JPH10232285A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
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- JPH10232285A JPH10232285A JP9035972A JP3597297A JPH10232285A JP H10232285 A JPH10232285 A JP H10232285A JP 9035972 A JP9035972 A JP 9035972A JP 3597297 A JP3597297 A JP 3597297A JP H10232285 A JPH10232285 A JP H10232285A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線検出器を冷却して使用する真空容器にガ
スが侵入するのを防ぎ、真空度の低下による冷却効率の
悪化を防ぐ。 【解決手段】 Ｘ線検出器８を冷却装置１０と共に真空
容器３内に封入して冷却し、Ｘ線入射窓７を通して試料
４から放射される特性Ｘ線６を検出して分析を行うＸ線
分析装置において、Ｘ線入射窓７のＸ線入射側に第２の
Ｘ線入射窓１３を有する隔離室１１を設けて試料４のあ
る試料室２とＸ線検出器８を封入した真空容器３のＸ線
入射窓７との間を隔離する。隔離室１１は、真空排気す
るポンプ１２を有する真空室、あるいは真空密封室とす
る。
スが侵入するのを防ぎ、真空度の低下による冷却効率の
悪化を防ぐ。 【解決手段】 Ｘ線検出器８を冷却装置１０と共に真空
容器３内に封入して冷却し、Ｘ線入射窓７を通して試料
４から放射される特性Ｘ線６を検出して分析を行うＸ線
分析装置において、Ｘ線入射窓７のＸ線入射側に第２の
Ｘ線入射窓１３を有する隔離室１１を設けて試料４のあ
る試料室２とＸ線検出器８を封入した真空容器３のＸ線
入射窓７との間を隔離する。隔離室１１は、真空排気す
るポンプ１２を有する真空室、あるいは真空密封室とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線検出器を冷却
装置と共に真空容器内に封入して冷却し、Ｘ線入射窓を
通して試料から放射される特性Ｘ線を検出して分析を行
うＸ線分析装置に関する。
装置と共に真空容器内に封入して冷却し、Ｘ線入射窓を
通して試料から放射される特性Ｘ線を検出して分析を行
うＸ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のＸ線分析装置の構成例を示
す図である。電子顕微鏡では、試料の微小領域を元素分
析する装置としてエネルギー分散型Ｘ線分析装置が使用
されている。このエネルギー分散型Ｘ線分析装置では、
図２に示すように励起線発生器１から発生された一次線
５を試料４に照射し、それによって発生したＸ線６をＸ
線検出器８で検出し電気信号に変換して定性定量分析を
行う。励起線発生器１は、イオン源や電子線発生器、Ｘ
線発生器、放射線源等からなる。Ｘ線検出器８は、シリ
コン半導体素子等からなり、その前方にベリリウム（Ｂ
ｅ）薄膜や有機薄膜付のＸ線入射窓７を有する真空容器
３に冷却装置１０と共に封入され、液体窒素の入った容
器や冷凍機等の冷却装置１０により熱伝導棒９を介して
冷却される。
す図である。電子顕微鏡では、試料の微小領域を元素分
析する装置としてエネルギー分散型Ｘ線分析装置が使用
されている。このエネルギー分散型Ｘ線分析装置では、
図２に示すように励起線発生器１から発生された一次線
５を試料４に照射し、それによって発生したＸ線６をＸ
線検出器８で検出し電気信号に変換して定性定量分析を
行う。励起線発生器１は、イオン源や電子線発生器、Ｘ
線発生器、放射線源等からなる。Ｘ線検出器８は、シリ
コン半導体素子等からなり、その前方にベリリウム（Ｂ
ｅ）薄膜や有機薄膜付のＸ線入射窓７を有する真空容器
３に冷却装置１０と共に封入され、液体窒素の入った容
器や冷凍機等の冷却装置１０により熱伝導棒９を介して
冷却される。
【０００３】このように、Ｘ線分析装置において、高性
能の分析を期待する場合には、信号対雑音比を向上させ
るためにＸ線検出器８を冷却することが行われる。そし
て、冷却して使用するＸ線検出器８の場合、冷却効率を
上げるためＸ線検出器８を真空容器３中で使用すること
も一般的な手法であり、真空容器３中のＸ線検出器８に
Ｘ線を導入するために、ベリリウムや有機膜等の非常に
薄いＸ線入射窓７を使用している。
能の分析を期待する場合には、信号対雑音比を向上させ
るためにＸ線検出器８を冷却することが行われる。そし
て、冷却して使用するＸ線検出器８の場合、冷却効率を
上げるためＸ線検出器８を真空容器３中で使用すること
も一般的な手法であり、真空容器３中のＸ線検出器８に
Ｘ線を導入するために、ベリリウムや有機膜等の非常に
薄いＸ線入射窓７を使用している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のようにＸ線検出
器８を真空容器３中で冷却して使用するＸ線分析装置に
おいて、試料４が液体や含水率の高い生物試料や揮発性
の高い物質の場合、試料室２を高真空として分析するこ
とはできない。そのため、このような場合には、試料室
２を低真空又はガス雰囲気として試料４の測定を行う
が、ガス雰囲気で分析を行う場合、試料４とＸ線入射窓
７との距離が長いと、ガスによるＸ線の吸収によって感
度が低下するため、ヘリウムや水素などの軽いガスが使
用される。
器８を真空容器３中で冷却して使用するＸ線分析装置に
おいて、試料４が液体や含水率の高い生物試料や揮発性
の高い物質の場合、試料室２を高真空として分析するこ
とはできない。そのため、このような場合には、試料室
２を低真空又はガス雰囲気として試料４の測定を行う
が、ガス雰囲気で分析を行う場合、試料４とＸ線入射窓
７との距離が長いと、ガスによるＸ線の吸収によって感
度が低下するため、ヘリウムや水素などの軽いガスが使
用される。
【０００５】しかし、軽いガスは、分子が小さいため、
Ｘ線検出器８を封入した真空容器３中にＸ線入射窓７を
透過して侵入するという問題が生じている。このこと
は、ヘリウムや水素ガスで膨らませた風船が数日で萎ん
でしまうことと同じ現象である。真空容器３中にガスが
侵入すると、真空容器３中の真空度が低下する。このこ
とにより、Ｘ線検出器８には高圧が印加されているた
め、放電が発生し、また、冷却効率が悪化し、Ｘ線検出
器８の性能が劣化する。さらには、冷却効率が悪化する
ことにより、冷却装置１０の液体窒素の消費量が増大す
る。
Ｘ線検出器８を封入した真空容器３中にＸ線入射窓７を
透過して侵入するという問題が生じている。このこと
は、ヘリウムや水素ガスで膨らませた風船が数日で萎ん
でしまうことと同じ現象である。真空容器３中にガスが
侵入すると、真空容器３中の真空度が低下する。このこ
とにより、Ｘ線検出器８には高圧が印加されているた
め、放電が発生し、また、冷却効率が悪化し、Ｘ線検出
器８の性能が劣化する。さらには、冷却効率が悪化する
ことにより、冷却装置１０の液体窒素の消費量が増大す
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するものであって、Ｘ線検出器を冷却して使用する真
空容器にガスが侵入するのを防ぎ、真空度の低下による
冷却効率の悪化を防ぐものである。
決するものであって、Ｘ線検出器を冷却して使用する真
空容器にガスが侵入するのを防ぎ、真空度の低下による
冷却効率の悪化を防ぐものである。
【０００７】そのために本発明は、Ｘ線検出器を冷却装
置と共に真空容器内に封入して冷却し、Ｘ線入射窓を通
して試料から放射される特性Ｘ線を検出して分析を行う
Ｘ線分析装置において、前記Ｘ線入射窓のＸ線入射側に
第２のＸ線入射窓を有する隔離室を設けて前記試料のあ
る試料室と前記Ｘ線検出器を封入した真空容器のＸ線入
射窓との間を隔離したことを特徴とするものであり、前
記隔離室は、真空排気するポンプを有する真空室、ある
いは真空密封室とすることを特徴とするものである。
置と共に真空容器内に封入して冷却し、Ｘ線入射窓を通
して試料から放射される特性Ｘ線を検出して分析を行う
Ｘ線分析装置において、前記Ｘ線入射窓のＸ線入射側に
第２のＸ線入射窓を有する隔離室を設けて前記試料のあ
る試料室と前記Ｘ線検出器を封入した真空容器のＸ線入
射窓との間を隔離したことを特徴とするものであり、前
記隔離室は、真空排気するポンプを有する真空室、ある
いは真空密封室とすることを特徴とするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係るＸ線分析装
置の実施の形態を示す図であり、１は励起線発生器、２
は試料室、３は真空容器、４は試料、５は一次線、６は
Ｘ線、７、１３はＸ線入射窓、８はＸ線検出器、９は熱
伝導棒、１０は冷却装置、１１は隔離室、１２はロータ
リーポンプを示す。
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係るＸ線分析装
置の実施の形態を示す図であり、１は励起線発生器、２
は試料室、３は真空容器、４は試料、５は一次線、６は
Ｘ線、７、１３はＸ線入射窓、８はＸ線検出器、９は熱
伝導棒、１０は冷却装置、１１は隔離室、１２はロータ
リーポンプを示す。
【０００９】図１において、励起線発生器１は、イオン
源や電子線発生器、Ｘ線発生器、放射線源等からなり、
一次線５を発生する。一次線５は、例えばＸ線またはγ
線源である。試料室２は、大気またはヘリウム、水素な
どのガス雰囲気の中で励起線発生器１からの一次線５を
照射する試料４を保持するものである。Ｘ線検出器８
は、一次線５の照射によって試料４から発生しＸ線入射
窓１３、７を通して入射するＸ線６を検出するものであ
り、それを電気信号に変換して定性定量分析を行う。ま
た、Ｘ線検出器８は、例えば冷媒として液体窒素を用い
た冷却装置１０により熱伝導棒９を介して冷却され、真
空容器３は、Ｘ線入射窓７を有し、これらＸ線検出器
８、熱伝導棒９、冷却装置１０を真空封入するものであ
る。
源や電子線発生器、Ｘ線発生器、放射線源等からなり、
一次線５を発生する。一次線５は、例えばＸ線またはγ
線源である。試料室２は、大気またはヘリウム、水素な
どのガス雰囲気の中で励起線発生器１からの一次線５を
照射する試料４を保持するものである。Ｘ線検出器８
は、一次線５の照射によって試料４から発生しＸ線入射
窓１３、７を通して入射するＸ線６を検出するものであ
り、それを電気信号に変換して定性定量分析を行う。ま
た、Ｘ線検出器８は、例えば冷媒として液体窒素を用い
た冷却装置１０により熱伝導棒９を介して冷却され、真
空容器３は、Ｘ線入射窓７を有し、これらＸ線検出器
８、熱伝導棒９、冷却装置１０を真空封入するものであ
る。
【００１０】隔離室１１は、試料室２と真空容器３とを
隔離するものであり、Ｘ線入射窓１３を有し、ロータリ
ーポンプ１２は、隔離室１１を排気して真空に保持する
ためのものである。つまり、隔離室１１は、真空室とす
ることによりＸ線入射窓７の両側の差圧を小さくしてい
る。したがって、試料４から発生したＸ線６は、隔離室
１１のＸ線入射窓１３、真空容器３のＸ線入射窓７の２
枚を通してＸ線検出器８で検出される。しかし、隔離室
１１は、ロータリーポンプ１２により真空に引くので、
真空容器３のＸ線入射窓７における両側の差圧を小さく
すことができ、真空容器３のＸ線入射窓７を通してガス
が侵入するのを防ぐことができる。つまり、試料室２と
真空容器３との間は、２枚のＸ線入射窓１３と７の間で
真空の隔離室１１によって隔離される。
隔離するものであり、Ｘ線入射窓１３を有し、ロータリ
ーポンプ１２は、隔離室１１を排気して真空に保持する
ためのものである。つまり、隔離室１１は、真空室とす
ることによりＸ線入射窓７の両側の差圧を小さくしてい
る。したがって、試料４から発生したＸ線６は、隔離室
１１のＸ線入射窓１３、真空容器３のＸ線入射窓７の２
枚を通してＸ線検出器８で検出される。しかし、隔離室
１１は、ロータリーポンプ１２により真空に引くので、
真空容器３のＸ線入射窓７における両側の差圧を小さく
すことができ、真空容器３のＸ線入射窓７を通してガス
が侵入するのを防ぐことができる。つまり、試料室２と
真空容器３との間は、２枚のＸ線入射窓１３と７の間で
真空の隔離室１１によって隔離される。
【００１１】上記のように構成することにより、試料室
２を大気またはヘリウム、水素などのガス雰囲気として
試料４の測定を行う場合、Ｘ線検出器８の前方に配置さ
れたＸ線入射窓７は、直接試料室２側のガスと接しない
ので、ガスが侵入するのを防ぎ、真空度の低下による冷
却効率の悪化を防ぐことができる。
２を大気またはヘリウム、水素などのガス雰囲気として
試料４の測定を行う場合、Ｘ線検出器８の前方に配置さ
れたＸ線入射窓７は、直接試料室２側のガスと接しない
ので、ガスが侵入するのを防ぎ、真空度の低下による冷
却効率の悪化を防ぐことができる。
【００１２】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上
記実施の形態では、隔離室をロータリーポンプで排気し
て真空に引く構成を示したが、このようなロータリーポ
ンプを用いずに真空密封型の隔離室としてもよい。ま
た、試料室から真空容器を完全に隔離するようにした隔
離室１１の例を示したが、ガスが侵入するＸ線入射窓７
のＸ線入射側だけで隔離室を構成するものであってもよ
い。
れるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上
記実施の形態では、隔離室をロータリーポンプで排気し
て真空に引く構成を示したが、このようなロータリーポ
ンプを用いずに真空密封型の隔離室としてもよい。ま
た、試料室から真空容器を完全に隔離するようにした隔
離室１１の例を示したが、ガスが侵入するＸ線入射窓７
のＸ線入射側だけで隔離室を構成するものであってもよ
い。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、Ｘ線検出器の前方に配置されたＸ線入射窓の
薄膜が直接ヘリウムや水素ガスと接しないので、Ｘ線入
射窓を透過または粒界を通してのガスの漏れがあって
も、その量は、隔膜両側の圧力差により、少なくとも３
桁減らすことができる。その結果、真空度の低下による
冷却効率の悪化を防ぐことができる。したがって、Ｘ線
検出器の寿命を大幅に延ばすことができ、さらに、液体
窒素等の冷媒の消費量を低減することができる。
によれば、Ｘ線検出器の前方に配置されたＸ線入射窓の
薄膜が直接ヘリウムや水素ガスと接しないので、Ｘ線入
射窓を透過または粒界を通してのガスの漏れがあって
も、その量は、隔膜両側の圧力差により、少なくとも３
桁減らすことができる。その結果、真空度の低下による
冷却効率の悪化を防ぐことができる。したがって、Ｘ線
検出器の寿命を大幅に延ばすことができ、さらに、液体
窒素等の冷媒の消費量を低減することができる。
【図１】 本発明に係るＸ線分析装置の実施の形態を示
す図である。
す図である。
【図２】 従来のＸ線分析装置の構成例を示す図であ
る。
る。
１…励起線発生器、２…試料室、３…真空容器、４…試
料、５…一次線、６…Ｘ線、７、１３…Ｘ線入射窓、８
…Ｘ線検出器、９…熱伝導棒、１０…冷却装置、１１…
隔離室、１２…ロータリーポンプ
料、５…一次線、６…Ｘ線、７、１３…Ｘ線入射窓、８
…Ｘ線検出器、９…熱伝導棒、１０…冷却装置、１１…
隔離室、１２…ロータリーポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋詰 幸郎 東京都武蔵野市吉祥寺北町４−13−14 電 気化学計器株式会社内 (72)発明者 桑田 正彦 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 渡辺 俊善 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 大久保 弘 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子エンジニアリング株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線検出器を冷却装置と共に真空容器内
に封入して冷却し、Ｘ線入射窓を通して試料から放射さ
れる特性Ｘ線を検出して分析を行うＸ線分析装置におい
て、前記Ｘ線入射窓のＸ線入射側に第２のＸ線入射窓を
有する隔離室を設けて前記試料のある試料室と前記Ｘ線
検出器を封入した真空容器のＸ線入射窓との間を隔離し
たことを特徴とするＸ線分析装置。 - 【請求項２】 前記隔離室は、真空排気するポンプを有
する真空室とすることを特徴とする請求項１記載のＸ線
分析装置。 - 【請求項３】 前記隔離室は、真空密封室とすることを
特徴とする請求項１記載のＸ線分析装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3597297A JP3599259B2 (ja) | 1997-02-20 | 1997-02-20 | Ｘ線分析装置 |
| US09/026,496 US6052429A (en) | 1997-02-20 | 1998-02-19 | X-ray analyzing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3597297A JP3599259B2 (ja) | 1997-02-20 | 1997-02-20 | Ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10232285A true JPH10232285A (ja) | 1998-09-02 |
| JP3599259B2 JP3599259B2 (ja) | 2004-12-08 |
Family
ID=12456839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3597297A Expired - Fee Related JP3599259B2 (ja) | 1997-02-20 | 1997-02-20 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3599259B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6249569B1 (en) * | 1998-12-22 | 2001-06-19 | General Electric Company | X-ray tube having increased cooling capabilities |
| JP2006242663A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Jeol Ltd | エネルギー分散型ｘ線検出器および試料分析装置 |
| JP2008107203A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Shimadzu Corp | Ｘ線検出器 |
| KR101067100B1 (ko) * | 2003-08-27 | 2011-09-22 | 가부시키가이샤 리가쿠 | 형광 ｘ선 분석 장치 |
| CN103884725A (zh) * | 2012-12-21 | 2014-06-25 | 中国科学院高能物理研究所 | X射线吸收谱的原位加热装置 |
| JP2019032195A (ja) * | 2017-08-07 | 2019-02-28 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線検出器監視装置 |
-
1997
- 1997-02-20 JP JP3597297A patent/JP3599259B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6249569B1 (en) * | 1998-12-22 | 2001-06-19 | General Electric Company | X-ray tube having increased cooling capabilities |
| US6496564B2 (en) * | 1998-12-22 | 2002-12-17 | General Electric Company | X-ray tube having increased cooling capabilities |
| KR101067100B1 (ko) * | 2003-08-27 | 2011-09-22 | 가부시키가이샤 리가쿠 | 형광 ｘ선 분석 장치 |
| JP2006242663A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Jeol Ltd | エネルギー分散型ｘ線検出器および試料分析装置 |
| JP4679181B2 (ja) * | 2005-03-02 | 2011-04-27 | 日本電子株式会社 | エネルギー分散型ｘ線検出器および試料分析装置 |
| JP2008107203A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Shimadzu Corp | Ｘ線検出器 |
| CN103884725A (zh) * | 2012-12-21 | 2014-06-25 | 中国科学院高能物理研究所 | X射线吸收谱的原位加热装置 |
| JP2019032195A (ja) * | 2017-08-07 | 2019-02-28 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線検出器監視装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3599259B2 (ja) | 2004-12-08 |
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