JPH06213837A - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPH06213837A JPH06213837A JP2205893A JP2205893A JPH06213837A JP H06213837 A JPH06213837 A JP H06213837A JP 2205893 A JP2205893 A JP 2205893A JP 2205893 A JP2205893 A JP 2205893A JP H06213837 A JPH06213837 A JP H06213837A
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- JP
- Japan
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- fluorescent
- ray
- ray detector
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 蛍光Ｘ線分析装置の検出感度、分析精度を向
上させる。試料室やその内部の排気装置等を不要にす
る。装置を小形化する。 【構成】 試料Ｓに励起放射線Ｒを照射するためのＸ線
管球８と、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線Ｆを電気信号に
変換するＸ線検出器３と、この検出器３を収納する真空
容器２Ａとを備え、Ｘ線検出器３の出力に基づいて試料
を分析する蛍光Ｘ線分析装置に関する。試料Ｓを収納す
る試料容器２Ｂの一部が、励起放射線Ｒ及び蛍光Ｘ線Ｆ
の透過性を有するベリリウム金属箔等の窓部１１により
形成され、この窓部１１の片面が真空容器２Ａ内に露出
されている。
上させる。試料室やその内部の排気装置等を不要にす
る。装置を小形化する。 【構成】 試料Ｓに励起放射線Ｒを照射するためのＸ線
管球８と、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線Ｆを電気信号に
変換するＸ線検出器３と、この検出器３を収納する真空
容器２Ａとを備え、Ｘ線検出器３の出力に基づいて試料
を分析する蛍光Ｘ線分析装置に関する。試料Ｓを収納す
る試料容器２Ｂの一部が、励起放射線Ｒ及び蛍光Ｘ線Ｆ
の透過性を有するベリリウム金属箔等の窓部１１により
形成され、この窓部１１の片面が真空容器２Ａ内に露出
されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、励起放射線により試料
から発生する蛍光Ｘ線を検出して試料構成元素を分析す
る蛍光Ｘ線分析装置、及び、これを液体試料の分析に適
用した液体試料分析用蛍光Ｘ線分析装置に関する。
から発生する蛍光Ｘ線を検出して試料構成元素を分析す
る蛍光Ｘ線分析装置、及び、これを液体試料の分析に適
用した液体試料分析用蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来の蛍光Ｘ線分析装置におけ
る主要部の構成を示している。図において、試料室１に
は真空容器２が取付けられており、その内部には、リチ
ウムを拡散したシリコンからなる半導体Ｘ線検出器（Ｓ
ｉ(Ｌｉ)検出器）３と、前置増幅用のＦＥＴ４が収納さ
れている。この真空容器２の端面には、後述する液体試
料Ｓからの蛍光Ｘ線Ｆを透過させる窓部５が設けられて
いる。
る主要部の構成を示している。図において、試料室１に
は真空容器２が取付けられており、その内部には、リチ
ウムを拡散したシリコンからなる半導体Ｘ線検出器（Ｓ
ｉ(Ｌｉ)検出器）３と、前置増幅用のＦＥＴ４が収納さ
れている。この真空容器２の端面には、後述する液体試
料Ｓからの蛍光Ｘ線Ｆを透過させる窓部５が設けられて
いる。
【０００３】真空容器２の近傍には、被分析試料である
液体試料Ｓが収納された試料容器６が空間９を隔てて配
置されており、真空容器２の側方には、励起放射線Ｒを
発生する放射線源としてのＸ線管球８が配置されてい
る。試料容器６の真空容器２側の面には、励起放射線Ｒ
及び蛍光Ｘ線Ｆを透過させる窓部７が設けられている。
液体試料Ｓが収納された試料容器６が空間９を隔てて配
置されており、真空容器２の側方には、励起放射線Ｒを
発生する放射線源としてのＸ線管球８が配置されてい
る。試料容器６の真空容器２側の面には、励起放射線Ｒ
及び蛍光Ｘ線Ｆを透過させる窓部７が設けられている。
【０００４】前記Ｘ線検出器３及びＦＥＴ４は、液体窒
素により冷却する必要があるので、図示されていないタ
ンク内の液体窒素の温度が、冷却棒１０を介して真空容
器２内に伝導されている。なお、前記空間９に空気が存
在すると、試料Ｓ中の軽元素から発生する蛍光Ｘ線Ｆが
吸収されてしまったり、空気中の成分元素による妨害が
生じるため、これらを防止するために試料室１の内部は
真空に保たれるか、あるいはヘリウム等が充填されてい
る。前記窓部５，７は、Ｘ線を良く透過させる材料であ
ると共に一定の圧力に耐えられる強度を持っていること
が必要なため、ベリリウム（Ｂｅ）等の金属箔により形
成されている。
素により冷却する必要があるので、図示されていないタ
ンク内の液体窒素の温度が、冷却棒１０を介して真空容
器２内に伝導されている。なお、前記空間９に空気が存
在すると、試料Ｓ中の軽元素から発生する蛍光Ｘ線Ｆが
吸収されてしまったり、空気中の成分元素による妨害が
生じるため、これらを防止するために試料室１の内部は
真空に保たれるか、あるいはヘリウム等が充填されてい
る。前記窓部５，７は、Ｘ線を良く透過させる材料であ
ると共に一定の圧力に耐えられる強度を持っていること
が必要なため、ベリリウム（Ｂｅ）等の金属箔により形
成されている。
【０００５】このような構成において、励起放射線Ｒに
より窓部７を介して液体試料Ｓの被分析元素を励起する
と、蛍光Ｘ線Ｆが発生し、窓部７から空間９、窓部５を
介して真空容器２内のＸ線検出器３に達し、この検出器
３によりＸ線エネルギーに比例した大きさの電流パルス
に変換される。この電流パルスはＦＥＴ４により電圧パ
ルスに変換され、その後、増幅、波形整形された後、マ
ルチチャンネルアナライザ等により波高分析され、エネ
ルギー値に対するＸ線強度のスペクトルを得ることによ
り、いわゆるエネルギー分散方式の分析が行われる。
より窓部７を介して液体試料Ｓの被分析元素を励起する
と、蛍光Ｘ線Ｆが発生し、窓部７から空間９、窓部５を
介して真空容器２内のＸ線検出器３に達し、この検出器
３によりＸ線エネルギーに比例した大きさの電流パルス
に変換される。この電流パルスはＦＥＴ４により電圧パ
ルスに変換され、その後、増幅、波形整形された後、マ
ルチチャンネルアナライザ等により波高分析され、エネ
ルギー値に対するＸ線強度のスペクトルを得ることによ
り、いわゆるエネルギー分散方式の分析が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の分析装置では、
窓部５，７がＸ線透過性を有するものの、試料Ｓから発
した蛍光Ｘ線Ｆはこれら二重構成の窓部７，５を順次透
過してＸ線検出器３に到達するため、蛍光Ｘ線Ｆのうち
の一部は窓部５，７により吸収されてしまう。このた
め、蛍光Ｘ線の損失が大きく、検出感度や分析精度が低
いという問題があった。
窓部５，７がＸ線透過性を有するものの、試料Ｓから発
した蛍光Ｘ線Ｆはこれら二重構成の窓部７，５を順次透
過してＸ線検出器３に到達するため、蛍光Ｘ線Ｆのうち
の一部は窓部５，７により吸収されてしまう。このた
め、蛍光Ｘ線の損失が大きく、検出感度や分析精度が低
いという問題があった。
【０００７】また、真空容器２と試料容器６との間の空
間９は、真空容器２に妨げられることなく励起放射線Ｒ
を窓部７に照射するために必要とされている。しかし、
上記空間９の存在により、Ｘ線検出器３の検出面は試料
Ｓを中心とする立体角のうちごく一部を占めるに留ま
り、試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線Ｆのうち、かなりの量
は検出できないので効率が悪い。更に、空間９の空気を
除去するために試料室１内部の排気やヘリウム等の充填
が必要不可欠となり、そのための労力や排気装置、充填
装置等の設備が負担となっていた。
間９は、真空容器２に妨げられることなく励起放射線Ｒ
を窓部７に照射するために必要とされている。しかし、
上記空間９の存在により、Ｘ線検出器３の検出面は試料
Ｓを中心とする立体角のうちごく一部を占めるに留ま
り、試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線Ｆのうち、かなりの量
は検出できないので効率が悪い。更に、空間９の空気を
除去するために試料室１内部の排気やヘリウム等の充填
が必要不可欠となり、そのための労力や排気装置、充填
装置等の設備が負担となっていた。
【０００８】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、その目的とするところは、蛍光Ｘ線の損失
を少なくし、かつ、検出量を増加させ、検出感度、分析
精度を向上させると共に試料室内部の排気等に伴う前記
種々の不都合を解消した蛍光Ｘ線分析装置を提供するこ
とにある。
れたもので、その目的とするところは、蛍光Ｘ線の損失
を少なくし、かつ、検出量を増加させ、検出感度、分析
精度を向上させると共に試料室内部の排気等に伴う前記
種々の不都合を解消した蛍光Ｘ線分析装置を提供するこ
とにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、試料容器の少なくと
も一部を、励起放射線及び蛍光Ｘ線の透過性を有するベ
リリウム金属箔等からなる窓部により形成し、この窓部
を真空容器内に露出させたものである。また、本発明の
液体試料分析用蛍光Ｘ線分析装置は、上述の蛍光Ｘ線分
析装置における被分析試料を例えば石油試料としてその
硫黄分を測定するようにしたものである。
め、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、試料容器の少なくと
も一部を、励起放射線及び蛍光Ｘ線の透過性を有するベ
リリウム金属箔等からなる窓部により形成し、この窓部
を真空容器内に露出させたものである。また、本発明の
液体試料分析用蛍光Ｘ線分析装置は、上述の蛍光Ｘ線分
析装置における被分析試料を例えば石油試料としてその
硫黄分を測定するようにしたものである。
【００１０】本発明において、試料に接触する窓部表面
の腐食を防止するため、窓部表面に、ポリパラキシリレ
ンからなる保護層を化学蒸着等により形成することが望
ましい。
の腐食を防止するため、窓部表面に、ポリパラキシリレ
ンからなる保護層を化学蒸着等により形成することが望
ましい。
【００１１】
【作用】本発明では、試料容器の一部をなす窓部が真空
容器内に露出されているため、真空中から窓部を介して
試料に励起放射線が照射されると、試料中の被分析元素
から発した蛍光Ｘ線は、前記窓部及び真空中を透過して
Ｘ線検出器に到達する。
容器内に露出されているため、真空中から窓部を介して
試料に励起放射線が照射されると、試料中の被分析元素
から発した蛍光Ｘ線は、前記窓部及び真空中を透過して
Ｘ線検出器に到達する。
【００１２】
【実施例】以下、図に沿って本発明の実施例を説明す
る。図１は本実施例の主要部の構成を示しており、図２
と同一の構成要素には同一の符号を付して詳述を省略
し、以下、異なる部分を中心に説明する。
る。図１は本実施例の主要部の構成を示しており、図２
と同一の構成要素には同一の符号を付して詳述を省略
し、以下、異なる部分を中心に説明する。
【００１３】図１において、２Ａは真空容器であり、そ
の内部には、前記同様に半導体Ｘ線検出器３、ＦＥＴ
４、冷却棒１０が収納されている。半導体Ｘ線検出器３
の近傍に位置する真空容器２Ａの端部には、真空容器２
Ａの周壁、及び、ベリリウム金属箔からなる窓部１１等
により、石油試料等の液体試料Ｓを収納する試料容器２
Ｂが区画形成されている。一方、Ｘ線検出器３の側方に
位置する真空容器２Ａの周壁には、外部に配置されたＸ
線管球８からの励起放射線Ｒを透過させる窓部１２が形
成されている。この窓部１２も、ベリリウム金属箔によ
り形成されている。
の内部には、前記同様に半導体Ｘ線検出器３、ＦＥＴ
４、冷却棒１０が収納されている。半導体Ｘ線検出器３
の近傍に位置する真空容器２Ａの端部には、真空容器２
Ａの周壁、及び、ベリリウム金属箔からなる窓部１１等
により、石油試料等の液体試料Ｓを収納する試料容器２
Ｂが区画形成されている。一方、Ｘ線検出器３の側方に
位置する真空容器２Ａの周壁には、外部に配置されたＸ
線管球８からの励起放射線Ｒを透過させる窓部１２が形
成されている。この窓部１２も、ベリリウム金属箔によ
り形成されている。
【００１４】本実施例では、窓部１１が試料容器２Ｂの
一部を形成していて液体試料Ｓに直接接触していること
から、試料Ｓの性状によっては、窓部１１のベリリウム
金属箔が腐食するおそれがある。これに対しては、試料
Ｓに接触するベリリウム金属箔の一面に、高分子化合物
であるポリパラキシリレンを化学蒸着して保護層を形成
すれば良い。ポリパラキシリレンのように極めて薄いが
ピンホールのないものを用いれば、ベリリウム金属箔を
腐食から保護することができると共に、励起放射線Ｒや
蛍光Ｘ線Ｆの損失を最小限に留めることが可能である。
一部を形成していて液体試料Ｓに直接接触していること
から、試料Ｓの性状によっては、窓部１１のベリリウム
金属箔が腐食するおそれがある。これに対しては、試料
Ｓに接触するベリリウム金属箔の一面に、高分子化合物
であるポリパラキシリレンを化学蒸着して保護層を形成
すれば良い。ポリパラキシリレンのように極めて薄いが
ピンホールのないものを用いれば、ベリリウム金属箔を
腐食から保護することができると共に、励起放射線Ｒや
蛍光Ｘ線Ｆの損失を最小限に留めることが可能である。
【００１５】本実施例による分析動作は、実質的に従来
と同様である。これを略述すれば、窓部１１の内面との
間に空気が介在しないように液体試料Ｓを試料容器２Ｂ
内に充填した状態で、励起放射線Ｒにより窓部１２，１
１を介し液体試料Ｓの被分析元素を励起すると、蛍光Ｘ
線Ｆが発生する。上記蛍光Ｘ線Ｆは窓部１１から真空容
器２Ａ内を透過してＸ線検出器３に達し、Ｘ線エネルギ
ーに比例した大きさの電流パルスに変換される。この電
流パルスはＦＥＴ４により電圧パルスに変換され、増
幅、波形整形された後、前記同様のエネルギー分散方式
による分析が行われる。
と同様である。これを略述すれば、窓部１１の内面との
間に空気が介在しないように液体試料Ｓを試料容器２Ｂ
内に充填した状態で、励起放射線Ｒにより窓部１２，１
１を介し液体試料Ｓの被分析元素を励起すると、蛍光Ｘ
線Ｆが発生する。上記蛍光Ｘ線Ｆは窓部１１から真空容
器２Ａ内を透過してＸ線検出器３に達し、Ｘ線エネルギ
ーに比例した大きさの電流パルスに変換される。この電
流パルスはＦＥＴ４により電圧パルスに変換され、増
幅、波形整形された後、前記同様のエネルギー分散方式
による分析が行われる。
【００１６】上記構成によれば、窓部１１が試料容器２
Ｂの一部を形成して真空容器２Ａ内に露出しているの
で、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線Ｆは単一の窓部１１及
び真空中のみを介してＸ線検出器３に到達する。従っ
て、従来技術（図２参照）のように、蛍光Ｘ線Ｆが二重
構成の窓部７，５及び真空中を経てＸ線検出器３に到達
する場合に比べ、窓部による蛍光Ｘ線Ｆの吸収、減衰量
を少なくすることができる。
Ｂの一部を形成して真空容器２Ａ内に露出しているの
で、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線Ｆは単一の窓部１１及
び真空中のみを介してＸ線検出器３に到達する。従っ
て、従来技術（図２参照）のように、蛍光Ｘ線Ｆが二重
構成の窓部７，５及び真空中を経てＸ線検出器３に到達
する場合に比べ、窓部による蛍光Ｘ線Ｆの吸収、減衰量
を少なくすることができる。
【００１７】励起放射線Ｒを試料Ｓに照射するために必
要とされた図２の空間９を設ける必要がないので、窓部
１１とＸ線検出器３とを近接して配置することができ
る。これにより、試料Ｓを中心とする立体角に対しＸ線
検出器３の検出面が占める割合を大きくすることがで
き、試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線のうち従来よりも多く
の量を検出可能として検出効率を向上させることができ
る。更に、図２の空間９に起因する試料室内部の排気や
ヘリウムの充填等も不要になり、排気装置や充填装置及
びこれらの作業工程が不要になる。従って、図２におけ
る試料室１自体も設ける必要がない。
要とされた図２の空間９を設ける必要がないので、窓部
１１とＸ線検出器３とを近接して配置することができ
る。これにより、試料Ｓを中心とする立体角に対しＸ線
検出器３の検出面が占める割合を大きくすることがで
き、試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線のうち従来よりも多く
の量を検出可能として検出効率を向上させることができ
る。更に、図２の空間９に起因する試料室内部の排気や
ヘリウムの充填等も不要になり、排気装置や充填装置及
びこれらの作業工程が不要になる。従って、図２におけ
る試料室１自体も設ける必要がない。
【００１８】試料容器２Ｂが真空容器２Ａに一体化され
た構成であるため、装置全体の寸法を短くして小形化が
可能であると共に、図２の構造では必要とされた試料容
器専用の保持手段も不要になる。
た構成であるため、装置全体の寸法を短くして小形化が
可能であると共に、図２の構造では必要とされた試料容
器専用の保持手段も不要になる。
【００１９】図示されていないが、製造上あるいは機械
的強度の観点から不都合がなければ、窓部１１，１２を
一体化して形成しても良い。また、放射線源は、真空容
器２Ａ内に配置することも可能である。この放射線源に
は、Ｘ線管球ばかりでなく放射性物質を用いても良い。
的強度の観点から不都合がなければ、窓部１１，１２を
一体化して形成しても良い。また、放射線源は、真空容
器２Ａ内に配置することも可能である。この放射線源に
は、Ｘ線管球ばかりでなく放射性物質を用いても良い。
【００２０】半導体Ｘ線検出器は、ゲルマニウム（Ｇ
ｅ）にリチウムを拡散して形成したものでも良い。Ｘ線
検出器としては、上述した半導体Ｘ線検出器以外に、比
例計数管やＧＭ（ガイガー・ミューラー）計数管、シン
チレーション計数管等を用いることもできる。なお、本
発明は固体試料の分析にも適用可能であり、その場合に
は、空気の介在を防ぐために固体試料を可及的に窓部１
１に密着させることが望ましい。
ｅ）にリチウムを拡散して形成したものでも良い。Ｘ線
検出器としては、上述した半導体Ｘ線検出器以外に、比
例計数管やＧＭ（ガイガー・ミューラー）計数管、シン
チレーション計数管等を用いることもできる。なお、本
発明は固体試料の分析にも適用可能であり、その場合に
は、空気の介在を防ぐために固体試料を可及的に窓部１
１に密着させることが望ましい。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、試料容器
の少なくとも一部が、励起放射線及び蛍光Ｘ線を透過さ
せる窓部により形成され、かつ、この窓部の片面が真空
容器内に露出されているので、試料中の被分析元素から
発した蛍光Ｘ線は窓部及び真空中のみを透過してＸ線検
出器に到達することとなる。
の少なくとも一部が、励起放射線及び蛍光Ｘ線を透過さ
せる窓部により形成され、かつ、この窓部の片面が真空
容器内に露出されているので、試料中の被分析元素から
発した蛍光Ｘ線は窓部及び真空中のみを透過してＸ線検
出器に到達することとなる。
【００２２】従って、窓部による蛍光Ｘ線の吸収を最小
限に留め、また、この窓部とＸ線検出器との間の距離を
従来よりも短くして蛍光Ｘ線の検出量を大幅に増加させ
ることができる。これにより、検出感度、分析精度の向
上が可能になる。更に、励起放射線や蛍光Ｘ線の経路に
空気が存在する空間がないことから、この空間に対する
排気装置やヘリウム充填装置、及びこれらの排気、充填
工程が不要になり、コストや労力が低減される。試料室
が不要になると共に、真空容器と試料容器との一体化に
よって装置全体の小形化が可能になる。
限に留め、また、この窓部とＸ線検出器との間の距離を
従来よりも短くして蛍光Ｘ線の検出量を大幅に増加させ
ることができる。これにより、検出感度、分析精度の向
上が可能になる。更に、励起放射線や蛍光Ｘ線の経路に
空気が存在する空間がないことから、この空間に対する
排気装置やヘリウム充填装置、及びこれらの排気、充填
工程が不要になり、コストや労力が低減される。試料室
が不要になると共に、真空容器と試料容器との一体化に
よって装置全体の小形化が可能になる。
【図１】本発明の実施例を示す主要部の構成図である。
【図２】従来の技術を示す主要部の構成図である。
２Ａ 真空容器 ２Ｂ 試料容器 ３ 半導体Ｘ線検出器 ４ ＦＥＴ ８ Ｘ線管球 １０ 冷却棒 １１，１２ 窓部 Ｓ 液体試料 Ｒ 励起放射線 Ｆ 蛍光Ｘ線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桑田 正彦 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号 日本 電子エンジニアリング株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 試料に励起放射線を照射するための放射
線源と、試料から発生する蛍光Ｘ線を電気信号に変換す
るＸ線検出器と、このＸ線検出器を収納する真空容器と
を備え、前記Ｘ線検出器の出力に基づいて前記試料を分
析する蛍光Ｘ線分析装置において、 前記試料を収納する試料容器の少なくとも一部が、励起
放射線及び蛍光Ｘ線の透過性を有する窓部により形成さ
れ、この窓部の片面が前記真空容器内に露出されている
ことを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項２】 液体試料に励起放射線を照射するための
放射線源と、液体試料から発生する蛍光Ｘ線を電気信号
に変換するＸ線検出器と、このＸ線検出器を収納する真
空容器とを備え、前記Ｘ線検出器の出力に基づいて前記
液体試料を分析する液体試料分析用蛍光Ｘ線分析装置に
おいて、 前記液体試料を収納する試料容器の少なくとも一部が、
励起放射線及び蛍光Ｘ線の透過性を有する窓部により形
成され、この窓部の片面が前記真空容器内に露出されて
いることを特徴とする液体試料分析用蛍光Ｘ線分析装
置。 - 【請求項３】 窓部の試料に接する面に、ポリパラキシ
リレンからなる保護層を形成した請求項１または２記載
の蛍光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2205893A JPH06213837A (ja) | 1993-01-14 | 1993-01-14 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2205893A JPH06213837A (ja) | 1993-01-14 | 1993-01-14 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06213837A true JPH06213837A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=12072317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2205893A Withdrawn JPH06213837A (ja) | 1993-01-14 | 1993-01-14 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06213837A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009151672A3 (en) * | 2008-04-24 | 2010-02-25 | Chevron U.S.A. Inc. | Device and method for detecting deposits on an inner surface of a passage |
| WO2021225381A1 (ko) * | 2020-05-08 | 2021-11-11 | 주식회사 아이에스피 | 엑스선 형광분석기 |
-
1993
- 1993-01-14 JP JP2205893A patent/JPH06213837A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009151672A3 (en) * | 2008-04-24 | 2010-02-25 | Chevron U.S.A. Inc. | Device and method for detecting deposits on an inner surface of a passage |
| US7839969B2 (en) | 2008-04-24 | 2010-11-23 | Chevron U.S.A. Inc. | Device and method for detecting deposition on an inner surface of a pipe |
| WO2021225381A1 (ko) * | 2020-05-08 | 2021-11-11 | 주식회사 아이에스피 | 엑스선 형광분석기 |
| KR20210136505A (ko) * | 2020-05-08 | 2021-11-17 | 주식회사 아이에스피 | 엑스선 형광분석기 |
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