JPH05159733A - エネルギー分散型ｘ線検出器及びその真空排気方法 - Google Patents
エネルギー分散型ｘ線検出器及びその真空排気方法Info
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- JPH05159733A JPH05159733A JP3324507A JP32450791A JPH05159733A JP H05159733 A JPH05159733 A JP H05159733A JP 3324507 A JP3324507 A JP 3324507A JP 32450791 A JP32450791 A JP 32450791A JP H05159733 A JPH05159733 A JP H05159733A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線検出素子が配置される空間の真空排気を
良好に且つ効率よく行う。 【構成】 Ｘ線検出素子８が使用されない場合には、制
御部１５はコンプレッサ１を不動作とし、冷凍機の動作
を停止する。これによって吸着材５の温度が上昇し、一
旦は吸着されたガスが空間Ａに放出されるので、空間Ａ
内の真空度は低下するが、その後、操作部１６からＸ線
検出器の動作が指示されると、制御部１５は、排気ポン
プ１４を動作させると共に、排気弁１２を開き、空間Ａ
内の排気を行った後、真空ゲージ６の出力信号により空
間Ａ内の真空度が所定の真空度に達したことを検知する
と、排気弁１２を閉じ、排気ポンプ１４の動作を停止さ
せると共に、コンプレッサ１の動作を開始させる。これ
によって吸着材５が冷却されるので、その後は空間Ａの
内部は所定の真空度に保たれる。
良好に且つ効率よく行う。 【構成】 Ｘ線検出素子８が使用されない場合には、制
御部１５はコンプレッサ１を不動作とし、冷凍機の動作
を停止する。これによって吸着材５の温度が上昇し、一
旦は吸着されたガスが空間Ａに放出されるので、空間Ａ
内の真空度は低下するが、その後、操作部１６からＸ線
検出器の動作が指示されると、制御部１５は、排気ポン
プ１４を動作させると共に、排気弁１２を開き、空間Ａ
内の排気を行った後、真空ゲージ６の出力信号により空
間Ａ内の真空度が所定の真空度に達したことを検知する
と、排気弁１２を閉じ、排気ポンプ１４の動作を停止さ
せると共に、コンプレッサ１の動作を開始させる。これ
によって吸着材５が冷却されるので、その後は空間Ａの
内部は所定の真空度に保たれる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エネルギー分散型Ｘ線
分析装置（ＥＤＳ）等のＸ線検出器に係り、特に、Ｘ線
検出素子が配置される空間の真空度を良好に保つための
構成及びその真空排気方法に関する。
分析装置（ＥＤＳ）等のＸ線検出器に係り、特に、Ｘ線
検出素子が配置される空間の真空度を良好に保つための
構成及びその真空排気方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＥＤＳにおいてはＸ検出素子が配置され
る空間を良好な真空状態に保つことが要求され、そのた
めに液体窒素により活性炭等の吸着材を冷却し、その吸
着作用により当該空間内のガスを吸着させて真空度を維
持しているのが通常である。
る空間を良好な真空状態に保つことが要求され、そのた
めに液体窒素により活性炭等の吸着材を冷却し、その吸
着作用により当該空間内のガスを吸着させて真空度を維
持しているのが通常である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ものにおいては、吸着材の温度が上昇すると吸着材に吸
着されていたガスがＸ線検出素子が配置されている空間
内に放出されることになるので、ＥＤＳを使用しない場
合においても液体窒素を枯渇させることができず、液体
窒素の補給をしばしば行わなければならないというメン
テナンス上の問題があり、また液体窒素の取り扱いには
危険が伴うという問題もあった。
ものにおいては、吸着材の温度が上昇すると吸着材に吸
着されていたガスがＸ線検出素子が配置されている空間
内に放出されることになるので、ＥＤＳを使用しない場
合においても液体窒素を枯渇させることができず、液体
窒素の補給をしばしば行わなければならないというメン
テナンス上の問題があり、また液体窒素の取り扱いには
危険が伴うという問題もあった。
【０００４】これに対して、吸着材を冷却するものとし
て冷凍機を使用することが考えられ、これによれば上述
した問題点を解消できることが期待できる。しかしなが
ら、Ｘ線検出素子が配置される空間は密閉されているの
が通常であり、従って当該ＥＤＳを使用していないから
といって冷凍機を停止させてしまうと吸着材の温度が上
昇し、一旦吸着されたガスが再び当該空間内に放出さ
れ、真空度が悪化してしまうことになるので、このよう
な冷凍機により吸着材を冷却する構成の場合にも冷凍機
を常時運転する必要があり、そのために冷却機の部品の
消耗が激しく、頻繁に部品交換や蓄熱材の交換を行う必
要が生じるという問題がある。
て冷凍機を使用することが考えられ、これによれば上述
した問題点を解消できることが期待できる。しかしなが
ら、Ｘ線検出素子が配置される空間は密閉されているの
が通常であり、従って当該ＥＤＳを使用していないから
といって冷凍機を停止させてしまうと吸着材の温度が上
昇し、一旦吸着されたガスが再び当該空間内に放出さ
れ、真空度が悪化してしまうことになるので、このよう
な冷凍機により吸着材を冷却する構成の場合にも冷凍機
を常時運転する必要があり、そのために冷却機の部品の
消耗が激しく、頻繁に部品交換や蓄熱材の交換を行う必
要が生じるという問題がある。
【０００５】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、Ｘ線検出素子が配置される空間の真空排気を良好
に且つ効率よく行うことができ、しかもメンテナンスを
簡単に行うことができるエネルギー分散型Ｘ線検出器及
びその真空排気方法を提供することを目的とするもので
ある。
って、Ｘ線検出素子が配置される空間の真空排気を良好
に且つ効率よく行うことができ、しかもメンテナンスを
簡単に行うことができるエネルギー分散型Ｘ線検出器及
びその真空排気方法を提供することを目的とするもので
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のエネルギー分散型Ｘ線検出器は、Ｘ線検
出素子と、ヘッドに吸着材が配置されてなる冷凍機と、
前記Ｘ線検出素子と冷凍機ヘッドとの間に配置された熱
伝導棒と、前記Ｘ線検出素子と冷凍機ヘッド及び熱伝導
棒とを収容する保護容器と、前記保護容器と排気管及び
排気弁を介して接続された排気系とを備えることを特徴
とする。
めに、本発明のエネルギー分散型Ｘ線検出器は、Ｘ線検
出素子と、ヘッドに吸着材が配置されてなる冷凍機と、
前記Ｘ線検出素子と冷凍機ヘッドとの間に配置された熱
伝導棒と、前記Ｘ線検出素子と冷凍機ヘッド及び熱伝導
棒とを収容する保護容器と、前記保護容器と排気管及び
排気弁を介して接続された排気系とを備えることを特徴
とする。
【０００７】また、本発明のエネルギー分散型Ｘ線検出
器の真空排気方法は、Ｘ線検出素子と、ヘッドに吸着材
が配置されてなる冷凍機と、前記Ｘ線検出素子と冷凍機
ヘッドとの間に配置された熱伝導棒と、前記Ｘ線検出素
子と冷凍機ヘッド及び熱伝導棒とを収容する保護容器
と、前記保護容器と排気管及び排気弁を介して接続され
た排気系とを備えるエネルギー分散型Ｘ線検出器におい
て、前記Ｘ線検出素子の不使用時には前記冷凍機を不動
作として前記排気系により前記保護容器内の真空排気を
行い、前記Ｘ線検出素子の使用時には前記冷凍機を動作
させて前記保護容器内の真空を維持することを特徴とす
る。
器の真空排気方法は、Ｘ線検出素子と、ヘッドに吸着材
が配置されてなる冷凍機と、前記Ｘ線検出素子と冷凍機
ヘッドとの間に配置された熱伝導棒と、前記Ｘ線検出素
子と冷凍機ヘッド及び熱伝導棒とを収容する保護容器
と、前記保護容器と排気管及び排気弁を介して接続され
た排気系とを備えるエネルギー分散型Ｘ線検出器におい
て、前記Ｘ線検出素子の不使用時には前記冷凍機を不動
作として前記排気系により前記保護容器内の真空排気を
行い、前記Ｘ線検出素子の使用時には前記冷凍機を動作
させて前記保護容器内の真空を維持することを特徴とす
る。
【０００８】更に、本発明のエネルギー分散型Ｘ線検出
器の真空排気方法は、Ｘ線検出素子と、ヘッドに吸着材
が配置されてなる冷凍機と、前記Ｘ線検出素子と冷凍機
ヘッドとの間に配置された熱伝導棒と、前記Ｘ線検出素
子と冷凍機ヘッド及び熱伝導棒とを収容する保護容器
と、前記保護容器と前記Ｘ線検出素子が取り付けられる
電子顕微鏡の試料室とを接続する排気管及び排気弁とを
備えるエネルギー分散型Ｘ線検出器において、前記Ｘ線
検出素子の不使用時には前記冷凍機を不動作として前記
電子顕微鏡の試料室内を排気する排気系により前記保護
容器内の真空排気を行い、前記Ｘ線検出素子の使用時に
は前記冷凍機を動作させて前記保護容器内の真空を維持
することを特徴とする。
器の真空排気方法は、Ｘ線検出素子と、ヘッドに吸着材
が配置されてなる冷凍機と、前記Ｘ線検出素子と冷凍機
ヘッドとの間に配置された熱伝導棒と、前記Ｘ線検出素
子と冷凍機ヘッド及び熱伝導棒とを収容する保護容器
と、前記保護容器と前記Ｘ線検出素子が取り付けられる
電子顕微鏡の試料室とを接続する排気管及び排気弁とを
備えるエネルギー分散型Ｘ線検出器において、前記Ｘ線
検出素子の不使用時には前記冷凍機を不動作として前記
電子顕微鏡の試料室内を排気する排気系により前記保護
容器内の真空排気を行い、前記Ｘ線検出素子の使用時に
は前記冷凍機を動作させて前記保護容器内の真空を維持
することを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明のエネルギー分散型Ｘ線検出器は、Ｘ線
検出素子と、そのヘッドに吸着材が配置された冷凍機
と、熱伝導棒と、保護容器と、排気系を備える。熱伝導
棒はＸ線検出素子と冷凍機ヘッドとの間に配置されるも
のであり、保護容器はＸ線検出素子と冷凍機ヘッド及び
熱伝導棒とを収容するものである。また、排気系は排気
管及び排気弁を介して保護容器と接続されている。
検出素子と、そのヘッドに吸着材が配置された冷凍機
と、熱伝導棒と、保護容器と、排気系を備える。熱伝導
棒はＸ線検出素子と冷凍機ヘッドとの間に配置されるも
のであり、保護容器はＸ線検出素子と冷凍機ヘッド及び
熱伝導棒とを収容するものである。また、排気系は排気
管及び排気弁を介して保護容器と接続されている。
【００１０】そして、冷凍機はＸ線検出素子の不使用時
には不動作となされる。冷凍機の動作が停止されると吸
着材の温度が上昇し、ガスが放出されるが、Ｘ線検出素
子を使用する際には、まず排気系によりこの放出ガスの
排気を行った後に冷凍機を動作させる。これにより吸着
材が冷却され、ガスの吸着が行われるので、保護容器内
の空間は良好な真空度に保たれる。
には不動作となされる。冷凍機の動作が停止されると吸
着材の温度が上昇し、ガスが放出されるが、Ｘ線検出素
子を使用する際には、まず排気系によりこの放出ガスの
排気を行った後に冷凍機を動作させる。これにより吸着
材が冷却され、ガスの吸着が行われるので、保護容器内
の空間は良好な真空度に保たれる。
【００１１】また、Ｘ線検出素子が電子顕微鏡に取り付
けられる場合には、保護容器内の排気を行うための排気
系として当該電子顕微鏡本体の排気を行うための排気系
を用いる。この場合も冷凍機はＸ線検出素子の不使用時
には不動作となされ、Ｘ線検出素子を使用する際には、
まず電子顕微鏡本体の排気系により保護容器内のガスの
排気を行った後に冷凍機を動作させる。これにより吸着
材が冷却され、ガスの吸着が行われるので、保護容器内
の空間は良好な真空度に保たれる。
けられる場合には、保護容器内の排気を行うための排気
系として当該電子顕微鏡本体の排気を行うための排気系
を用いる。この場合も冷凍機はＸ線検出素子の不使用時
には不動作となされ、Ｘ線検出素子を使用する際には、
まず電子顕微鏡本体の排気系により保護容器内のガスの
排気を行った後に冷凍機を動作させる。これにより吸着
材が冷却され、ガスの吸着が行われるので、保護容器内
の空間は良好な真空度に保たれる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
図１は本発明に係るＸ線検出器を、Ｘ線検出用半導体素
子の前方にベリリウム（Ｂｅ）薄膜等からなるウィンド
ウを有する、いわゆるウィンドウ型のＸ線検出器に適用
した場合の一実施例の構成を示す断面図であり、図中、
１はコンプレッサ、２は冷凍機ヘッド、３，４は連結
管、５は吸着材、６は真空ゲージ、７は熱伝導棒、８は
Ｘ線検出素子、９は保護容器、１０はウィンドウ、１
１，１３は排気管、１２は排気弁、１４は排気ポンプ、
１５は制御部、１６は操作部、１７は真空容器を示す。
図１は本発明に係るＸ線検出器を、Ｘ線検出用半導体素
子の前方にベリリウム（Ｂｅ）薄膜等からなるウィンド
ウを有する、いわゆるウィンドウ型のＸ線検出器に適用
した場合の一実施例の構成を示す断面図であり、図中、
１はコンプレッサ、２は冷凍機ヘッド、３，４は連結
管、５は吸着材、６は真空ゲージ、７は熱伝導棒、８は
Ｘ線検出素子、９は保護容器、１０はウィンドウ、１
１，１３は排気管、１２は排気弁、１４は排気ポンプ、
１５は制御部、１６は操作部、１７は真空容器を示す。
【００１３】図１において、冷凍機はコンプレッサ１、
ヘッド２、連結管３，４で構成される。ヘッド２には冷
媒を断熱膨張させるためのピストン・シリンダー等が含
まれるが、その具体的な構成、動作については周知であ
るので説明は省略する。連結管３，４は、コンプレッサ
１により圧縮された冷媒をコンプレッサ１からヘッド２
へ送るための連結管及びヘッド２で断熱膨張された冷媒
をコンプレッサ１に送るための連結管である。
ヘッド２、連結管３，４で構成される。ヘッド２には冷
媒を断熱膨張させるためのピストン・シリンダー等が含
まれるが、その具体的な構成、動作については周知であ
るので説明は省略する。連結管３，４は、コンプレッサ
１により圧縮された冷媒をコンプレッサ１からヘッド２
へ送るための連結管及びヘッド２で断熱膨張された冷媒
をコンプレッサ１に送るための連結管である。
【００１４】冷凍機のヘッド２の外周には活性炭等から
なる吸着材５が配置されている。また、冷凍機ヘッド２
とＸ線検出素子８の間には熱伝送棒７が配置されてお
り、ヘッド２、吸着材５、Ｘ線検出素子８及び熱伝導棒
７は保護容器９に収容されている。保護容器９のＸ線検
出素子８側の端部にはベリリウム薄膜等からなるウィン
ドウ１０が設けられている。
なる吸着材５が配置されている。また、冷凍機ヘッド２
とＸ線検出素子８の間には熱伝送棒７が配置されてお
り、ヘッド２、吸着材５、Ｘ線検出素子８及び熱伝導棒
７は保護容器９に収容されている。保護容器９のＸ線検
出素子８側の端部にはベリリウム薄膜等からなるウィン
ドウ１０が設けられている。
【００１５】保護容器９内の空間Ａは、排気管１１、排
気弁１２、排気管１３を介して排気ポンプ１４に接続さ
れている。この排気ポンプ１４は独立した排気ポンプで
構成できることは勿論であるが、当該ＥＤＳ本体の排気
を行うための排気ポンプあるいは当該Ｘ線検出器が電子
顕微鏡に取り付けられているものである場合には当該電
子顕微鏡本体の排気を行うための排気ポンプを兼用する
ことも可能である。なお図１において１７は当該ＥＤＳ
または電子顕微鏡の真空容器である。また、空間Ａの所
定の位置には真空ゲージ６が配置されており、この真空
ゲージ６の出力信号は制御部１５に送られる。
気弁１２、排気管１３を介して排気ポンプ１４に接続さ
れている。この排気ポンプ１４は独立した排気ポンプで
構成できることは勿論であるが、当該ＥＤＳ本体の排気
を行うための排気ポンプあるいは当該Ｘ線検出器が電子
顕微鏡に取り付けられているものである場合には当該電
子顕微鏡本体の排気を行うための排気ポンプを兼用する
ことも可能である。なお図１において１７は当該ＥＤＳ
または電子顕微鏡の真空容器である。また、空間Ａの所
定の位置には真空ゲージ６が配置されており、この真空
ゲージ６の出力信号は制御部１５に送られる。
【００１６】制御部１５はマイクロプロセッサ及びその
周辺回路で構成され、冷凍機のコンプレッサ１、排気弁
１２及び排気ポンプ１４を制御するものである。なお、
制御部１５は後述する本発明に係る動作を行わせるため
に特別に設けることができることは当然であるが、当該
ＥＤＳまたは電子顕微鏡の動作あるいは分析のための信
号処理等を行うための制御部を兼用することも可能であ
ることは明きらかである。操作部１６は当該ＥＤＳまた
は電子顕微鏡の種々の操作を行うためのボタン類やキー
ボードを備えている。
周辺回路で構成され、冷凍機のコンプレッサ１、排気弁
１２及び排気ポンプ１４を制御するものである。なお、
制御部１５は後述する本発明に係る動作を行わせるため
に特別に設けることができることは当然であるが、当該
ＥＤＳまたは電子顕微鏡の動作あるいは分析のための信
号処理等を行うための制御部を兼用することも可能であ
ることは明きらかである。操作部１６は当該ＥＤＳまた
は電子顕微鏡の種々の操作を行うためのボタン類やキー
ボードを備えている。
【００１７】次に、制御部１５の動作について説明す
る。まず、Ｘ線分析が行われない場合等、Ｘ線検出素子
８が使用されない場合には、制御部１５はコンプレッサ
１を不動作とする。これによって冷凍機の動作は停止さ
れる。冷凍機の動作が停止すると吸着材５の温度が上昇
し、一旦は吸着されたガスが空間Ａに放出されるので、
空間Ａ内の真空度は低下する。
る。まず、Ｘ線分析が行われない場合等、Ｘ線検出素子
８が使用されない場合には、制御部１５はコンプレッサ
１を不動作とする。これによって冷凍機の動作は停止さ
れる。冷凍機の動作が停止すると吸着材５の温度が上昇
し、一旦は吸着されたガスが空間Ａに放出されるので、
空間Ａ内の真空度は低下する。
【００１８】操作部１６からＸ線検出器の動作が指示さ
れると、制御部１５は、まず排気ポンプ１４を動作させ
ると共に、排気弁１２を開く。これによって空間Ａ内の
排気が開始される。その後、制御部１５は真空ゲージ６
の出力信号から空間Ａ内の真空度が所定の真空度に達し
たことを検知すると、排気弁１２を閉じ、排気ポンプ１
４の動作を停止させると共に、コンプレッサ１の動作を
開始させる。これによって吸着材５が冷却されるので、
その後は空間Ａの内部は所定の真空度に保たれる。な
お、制御部１５がＸ線検出素子８の出力信号の処理をも
行う場合には、制御部１５のＸ線検出素子８からの出力
信号の取り込みは真空ゲージ６の出力信号により空間Ａ
内の真空度が所定の真空度に達した後に行うようにす
る。上述した実施例においては、排気ポンプを常時動作
させる必要がないので、排気ポンプのランニングコスト
は小さい。
れると、制御部１５は、まず排気ポンプ１４を動作させ
ると共に、排気弁１２を開く。これによって空間Ａ内の
排気が開始される。その後、制御部１５は真空ゲージ６
の出力信号から空間Ａ内の真空度が所定の真空度に達し
たことを検知すると、排気弁１２を閉じ、排気ポンプ１
４の動作を停止させると共に、コンプレッサ１の動作を
開始させる。これによって吸着材５が冷却されるので、
その後は空間Ａの内部は所定の真空度に保たれる。な
お、制御部１５がＸ線検出素子８の出力信号の処理をも
行う場合には、制御部１５のＸ線検出素子８からの出力
信号の取り込みは真空ゲージ６の出力信号により空間Ａ
内の真空度が所定の真空度に達した後に行うようにす
る。上述した実施例においては、排気ポンプを常時動作
させる必要がないので、排気ポンプのランニングコスト
は小さい。
【００１９】図２はＸ線検出器が電子顕微鏡に取り付け
られている場合に、保護容器の排気を行うための排気ポ
ンプを別個に設けることなく、電子顕微鏡本体の排気を
行うための排気ポンプによって保護容器の排気を行うよ
うにした実施例を説明するためのものである。
られている場合に、保護容器の排気を行うための排気ポ
ンプを別個に設けることなく、電子顕微鏡本体の排気を
行うための排気ポンプによって保護容器の排気を行うよ
うにした実施例を説明するためのものである。
【００２０】図１と同一の構成要素に対しては同一番号
が付されている図２において、２２は電子顕微鏡の筐体
であり、筐体２２で包囲された試料室２４には試料２３
が配置されている。保護容器９は試料室２４内へ挿入さ
れており、試料２３への電子線の照射によって試料２３
より発生したＸ線はウィンドウ１０を通過してＸ線検出
素子８に検出される。試料室２４は排気ポンプ２１によ
って排気できるようになっている。前記保護容器９に連
通する排気管１８が試料室２４に挿入されており、試料
室２４は排気ポンプ２１によって排気できるようになっ
ている。１９及び２０は排気弁である。排気ポンプ２１
の稼働と排気弁１９、２１の開閉は制御部１５によって
制御できるようになっている。
が付されている図２において、２２は電子顕微鏡の筐体
であり、筐体２２で包囲された試料室２４には試料２３
が配置されている。保護容器９は試料室２４内へ挿入さ
れており、試料２３への電子線の照射によって試料２３
より発生したＸ線はウィンドウ１０を通過してＸ線検出
素子８に検出される。試料室２４は排気ポンプ２１によ
って排気できるようになっている。前記保護容器９に連
通する排気管１８が試料室２４に挿入されており、試料
室２４は排気ポンプ２１によって排気できるようになっ
ている。１９及び２０は排気弁である。排気ポンプ２１
の稼働と排気弁１９、２１の開閉は制御部１５によって
制御できるようになっている。
【００２１】このような構成においても、Ｘ線分析が行
われない場合等、Ｘ線検出素子８が使用されない場合に
は、コンプレッサ１を不動作として冷凍機の動作を停止
させると、吸着材５の温度が上昇してガスが空間Ａ内に
放出される。
われない場合等、Ｘ線検出素子８が使用されない場合に
は、コンプレッサ１を不動作として冷凍機の動作を停止
させると、吸着材５の温度が上昇してガスが空間Ａ内に
放出される。
【００２２】いま、制御部１５の制御によって排気ポン
プ２１が稼働しており、排気弁２０が開放されていると
する。操作部１６からＸ線検出器の動作が指示される
と、制御部１５は、まず排気弁１９を開いて前記空間Ａ
と試料室２４とを連通させる。その結果、空間Ａの排気
が開始される。その後、制御部１５は真空ゲージ６の出
力信号から空間Ａが所定の真空度に達したことを検知す
ると、排気弁１９を閉じると共に、コンプレッサ１の動
作を開始させる。これにより、吸着材５が冷却され、そ
の後空間Ａの内部は所定の真空度に保たれる。
プ２１が稼働しており、排気弁２０が開放されていると
する。操作部１６からＸ線検出器の動作が指示される
と、制御部１５は、まず排気弁１９を開いて前記空間Ａ
と試料室２４とを連通させる。その結果、空間Ａの排気
が開始される。その後、制御部１５は真空ゲージ６の出
力信号から空間Ａが所定の真空度に達したことを検知す
ると、排気弁１９を閉じると共に、コンプレッサ１の動
作を開始させる。これにより、吸着材５が冷却され、そ
の後空間Ａの内部は所定の真空度に保たれる。
【００２３】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば、上記実施例では、本発明
に係るＸ線検出器をいわゆるウィンドウ型のＸ線検出器
に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、いわゆるウィンドウレス型のＸ
線検出器に対しても同様に適用することができるもので
ある。また、上記実施例では冷凍機のコンプレッサ１、
排気弁１２、排気ポンプ１４の制御は制御部１５により
行うものとしたが、これらの制御は手動で行ってもよい
ものである。更に、ＣＲＴ等の表示装置を設け、真空ゲ
ージ６で測定した真空度を表示したり、あるいはＸ線検
出素子８の使用の可否を表示することも可能である。ま
た更に、コンプレッサ１あるいはヘッド２に対しては、
ゴム等の防振材で隔離する等の適宜の防振対策を施すこ
とができることも当業者に明きらかである。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば、上記実施例では、本発明
に係るＸ線検出器をいわゆるウィンドウ型のＸ線検出器
に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、いわゆるウィンドウレス型のＸ
線検出器に対しても同様に適用することができるもので
ある。また、上記実施例では冷凍機のコンプレッサ１、
排気弁１２、排気ポンプ１４の制御は制御部１５により
行うものとしたが、これらの制御は手動で行ってもよい
ものである。更に、ＣＲＴ等の表示装置を設け、真空ゲ
ージ６で測定した真空度を表示したり、あるいはＸ線検
出素子８の使用の可否を表示することも可能である。ま
た更に、コンプレッサ１あるいはヘッド２に対しては、
ゴム等の防振材で隔離する等の適宜の防振対策を施すこ
とができることも当業者に明きらかである。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、冷凍機の運転はＸ線検出器の使用時のみ行え
ばよいので、ランニングコストを低減させることができ
るばかりでなく、部品交換のインターバルが長くなる。
また、吸着材は常時ガス吸着を行う必要がなく、また吸
着材から放出されたガスは排気系により外部に排気され
るので、寿命を飛躍的に延ばすことができる。
によれば、冷凍機の運転はＸ線検出器の使用時のみ行え
ばよいので、ランニングコストを低減させることができ
るばかりでなく、部品交換のインターバルが長くなる。
また、吸着材は常時ガス吸着を行う必要がなく、また吸
着材から放出されたガスは排気系により外部に排気され
るので、寿命を飛躍的に延ばすことができる。
【図１】 本発明に係るＸ線検出器をウィンドウ型のＸ
線検出器に適用した場合の一実施例の構成を示す断面図
である。
線検出器に適用した場合の一実施例の構成を示す断面図
である。
【図２】 本発明に係るＸ線検出器をウィンドウ型のＸ
線検出器に適用した場合の他の実施例の構成を示す断面
図である。
線検出器に適用した場合の他の実施例の構成を示す断面
図である。
１…コンプレッサ、２…ヘッド、３，４…連結管、５…
吸着材、６…真空ゲージ、７…熱伝導棒、８…Ｘ線検出
素子、９…保護容器、１０…ウィンドウ、１１，１３…
排気管、１２…排気弁、１４…排気ポンプ、１５…制御
部、１６…操作部、１７…真空容器。
吸着材、６…真空ゲージ、７…熱伝導棒、８…Ｘ線検出
素子、９…保護容器、１０…ウィンドウ、１１，１３…
排気管、１２…排気弁、１４…排気ポンプ、１５…制御
部、１６…操作部、１７…真空容器。
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｘ線検出素子と、ヘッドに吸着材が配置
されてなる冷凍機と、前記Ｘ線検出素子と冷凍機ヘッド
との間に配置された熱伝導棒と、前記Ｘ線検出素子と冷
凍機ヘッド及び熱伝導棒とを収容する保護容器と、前記
保護容器と排気管及び排気弁を介して接続された排気系
とを備えることを特徴とするエネルギー分散型Ｘ線検出
器。 - 【請求項２】 前記排気系は前記Ｘ線検出素子が取り付
けられる電子顕微鏡の試料室内を排気する排気系である
ことを特徴とする請求項１記載のエネルギー分散型Ｘ線
検出器。 - 【請求項３】 Ｘ線検出素子と、ヘッドに吸着材が配置
されてなる冷凍機と、前記Ｘ線検出素子と冷凍機ヘッド
との間に配置された熱伝導棒と、前記Ｘ線検出素子と冷
凍機ヘッド及び熱伝導棒とを収容する保護容器と、前記
保護容器と排気管及び排気弁を介して接続された排気系
とを備えるエネルギー分散型Ｘ線検出器において、前記
Ｘ線検出素子の不使用時には前記冷凍機を不動作として
前記排気系により前記保護容器内の真空排気を行い、前
記Ｘ線検出素子の使用時には前記冷凍機を動作させて前
記保護容器内の真空を維持することを特徴とするエネル
ギー分散型Ｘ線検出器の真空排気方法。 - 【請求項４】 Ｘ線検出素子と、ヘッドに吸着材が配置
されてなる冷凍機と、前記Ｘ線検出素子と冷凍機ヘッド
との間に配置された熱伝導棒と、前記Ｘ線検出素子と冷
凍機ヘッド及び熱伝導棒とを収容する保護容器と、前記
保護容器と前記Ｘ線検出素子が取り付けられる電子顕微
鏡の試料室とを接続する排気管及び排気弁とを備えるエ
ネルギー分散型Ｘ線検出器において、前記Ｘ線検出素子
の不使用時には前記冷凍機を不動作として前記電子顕微
鏡の試料室内を排気する排気系により前記保護容器内の
真空排気を行い、前記Ｘ線検出素子の使用時には前記冷
凍機を動作させて前記保護容器内の真空を維持すること
を特徴とするエネルギー分散型Ｘ線検出器の真空排気方
法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03324507A JP3112530B2 (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | エネルギー分散型ｘ線検出器の真空排気方法 |
| US07/986,668 US5324947A (en) | 1991-12-09 | 1992-12-08 | Energy-dispersive X-ray detector and method of evacuating same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03324507A JP3112530B2 (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | エネルギー分散型ｘ線検出器の真空排気方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05159733A true JPH05159733A (ja) | 1993-06-25 |
| JP3112530B2 JP3112530B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=18166578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03324507A Expired - Fee Related JP3112530B2 (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | エネルギー分散型ｘ線検出器の真空排気方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP3112530B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006242663A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Jeol Ltd | エネルギー分散型ｘ線検出器および試料分析装置 |
| JP2009059743A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Shimadzu Corp | ペルチェ冷却型半導体ｘ線検出器 |
| JP5464537B1 (ja) * | 2013-09-12 | 2014-04-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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| JPH065293B2 (ja) * | 1991-02-08 | 1994-01-19 | 岩谷産業株式会社 | エネルギー分散型ｘ線検出器冷却用液化ガス貯蔵容器での液化ガス蒸発防止装置及びその制御方法 |
-
1991
- 1991-12-09 JP JP03324507A patent/JP3112530B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-12-08 US US07/986,668 patent/US5324947A/en not_active Expired - Fee Related
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| JP4679181B2 (ja) * | 2005-03-02 | 2011-04-27 | 日本電子株式会社 | エネルギー分散型ｘ線検出器および試料分析装置 |
| JP2009059743A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Shimadzu Corp | ペルチェ冷却型半導体ｘ線検出器 |
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| WO2015037277A1 (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| US10837925B1 (en) | 2020-02-21 | 2020-11-17 | Shimadzu Corporation | X-ray detector monitoring device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3112530B2 (ja) | 2000-11-27 |
| US5324947A (en) | 1994-06-28 |
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