JP2017059360A - X線計測装置、電子線源の交換方法、及び電子銃 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子線源を容易に交換できるX線計測装置、電子線源の交換方法、及び電子銃を提供する。【解決手段】X線計測装置は、X線発生部1Aと、X線検出部と、を備えている。X線発生部1Aは、真空容器11と、開口を介して真空容器11を外部に開放するためのフランジ24及びフランジ25と、電子線Reを出射する電子線源15と、電子線源15を保持するガラス管17と、ガラス管17に設けられ開放部に臨むように真空容器11の外部に配置されるフランジ18と、を含む電子銃12Aと、電子線Reが照射されることによりX線Rxを出射するターゲット21と、ターゲット21を保持するガラス管23と、を含むターゲット部13Aと、を有し、電子銃12Aは、フランジ18と、フランジ18とフランジ24との間に介在された第1シール部材S1と、により開口を気密に封止している。【選択図】図2
Description
本発明は、X線計測装置、電子線源の交換方法、及び電子銃に関する。
特許文献1には、X線発生装置が記載されている。このX線発生装置は、フィラメント部を有する電子銃と、電子銃を収容する筒状部と、を備えている。また、特許文献2には、電子線発生装置が記載されている。この電子線発生装置は、光電面を収容する複数のカートリッジと、複数のカートリッジを保持するスライダと、を備えている。
特許文献1に記載されたX線発生装置では、筒状部を開放することにより、電子銃のフィラメント部が交換可能とされている。また、特許文献2に記載された電子線発生装置では、スライダを利用してカートリッジが交換可能とされている。このように、上記技術分野では、フィラメント部や光電面といった電子線源を容易に交換可能とすることが望まれている。
本発明は、電子線源を容易に交換できるX線計測装置、電子線源の交換方法、及び電子銃を提供することを目的とする。
本発明に係るX線計測装置は、試料に照射するX線を発生させるX線発生部と、試料からのX線を検出するX線検出部と、を備え、X線発生部は、開口が形成された真空容器と、開口を介して真空容器を外部に開放するための開放部と、真空容器の内部に配置され電子線を出射する電子線源と、電子線源を保持する電子線源保持部と、電子線源保持部に設けられ開放部に臨むように真空容器の外部に配置される第1フランジと、を含む電子銃と、真空容器の内部に配置され電子線が照射されることによりX線を出射するターゲットと、ターゲットを保持するターゲット保持部と、を含むターゲット部と、を有し、電子銃は、第1フランジと、第1フランジと開放部との間に介在された第1シール部材と、により開口を気密に封止している。
このX線計測装置においては、電子銃が、第1フランジを含み、第1フランジと第1シール部材とにより、真空容器の開口を気密に封止している。このため、真空容器内の真空度を調整することにより、電子銃が開口を封止する力を容易に調整することができる。したがって、例えば真空容器を大気に開放して真空度を小さくすれば、電子銃が開口を封止する力が弱められることによって、電子銃を真空容器から容易に取り外すことができる。この結果、このX線計測装置によれば、真空容器から電子銃を取り外して電子線源を容易に交換することができる。
本発明に係るX線計測装置においては、ターゲット保持部は、一端及び他端を含む筒状部材を含み、ターゲットは、一端において筒状部材に保持されており、電子線源は、筒状部材に収容されており、開放部は、他端側において筒状部材に設けられた第2フランジを含み、筒状部材は、開口を介して真空容器に挿入され、一端は、真空容器の内部に配置され、他端及び第2フランジは、真空容器の外部に配置され、電子銃は、第2フランジと真空容器との間に第2シール部材が介在された状態において、第1フランジと、第1フランジと第2フランジとの間に介在された第1シール部材と、により開口を気密に封止していてもよい。
本発明に係るX線計測装置においては、開放部は、開口を囲うように真空容器に設けられた第3フランジを含み、電子銃は、第1フランジと、第1フランジと第3フランジとの間に介在された第1シール部材と、により開口を気密に封止していてもよい。この場合、電子銃により開口を気密に封止するための構成を簡単にすることができる。
本発明に係るX線計測装置においては、ターゲット保持部は、一端及び他端を含む筒状部材を含み、ターゲットは、一端において筒状部材に保持されており、電子線源は、筒状部材に収容されており、一端は、真空容器の内部に配置され、筒状部材は、一端を含む第1部分と、他端を含む第2部分と、第1部分と第2部分とを着脱可能に接続する接続部と、を有し、他端において第1フランジの開放部側の部分に取り付けられ、開口を介して真空容器に挿入されていてもよい。この場合、ターゲット保持部が、ターゲットを保持する筒状部材を含み、筒状部材は、電子線源を内部に収容した状態で、他端において第1フランジの開放部側に取り付けられている。このように、筒状部材が第1フランジに取り付けられ、ターゲット部と電子銃とが一体化されているので、ターゲット部と電子銃との位置合わせが容易となる。また、筒状部材の第1部分と第2部分との接続を解除することにより、筒状部材の内部に収容された電子線源を容易に交換することができる。また、第1部分と第2部分との接続を解除することにより、ターゲットの交換も容易となる。
本発明に係るX線計測装置においては、ターゲット保持部は、一端及び他端を含む棒状部材を含み、ターゲットは、一端において棒状部材に保持されており、他端は、真空容器に固定されていてもよい。この場合、ターゲット保持部は、ターゲットを棒状部材により真空容器に固定して保持しているので、ターゲット保持部の構成を簡単にすることができる。また、ターゲットを単独で取り外すことが可能であるため、ターゲットの交換が一層容易となる。
本発明に係る電子線源の交換方法は、真空容器の内部に配置され電子線を出射する電子線源、電子線源を保持する電子線源保持部、及び、電子線源保持部に設けられ真空容器の外部に配置される第1フランジを含み、真空容器の開口を第1フランジによって気密に封止する電子銃と、真空容器の内部に配置され電子線が照射されることによりX線を出射するターゲットと、を備えるX線計測装置の電子線源を交換する電子線源の交換方法であって、真空容器を大気開放する第1ステップと、第1ステップの後に、真空容器から電子銃を取り外す第2ステップと、第2ステップの後に、電子銃の電子線源を交換する第3ステップと、第3ステップ後に、電子線源が真空容器の内部に配置されるように電子銃を真空容器に組み付ける第4ステップと、第4ステップの後に、真空容器を真空引きすることによって、第1フランジにより開口を封止する第5ステップと、を含む。
この電子線源の交換方法においては、電子銃が、第1フランジを含み、第1フランジにより真空容器の開口を気密に封止している。このため、第1ステップにおいて、真空容器を大気開放することによって、電子銃が開口を封止する力が弱められる。また、第5ステップにおいて、真空容器を真空引きすることによって、電子銃が開口を封止する力を強められる。このように、真空容器内の真空度を調整することにより、電子銃が開口を封止する力を容易に調整することができる。この結果、真空容器から電子銃を取り外して電子線源を容易に交換することができる。
本発明に係る電子銃は、X線計測装置のX線発生部に用いられる電子銃であって、真空容器の内部に配置され、電子線を出射する電子線源と、電子線源を保持する電子線源保持部と、電子線源保持部に設けられ、真空容器の外部に配置される第1フランジと、を備える。
この電子銃は、第1フランジを備えているので、第1フランジにより真空容器の開口を気密に封止することができる。このため、真空容器内の真空度を調整することにより、電子銃が開口を封止する力を容易に調整することができる。したがって、例えば真空容器を大気に開放して真空度を小さくすれば、第1フランジにより開口を封止する力が弱められることによって、電子銃を真空容器から容易に取り外すことができる。この結果、この電子銃によれば、真空容器から電子銃を取り外して電子線源を容易に交換することができる。
本発明によれば、電子線源を容易に交換できるX線計測装置、電子線源の交換方法、及び電子銃を提供することができる。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係るX線計測装置の構成図である。図1に示されるように、X線計測装置10Aは、X線発生部1Aと、排気部2と、X線照射部3と、X線検出部4と、を備えている。X線計測装置10Aは、例えば、軟X線3D顕微鏡である。X線計測装置10Aは、例えば、「水の窓」と呼ばれるエネルギー領域(285eV〜543eV)のX線を用いることにより、低原子番号(Z)の材料、及び生体試料の内部構造を3次元的に観察することができる。この領域のX線は、大気及び窓材によるX線吸収が大きいため、X線計測装置10Aでは、真空系が用いられる。また、通常のX線管とは異なり、窓材は用いられない。もしくは、厚さが数μm以下の薄膜の窓材が用いられる。
図1は、第1実施形態に係るX線計測装置の構成図である。図1に示されるように、X線計測装置10Aは、X線発生部1Aと、排気部2と、X線照射部3と、X線検出部4と、を備えている。X線計測装置10Aは、例えば、軟X線3D顕微鏡である。X線計測装置10Aは、例えば、「水の窓」と呼ばれるエネルギー領域(285eV〜543eV)のX線を用いることにより、低原子番号(Z)の材料、及び生体試料の内部構造を3次元的に観察することができる。この領域のX線は、大気及び窓材によるX線吸収が大きいため、X線計測装置10Aでは、真空系が用いられる。また、通常のX線管とは異なり、窓材は用いられない。もしくは、厚さが数μm以下の薄膜の窓材が用いられる。
X線発生部1Aは、試料Sに照射するX線を発生させる電子線励起型のX線源である。X線発生部1Aの各構成については、後で詳細に説明する。
排気部2は、例えば、真空容器11に接続された真空ポンプである。排気部2は、真空容器11を真空引きすることができる。
X線照射部3は、真空容器31と、X線光学素子32,34と、を有している。真空容器31は、X線光学素子32,34と試料Sとを収容している。真空容器31は、ゲートバルブGVを介して真空容器11と接続されている。試料Sは、試料支持部(不図示)により支持されている。X線光学素子32,34は、全反射を利用してX線Rxの結像及び集光を行う光学素子である。X線光学素子32,34は、例えば、ウォルターミラーといった筒状の斜入射反射鏡である。ここでは、X線光学素子32は、X線発生部1Aにおいて発生されたX線Rxを試料Sに集光する。また、X線光学素子34は、試料SからのX線RxをX線検出部4に結像する。真空容器31には、排気装置52が接続されている。排気装置52は、例えば、真空ポンプであり、真空容器31を真空引きしている。
X線検出部4は、真空容器31に配管53によって接続されている。X線検出部4は、例えば、CCD素子等のX線検出素子を含んでいる。配管53には、排気装置55が接続されている。排気装置55は、例えば、真空ポンプであり、配管53を真空引きしている。
図2は、図1に示されるX線発生部の構成図である。図3は、図2に示されるX線発生部の分解図である。図1〜図3に示されるように、X線発生部1Aは、真空容器11と、電子銃12Aと、ターゲット部13Aとを有している。X線発生部1Aでは、電子銃12A及びターゲット部13Aがそれぞれ交換可能となっている。真空容器11には、開口Aが形成されている。真空容器11には、開口Aを囲うようにフランジ(第3フランジ)14が設けられている。フランジ14は、ICF等の真空機器の接続で一般に使用される規格のフランジである。真空容器11は、排気部2と、真空容器31とに連通可能に接続されている。
電子銃12Aは、電子線源15と、制御電極16と、ガラス管(電子線源保持部)17と、フランジ(第1フランジ)18とを含んでいる。
電子線源15は、タングステン及びLaB6等からなるフィラメント15aと、フィラメント15aを一対の端子T1に対して着脱自在に取り付ける一対のソケット15bと、を含んでいる。電子線源15は、真空容器11の内部に配置されている。電子線源15は、端子T1を介してフィラメント15aに電圧が印加されることにより、電子線Reを出射する。
制御電極16は、電子線源15と共に真空容器11の内部に配置されている。制御電極16は、例えば、円筒状であり、電子線源15の周囲に配置されている。制御電極16は、電子レンズを形成し、電子線Reの軌道制御を行う。制御電極16は、一対の端子T2に接続されている。制御電極16と一対の端子T2とは、例えば、ウェルダー加工で接続されている。制御電極16は、一対の端子T2に電圧が印加されることにより、電子線源15から出射された電子線Reを後述するターゲット21の照射面21aに集光(収束)させる。
ガラス管17は、軸方向Dの一方の端部17aと、軸方向Dの他方の端部17bと、を含む筒状部材である。ガラス管17は、例えば、円筒部材である。ガラス管17は、真空容器11の外部において、端部17aが真空容器11側となるように配置されている。端部17aは、電子線源15側の端部である。一対の端子T1及び一対の端子T2は、ガラス管17の内部を貫通している。端子T1,T2は、例えば端部17bにおいてガラス管17に融着されている。ガラス管17は、一対の端子T1及び一対の端子T2を介して、電子線源15及び制御電極16を保持している。したがって、電子線源15と、制御電極16と、ガラス管17と、フランジ18とは、互いに一体化されている。
フランジ18は、端部17aに設けられている。フランジ18は、真空容器11の外部に配置されている。フランジ18は、端部17aからガラス管17の外方に延びる環状部18aと、環状部18aの外縁から電子線源15側に延びるように環状部18aに立設された筒状部18bと、を含んでいる。環状部18aは、例えば円環状である。筒状部18bは、例えば円筒状である。環状部18aは、例えば、融着によりガラス管17に固定されている。
ターゲット部13Aは、ターゲット(ターゲット電極)21と、制御電極22と、ガラス管23と、フランジ(第2フランジ)24と、フランジ(第2フランジ)25とを含んでいる。ターゲット21と、制御電極22と、ガラス管23と、フランジ24と、フランジ25とは、互いに一体化されている。
ターゲット21は、真空容器11の内部に配置されている。ターゲット21は、電子線源15と対向して配置されている。ターゲット21は、電子線Reが照射されることによりX線Rxを出射する。ターゲット21は、例えば、軟X線を放出するチタン等から形成されている。ターゲット21は、照射面21aと、底面21bと、側面21cとを含んでいる。
照射面21aは、電子線源15と軸方向Dに沿って対向している。照射面21aは、X線Rxが照射される面である。照射面21aは、例えば楕円形状を呈している。底面21bは、例えば円形状を呈している。側面21cは、照射面21aと底面21bとを軸方向Dに接続している。ターゲット21は、照射面21aが軸方向Dに対して45°傾斜すると共に、底面21bが軸方向Dに対して垂直をなすように配置されている。底面21bには、電線27が電気的に接続されている。電線27は、端子T3と電気的に接続されている。端子T3は、真空容器11のフランジ50に接続するフランジ51の大気側に配置されている。ターゲット21には、端子T3から電線27を介して高電圧が供給される。これにより、電子線Reが加速してターゲット21に入射する。
制御電極22は、制御電極16と共に、電子レンズを形成し、電子線Reの軌道制御を行う。制御電極22は、ここでは、ターゲット21への電子線Reの集光(収束)等に使用されている。制御電極22は、ターゲット21と共に真空容器11の内部に配置されている。制御電極22は、ターゲット21の側面21cを覆うようにターゲット21の周囲に配置されている。制御電極22は、例えば、円筒状をなし、軸方向Dの一端22a及び他端22bを含んでいる。制御電極22の軸方向Dの長さは、ターゲット21の軸方向Dの長さよりも長い。
制御電極22は、他端22b側において、内部にターゲット21を収容している。他端22bは、ターゲット21の底面21bにより閉塞されている。一端22aは、ガラス管23の内部において開放されている。ターゲット21は、例えば、側面21cにおいてネジ等により制御電極22に固定されている。制御電極22は、通常、ターゲット21と同電位であり、制御電極16と協働して、電子線源15から出射された電子線Reをターゲット21の照射面21aに集光(収束)させる。制御電極22における照射面21aに臨む部分には開口が設けられている。ターゲット21からのX線Rxは、この開口を介してターゲット部13Aから出射される。
ガラス管23は、軸方向Dの一端23a及び他端23bを含む筒状部材である。ガラス管23は、例えば、円筒状である。ガラス管23は、開口Aを介して真空容器11に挿入されている。一端23aは、真空容器11の内部に配置され、他端23bは、真空容器11の外部に配置されている。ガラス管23は、制御電極16と共に他端23bを介して内部に挿入された電子線源15を収容している。すなわち、電子線源15は、真空容器11及びガラス管23に収容されている。
ガラス管23の一端23a側の内部には、制御電極22の一端22a側の一部が収容されている。一端23aには、例えば、制御電極22の一端22a側の一部の外面が融着により固定されている。したがって、ガラス管23は、一端23aにおいて、制御電極22を介してターゲット21を保持している。即ち、ガラス管23及び制御電極22は、ターゲット保持部Hを構成している。また、他端23bには、フランジ24が設けられている。フランジ24は、例えば、環状の部材をガラス管23に融着により固定することにより構成されている。
フランジ24は、真空容器11の外部に配置されている。フランジ24は、他端23bの周囲を覆う筒状部24aと、筒状部24aの一端23a側の端部からガラス管23の外方に延びる環状部24bと、を含んでいる。筒状部24aは、例えば円筒状である。環状部24bは、例えば円環状である。環状部24bの外側の寸法(円環状の場合には外径)は、筒状部18bの内側の寸法(円筒状の場合には内径)と同等以下である。フランジ24は、筒状部18b内に収容される。環状部24bと環状部18aとの間には、環状の第1シール部材S1が介在している。第1シール部材S1は、例えば、円環状のOリングである。第1シール部材S1は、筒状部24aを囲むように環状部24b上に配置され、環状部24bと環状部18aとの間で押圧されて弾性変形されている。
フランジ25は、ICF等の真空機器の接続で一般に使用される規格のフランジである。フランジ25は、一端23aよりも他端23b側においてガラス管23に設けられている。フランジ25は、具体的には、一端23aと他端23bとの間であって、一端23aとフランジ24との間に設けられている。フランジ25は、例えば、環状(一例として円環状)の部材をガラス管23に融着により固定することで構成されている。
フランジ25は、真空容器11の外部に配置されている。フランジ25の外側の寸法(円環状の場合には外径)は、フランジ14の外側の寸法(円環状の場合には外径)と同等である。フランジ25は、軸方向Dに沿ってフランジ14と対向している。フランジ25は、フランジ14との間に、環状(一例として円環状)の第2シール部材S2を介在させた状態で、例えば、ネジ等でフランジ14に固定されている。これにより、フランジ25とフランジ14とは気密に接続されている。第2シール部材S2は、例えば、ガスケットである。
引き続いて、以上のX線計測装置10Aの動作について説明する。X線計測装置10Aを動作させる際には、まず、ゲートバルブGVを閉じて、X線照射部3及びX線検出部4からX線発生部1Aを隔離する。X線照射部3及びX線検出部4は、排気装置52及び排気装置55で真空に維持されている。続いて、ターゲット部13Aを真空容器11の開口Aから真空容器11内に挿入する。このとき、フランジ14とフランジ25との間に第2シール部材S2を介在させた状態で、フランジ14とフランジ25とを、例えばネジ等で固定する。これにより、フランジ25とフランジ14とが気密に接続される。続いて、ターゲット21の底面21bと電線27とを接続し、端子T3及び電線27を介してターゲット21に電圧を印加できるようにする。
続いて、電子銃12Aをターゲット部13Aのガラス管23に挿入する。このとき、フランジ24とフランジ18との間に第1シール部材S1を介在させた状態とする。続いて、排気部2により真空容器11を真空引きする。これにより、真空容器11の内部の気圧と大気圧との差により、フランジ18が第1シール部材S1を介してフランジ24に密着するように押圧される。この結果、第1シール部材S1が弾性変形され、フランジ18とフランジ24とが気密に接続される。
これにより、X線発生部1Aが組み立てられる。したがって、X線発生部1Aにおいては、電子銃12Aが、真空容器11の開口Aを、フランジ18と、フランジ18とフランジ24との間に介在された第1シール部材S1と、により気密に封止している。より具体的には、電子銃12Aは、フランジ25と真空容器11のフランジ14との間に第2シール部材S2が介在された状態において、フランジ18と、フランジ18とフランジ24との間に介在された第1シール部材S1と、により開口Aを気密に封止している。
換言すれば、フランジ25とフランジ14との間の気密状態を解除することにより、又は、フランジ18とフランジ24との間の気密状態を解除することにより、真空容器11が開口Aを介して外部に開放される。したがって、X線発生部1Aにおいて、フランジ24、及び、フランジ25は、開口Aを介して真空容器11を外部に開放するための1つの開放部Fを構成する。また、フランジ18は、開放部F(例えばフランジ24)に臨むように配置されている。
続いて、真空容器11の真空度が、X線発生部1Aの動作可能な真空度に達したら、ゲートバルブGVを開ける。そして、端子T3及び電線27を介してターゲット21に高電圧を印加する。更に、端子T1により電子線源15に電流を供給すると、電子が放出されて電子線Reが発生する。この電子線Reが加速してターゲット21に入射することにより、ターゲット21からX線Rxが放出される。このX線Rxを試料Sに照射することにより、X線計測を行うことができる。
引き続いて、第1実施形態に係る電子線源の交換方法について説明する。図4〜図6は、第1実施形態に係る電子線源の交換方法の主要な工程を示す図である。この方法においては、まず、ゲートバルブGVを閉じて、X線照射部3及びX線検出部4からX線発生部1Aを隔離する。このとき、X線照射部3は真空に保たれる。続いて、真空容器11にリークバルブ(不図示)等から大気を導入し、真空容器11を大気開放する(第1ステップ)。これにより、真空容器11内が大気圧となるため、フランジ18をフランジ24に向けて押圧する力がなくなり、第1シール部材S1が弾性変形されなくなる。
続いて、図4に示されるように、真空容器11から電子銃12Aを取り出す(第2ステップ)。ここでは、ターゲット部13Aを真空容器11に取り付けた状態を維持しつつ、電子銃12Aのみを真空容器11及びガラス管23から取り出す。続いて、図5に示されるように、電子銃12Aの電子線源15を交換する(第3ステップ)。具体的には、図5(a)に示されるように、電子線源15のソケット15bから端子T1を取り外し、図5(b)に示されるように、別の電子線源15zのソケット15bに端子T1を取り付ける。なお、このとき、真空容器11からターゲット部13Aを更に取り出し、ターゲット21を交換することも可能である。
続いて、図6に示されるように、別の電子線源15zが真空容器11の内部に配置されるように、電子銃12Aを真空容器11に組み付ける(第4ステップ)。最後に、真空容器11を排気部2(図1参照)により真空引きする。これにより、真空容器11の内部の気圧と大気圧との差により、フランジ18がフランジ24側に押圧される。この結果、電子銃12Aがターゲット部13Aに固定されると共に、上述したようにフランジ18等によって開口Aが気密に封止される(第5ステップ)。
以上説明したように、本実施形態に係るX線計測装置10Aにおいては、電子銃12Aは、フランジ18を含んでいる。電子銃12Aは、フランジ18と、フランジ18とフランジ24との間に介在された第1シール部材S1とにより、開口Aを気密に封止している。特に、電子銃12Aは、フランジ25とフランジ14との間に第2シール部材S2が介在された状態において、開口Aを封止している。
このため、真空容器11内の真空度を調整することにより、電子銃12Aが開口Aを封止する力を容易に調整することができる。したがって、例えば真空容器11を大気に開放して真空度を小さくすれば、電子銃12Aが開口Aを封止する力が弱められることによって、電子銃12Aを真空容器11から容易に取り外すことができる。この結果、このX線計測装置10Aによれば、真空容器11から電子銃12Aを取り外して電子線源15を容易に交換することができる。したがって、電子銃とターゲット部とが一体化され、電子線源のみを交換することができない従来のX線管と比べて、電子線源の交換に要する時間及びコストを削減することができる。
また、ターゲット部13Aは、ターゲット保持部Hを有し、ターゲット保持部Hは、ターゲット21を保持するガラス管23を含んでいる。ガラス管23は、電子線源15を内部に収容した状態で、開口Aを介して真空容器11に挿入されている。また、電子銃12Aが、ガラス管23に設けられたフランジ25と真空容器11との間に第2シール部材S2が介在された状態において、フランジ18と、第1シール部材S1と、により開口A1を気密に封止している。このため、例えば真空容器11を大気に開放して真空度を小さくすれば、フランジ18により開口Aを封止する力が弱められる。また、真空容器11から電子銃12Aを取り出した後、フランジ14とフランジ25との固定を解除することができる。すなわち、電子銃12Aに加えて、ガラス管23に保持されたターゲット21を真空容器11から容易に取り外すことができる。
本実施形態に係る電子線源の交換方法では、第1ステップにおいて、真空容器11を大気開放することによって、電子銃12Aが開口Aを封止する力が弱められる。また、第5ステップにおいて、真空容器11を真空引きすることによって、電子銃12Aが開口Aを封止する力を強められる。このように、真空容器11内の真空度を調整することにより、電子銃12Aが開口Aを封止する力を容易に調整することができる。この結果、真空容器11から電子銃12Aを取り外して電子線源15を容易に交換することができる。
本実施形態に係る電子銃12Aは、フランジ18を備えているので、フランジ18により真空容器11の開口Aを気密に封止することができる。このため、真空容器11内の真空度を調整することにより、電子銃12Aが開口Aを封止する力を容易に調整することができる。したがって、例えば真空容器11を大気に開放して真空度を小さくすれば、フランジ18により開口Aを封止する力が弱められる。これにより、電子銃12Aを真空容器11から容易に取り外すことができる。この結果、この電子銃12Aによれば、真空容器11から電子銃12Aを取り外して電子線源15を容易に交換することができる。
(第2実施形態)
図7は、第2実施形態に係るX線計測装置の構成図である。図1及び図7に示されるように、第1実施形態に係るX線計測装置10AはX線発生部1Aを備えるのに対して、第2実施形態に係るX線計測装置10BはX線発生部1Bを備えている。以下では、図1及び図7を参照しながら、X線計測装置10Aとの相違点を中心に、X線計測装置10Bの説明を行う。
図7は、第2実施形態に係るX線計測装置の構成図である。図1及び図7に示されるように、第1実施形態に係るX線計測装置10AはX線発生部1Aを備えるのに対して、第2実施形態に係るX線計測装置10BはX線発生部1Bを備えている。以下では、図1及び図7を参照しながら、X線計測装置10Aとの相違点を中心に、X線計測装置10Bの説明を行う。
図1及び図7に示されるように、X線発生部1Bは、電子銃12Aに代えて電子銃12Bを有する点、及び、ターゲット部13Aに代えてターゲット部13Bを有する点においてX線発生部1Aと相違している。電子銃12Bは、フランジ18に代えてフランジ(第1フランジ)41を含む点において、電子銃12Aと相違している。フランジ41は、端部17aの周囲を覆う筒状部41aと、筒状部41aの端部17b側の端部からガラス管17の外方に延びる環状部41bと、を含んでいる。筒状部41aは、例えば円筒状である。環状部41bは、例えば円環状である。
ターゲット部13Bは、ガラス管23に代えてガラス管43を含む点において、ターゲット部13Bと相違している。ガラス管43は、軸方向D(図3参照)の一端43a及び他端43bを含む筒状部材である。ガラス管43は、例えば、円筒部材である。ガラス管43は、開口A(図3参照)を介して真空容器11に挿入されている。一端43aは、真空容器11の内部に配置され、他端(不図示)は、真空容器11の外部に配置されている。ガラス管43の外側の寸法(円筒部材の場合には外径)は、ガラス管17の外側の寸法(円筒部材の場合には外径)と同等である。ガラス管43は、制御電極16と共に他端を介して内部に挿入された電子線源15を収容している。
ガラス管43は、第1部分432と、第2部分431と、接続部Cとを有している。第1部分432は、ガラス管43の一端43aを含み、第2部分431は、ガラス管43の他端を含んでいる。接続部Cは、第1部分432の第2部分431側の端部の雌ネジ部C2と、第2部分431の第1部分432側の端部の雄ネジ部C1とにより、第1部分432と第2部分431とを着脱可能に接続している。なお、接続部Cの接続方式はこれに限られない。
ガラス管43の一端43a側の内部には、制御電極22の一端22a側の一部が収容されている。一端43aには、例えば、制御電極22の一端22a側の一部の外面が融着により固定されている。したがって、ガラス管43は、一端43aにおいて、制御電極22を介してターゲット21を保持している。即ち、ガラス管23及び制御電極22は、ターゲット保持部Hを構成している。また、他端には、フランジ41の筒状部41aが融着されている。即ち、ターゲット部13Bは、電子銃12Bと一体的に形成されている。
フランジ41とフランジ14との間には、第1シール部材S1、補助部材45、及び第2シール部材S2(図3参照)が、フランジ41側からこの順に設けられている。補助部材45は、フランジ14との間に、第2シール部材S2(図3参照)を介在させた状態で、例えば、ネジ等でフランジ14に気密に固定されている。補助部材45は、フランジ14にフランジ41を固定させるために用いられる部材(アダプター)である。
補助部材45は、フランジ14側に設けられた環状部45aと、環状部45aの外縁部からフランジ18側に延びるように環状部45aに立設された筒状部45bと、を含んでいる。環状部45aは、例えば円環状である。筒状部45bは、例えば円筒状である。筒状部45bの内側の寸法(筒状部45bが円筒状の場合には内径)は、ガラス管43の外側の寸法(ガラス管43が円筒部材の場合には外径)と同等である。フランジ41は、第1シール部材S1を挟んで環状部41bと環状部45aとを対向させた状態で、筒状部45b内に収容されている。
このようにX線発生部1Bでは、電子銃12Bが、フランジ41と補助部材45との間に第1シール部材S1を介在させた状態で、真空容器11の開口Aに接続されている。更に、ターゲット部13Bは、電子銃12Bと一体的に形成されて、電子銃12Bと共に真空容器11の開口Aに接続されている。したがって、排気部2により真空容器11が真空引きされると、真空容器11の内部の気圧と大気圧との差により、フランジ41が第1シール部材S1を介して補助部材45に密着するように押圧される。この結果、開口Aが気密に封止された状態となる。
したがって、X線発生部1Bにおいては、電子銃12Bが、フランジ41と、フランジ41とフランジ14との間に介在された第1シール部材S1と、により真空容器11の開口Aを気密に封止している。換言すれば、フランジ41とフランジ14との間の気密状態を解除することにより、真空容器11が開口Aを介して外部に開放される。したがって、X線発生部1Bにおいて、フランジ14は、補助部材45と共に、開口Aを介して真空容器11を外部に開放するための開放部Fを構成する。また、フランジ41は、開放部F(例えば補助部材45)に臨むように配置されている。
続いて、X線計測装置10Bにおける電子線源の交換方法について説明を行う。まず、ゲートバルブGVを閉じて、X線照射部3及びX線検出部4からX線発生部1Bを隔離する。このとき、X線照射部3は真空に保たれる。続いて、真空容器11にリークバルブ(不図示)等から大気を導入し、真空容器11を大気開放する(第1ステップ)。これにより、真空容器11内が大気圧となるため、フランジ41をフランジ14に向けて押圧する力がなくなり、第1シール部材S1が弾性変形されなくなる。
続いて、真空容器11から電子銃12Bを取り出す(第2ステップ)。ここで、ターゲット部13Bは電子銃12Bと一体化されているので、電子銃12Bと共に真空容器11から取り出される。続いて、接続部Cを解除状態とした後、電子銃12Bの電子線源15を交換する(第3ステップ)。電子線源15の交換後、接続部Cを接続状態に戻す。また、ターゲット部13Bのターゲット21を交換することも可能である。
続いて、電子銃12Bを真空容器11に組み付ける(第4ステップ)。最後に、真空容器11を排気部2により真空引きする。これにより、真空容器11の内部の気圧と大気圧との差により、フランジ41がフランジ14側に押圧される。この結果、電子銃12Bが真空容器11に固定されると共に、上述したようにフランジ41等によって開口Aが気密に封止される(第5ステップ)。
以上説明したように、本実施形態に係るX線計測装置10Bにおいては、ターゲット保持部Hが、ターゲット21を保持するガラス管43を含み、ガラス管43は、電子線源15を内部に収容した状態で、他端においてフランジ41のフランジ14側に取り付けられている。このように、ガラス管43がフランジ41に取り付けられ、ターゲット部13Bと電子銃12Bとが一体化されているので、ターゲット部13Bと電子銃12Bとの位置合わせが容易となる。また、第1部分432と第2部分431との接続を解除することにより、ガラス管43の内部に収容された電子線源15を容易に交換することができる。また、第1部分432と第2部分431との接続を解除することにより、ターゲット21の交換も容易となる。
(第3実施形態)
図8は、第3実施形態に係るX線計測装置の構成図である。図7及び図8に示されるように、第2実施形態に係るX線計測装置10BはX線発生部1Bを備えるのに対して、第2実施形態に係るX線計測装置10CはX線発生部1Cを備えている。以下では、図7及び図8を参照しながら、X線計測装置10Bとの相違点を中心に、X線計測装置10Cの説明を行う。
図8は、第3実施形態に係るX線計測装置の構成図である。図7及び図8に示されるように、第2実施形態に係るX線計測装置10BはX線発生部1Bを備えるのに対して、第2実施形態に係るX線計測装置10CはX線発生部1Cを備えている。以下では、図7及び図8を参照しながら、X線計測装置10Bとの相違点を中心に、X線計測装置10Cの説明を行う。
図7及び図8に示されるように、X線発生部1Cは、電子銃12Bに代えて電子銃12Cを有する点、及び、ターゲット部13Bに代えてターゲット部13Cを有する点においてX線発生部1Bと相違している。電子銃12Cは、フランジ41にガラス管43が融着されておらず、ターゲット部13Cと分離された状態で用いられる点において、電子銃12Bと相違している。ターゲット部13Cは、ガラス管43に代えてロッド(棒状部材)47を含む点において、ターゲット部13Bと相違している。
ロッド47は、軸方向D(図3参照)の一端47a及び他端47bを含んでいる。一端47aは、ターゲット21の底面21bに固定され、真空容器11の内部に配置されている。他端47bは、フランジ51に固定されている。ロッド47は、絶縁物で構成されている。ロッド47は、ターゲット21と、真空容器11の外部に配置された端子T3とを接続する電線27を内部に収容している。ロッド47は、一端47aにおいてターゲット21を保持している。即ち、ロッド47は、ターゲット保持部Hを構成している。また、ターゲット21の交換は、真空容器11を大気開放してフランジ50とフランジ51との固定を解除することで行う。
X線計測装置10Cにおける電子線源の交換方法は、X線計測装置10Cには接続部Cが含まれないため、接続部Cを解除状態及び接続状態とする工程がない点において、X線計測装置10Bにおける電子線源の交換方法と相違し、その他の点で一致している。
以上説明したように、本実施形態に係るX線計測装置10Cにおいては、ターゲット保持部Hは、ターゲット21をロッド47により真空容器11に固定して保持しているので、ターゲット保持部Hの構成を簡単にすることができる。
以上、本実施形態に係るX線計測装置10A〜10C、電子線源の交換方法、電子銃12A〜12Cについて説明したが、本発明は、これに限られるものではない。例えば、電子線Reの軌道を制御する必要がない場合、X線発生部1A〜1Bに制御電極16,22を設置しなくてもよい。また、制御電極16,22のうちいずれか一方を設置してもよい。
X線計測装置10Aでは、フランジ18は、フランジ24を内部に収容する筒状部18bを含んでいるが、フランジ18は、フランジ24との間で第1シール部材S1を弾性変形させることにより、開口Aを密閉して封止できる構成であれば、筒状部18bを有していなくてもよい。また、X線計測装置10B,10Cでは、フランジ14が補助部材45を用いているが、フランジ14は、フランジ41との間で第2シール部材S2を弾性変形させることにより、開口Aを密閉して封止できる構成であれば、補助部材45を用いなくてもよい。
X線計測装置10Aでは、フランジ25を設けず、フランジ24がフランジ25を兼ねていてもよい。例えば、環状部24bがフランジ14と同じ規格(ICF等)であれば、フランジ24がフランジ25を兼ねることができる。
X線計測装置10Aでは、フランジ25とフランジ14とがネジ等で固定されていなくてもよい。フランジ25とフランジ14との接続は、フランジ24とフランジ18との接続と同様に、真空容器11の内部の気圧と大気圧との差により形成されていてもよい。即ち、真空容器11の内部の気圧と大気圧との差により、フランジ25が第2シール部材S2を介してフランジ14に密着するように押圧されることで、フランジ25とフランジ14とが接続されてもよい。
1A,1B,1C…X線発生部、4…X線検出部、10A,10B,10C…X線計測装置、11…真空容器、12A,12B,12C…電子銃、13A,13B,13C…ターゲット部、14…フランジ(第3フランジ)、15…電子線源、17…ガラス管(電子線源保持部)、18…フランジ(第1フランジ)、21…ターゲット、22…制御電極、23…ガラス管(筒状部材)、24…フランジ(第2フランジ)、25…フランジ(第2フランジ)、43…ガラス管(筒状部材)、432…第1部分、431…第2部分、45…補助部材、A…開口、C…接続部、F…開放部、H…ターゲット保持部、Re…電子線、Rx…X線、S…試料、S1…第1シール部材、S2…第2シール部材。
Claims (7)
- 試料に照射するX線を発生させるX線発生部と、
前記試料からのX線を検出するX線検出部と、を備え、
前記X線発生部は、
開口が形成された真空容器と、
前記開口を介して前記真空容器を外部に開放するための開放部と、
前記真空容器の内部に配置され電子線を出射する電子線源と、前記電子線源を保持する電子線源保持部と、前記電子線源保持部に設けられ前記開放部に臨むように前記真空容器の外部に配置される第1フランジと、を含む電子銃と、
前記真空容器の内部に配置され前記電子線が照射されることによりX線を出射するターゲットと、前記ターゲットを保持するターゲット保持部と、を含むターゲット部と、を有し、
前記電子銃は、前記第1フランジと、前記第1フランジと前記開放部との間に介在された第1シール部材と、により前記開口を気密に封止している、X線計測装置。 - 前記ターゲット保持部は、一端及び他端を含む筒状部材を含み、
前記ターゲットは、前記一端において前記筒状部材に保持されており、
前記電子線源は、前記筒状部材に収容されており、
前記開放部は、前記他端側において前記筒状部材に設けられた第2フランジを含み、
前記筒状部材は、前記開口を介して前記真空容器に挿入され、
前記一端は、前記真空容器の内部に配置され、
前記他端及び前記第2フランジは、前記真空容器の外部に配置され、
前記電子銃は、前記第2フランジと前記真空容器との間に第2シール部材が介在された状態において、前記第1フランジと、前記第1フランジと前記第2フランジとの間に介在された前記第1シール部材と、により前記開口を気密に封止している、
請求項1に記載のX線計測装置。 - 前記開放部は、前記開口を囲うように前記真空容器に設けられた第3フランジを含み、
前記電子銃は、前記第1フランジと、前記第1フランジと前記第3フランジとの間に介在された前記第1シール部材と、により前記開口を気密に封止している、
請求項1に記載のX線計測装置。 - 前記ターゲット保持部は、一端及び他端を含む筒状部材を含み、
前記ターゲットは、前記一端において前記筒状部材に保持されており、
前記電子線源は、前記筒状部材に収容されており、
前記一端は、前記真空容器の内部に配置され、
前記筒状部材は、
前記一端を含む第1部分と、
前記他端を含む第2部分と、
前記第1部分と前記第2部分とを着脱可能に接続する接続部と、を有し、
前記他端において前記第1フランジの前記開放部側の部分に取り付けられ、前記開口を介して前記真空容器に挿入されている、
請求項3記載のX線計測装置。 - 前記ターゲット保持部は、一端及び他端を含む棒状部材を含み、
前記ターゲットは、前記一端において前記棒状部材に保持されており、
前記他端は、前記真空容器に固定されている、
請求項3記載のX線計測装置。 - 真空容器の内部に配置され電子線を出射する電子線源、前記電子線源を保持する電子線源保持部、及び、前記電子線源保持部に設けられ前記真空容器の外部に配置される第1フランジを含み、前記真空容器の開口を前記第1フランジによって気密に封止する電子銃と、前記真空容器の内部に配置され前記電子線が照射されることによりX線を出射するターゲットと、を備えるX線計測装置の前記電子線源を交換する電子線源の交換方法であって、
前記真空容器を大気開放する第1ステップと、
前記第1ステップの後に、前記真空容器から前記電子銃を取り外す第2ステップと、
前記第2ステップの後に、前記電子銃の前記電子線源を交換する第3ステップと、
前記第3ステップ後に、前記電子線源が前記真空容器の内部に配置されるように前記電子銃を前記真空容器に組み付ける第4ステップと、
前記第4ステップの後に、前記真空容器を真空引きすることによって、前記第1フランジにより前記開口を封止する第5ステップと、
を含む、電子線源の交換方法。 - X線計測装置のX線発生部に用いられる電子銃であって、
真空容器の内部に配置され、電子線を出射する電子線源と、
前記電子線源を保持する電子線源保持部と、
前記電子線源保持部に設けられ、前記真空容器の外部に配置される第1フランジと、を備える、電子銃。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015182119A JP2017059360A (ja) | 2015-09-15 | 2015-09-15 | X線計測装置、電子線源の交換方法、及び電子銃 |
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JP2015182119A JP2017059360A (ja) | 2015-09-15 | 2015-09-15 | X線計測装置、電子線源の交換方法、及び電子銃 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017059360A true JP2017059360A (ja) | 2017-03-23 |
Family
ID=58390972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015182119A Pending JP2017059360A (ja) | 2015-09-15 | 2015-09-15 | X線計測装置、電子線源の交換方法、及び電子銃 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017059360A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019244874A1 (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | ナノックス イメージング ピーエルシー | 冷陰極電子源及びこれを備えるx線発生装置 |
-
2015
- 2015-09-15 JP JP2015182119A patent/JP2017059360A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2019244874A1 (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | ナノックス イメージング ピーエルシー | 冷陰極電子源及びこれを備えるx線発生装置 |
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