請求項4記載のエネルギー分散型X線検出器。 - 真空室を形成する真空容器と、
前記真空室と隔壁を介して接続されたペルチェ素子取付室と、
一端部が前記真空室に位置し、他端部が前記ペルチェ素子取付室に位置するように、前記隔壁に取り付けられた伝熱部材と、
前記真空室に配置され、前記伝熱部材の一端部に取り付けられたX線検出器と、
前記伝熱部材の他端部に着脱可能に取り付けられたペルチェ素子
を備えたことを特徴とするエネルギー分散型X線検出器。 - 試料に1次線を照射し、その1次線照射により試料から発生したX線をエネルギー分散型X線検出器で検出するようにした試料分析装置において、前記エネルギー分散型X線検出器は以下の(a)〜(e)の構成要素を備えていることを特徴とする試料分析装置
(a)真空室を形成する真空容器
(b)前記真空室と隔壁を介して接続された冷凍機室
(c)一端部が前記真空室に位置し、他端部が前記冷凍機室に位置するように、前記隔壁に取り付けられた伝熱部材
(d)前記真空室に配置され、前記伝熱部材の一端部に取り付けられたX線検出器
(e)前記伝熱部材の他端部に着脱可能に取り付けられていると共に、前記冷凍機室に位置する冷凍機。
- 試料分析装置の試料室は排気装置で排気されるように構成されており、
前記冷凍機室は排気管を介して前記試料室に接続されており、
前記冷凍機室は前記排気管および前記試料室を介して前記排気装置で排気される
ことを特徴とする請求項11記載の試料分析装置。
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KR102441660B1 (ko) * | 2022-07-18 | 2022-09-15 | 대한민국 | 방사성 동위원소 분석용 시료 보관용기 및 이를 이용한 시료 보관방법 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56137085U (ja) * | 1980-03-17 | 1981-10-17 | ||
JPH05159733A (ja) * | 1991-12-09 | 1993-06-25 | Jeol Ltd | エネルギー分散型x線検出器及びその真空排気方法 |
JPH0674819A (ja) * | 1992-08-27 | 1994-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | 冷凍装置 |
JPH06294872A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-10-21 | Seiko Instr Inc | ペルチェ冷却半導体検出器 |
JPH0950910A (ja) * | 1995-08-09 | 1997-02-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 超電導コイル冷却装置 |
JPH09230055A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-09-05 | Shimadzu Corp | エネルギー分散型x線検出装置 |
JPH10172796A (ja) * | 1996-12-05 | 1998-06-26 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 2重構造ビームチャンバを有する超電導ウィグラ |
JPH10232285A (ja) * | 1997-02-20 | 1998-09-02 | Dkk Corp | X線分析装置 |
JP2002048868A (ja) * | 2000-08-01 | 2002-02-15 | Seiko Instruments Inc | エネルギー分散型x線検出器及びその真空排気方法 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56137085U (ja) * | 1980-03-17 | 1981-10-17 | ||
JPH05159733A (ja) * | 1991-12-09 | 1993-06-25 | Jeol Ltd | エネルギー分散型x線検出器及びその真空排気方法 |
JPH0674819A (ja) * | 1992-08-27 | 1994-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | 冷凍装置 |
JPH06294872A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-10-21 | Seiko Instr Inc | ペルチェ冷却半導体検出器 |
JPH0950910A (ja) * | 1995-08-09 | 1997-02-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 超電導コイル冷却装置 |
JPH09230055A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-09-05 | Shimadzu Corp | エネルギー分散型x線検出装置 |
JPH10172796A (ja) * | 1996-12-05 | 1998-06-26 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 2重構造ビームチャンバを有する超電導ウィグラ |
JPH10232285A (ja) * | 1997-02-20 | 1998-09-02 | Dkk Corp | X線分析装置 |
JP2002048868A (ja) * | 2000-08-01 | 2002-02-15 | Seiko Instruments Inc | エネルギー分散型x線検出器及びその真空排気方法 |
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