JP2007280958A - マイクロ集束レベルの電子ビーム発生用炭素ナノチューブ基板分離型の放射線管システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空空間を提供するハウジングと;ハウジングの内部に設置される陽極と;陽極に対応し、表面に炭素ナノチューブが成長されている炭素ナノチューブ基板と;炭素ナノチューブ基板に電圧を印加する陰極板と;炭素ナノチューブ基板と結合されハウジングに脱着自在に設置されるサンプルプローブと;炭素ナノチューブ基板から電子を円滑に抽出するためのグリッド電極と;グリッド電極をパスした電子を集束する電子集束レンズと;サンプルプローブの周りに複数設置されるフィードスルーと;ハウジング内部の真空状態を保持するためにハウジングの内部と外部を遮断させる真空バルブと;を含むことを特徴とする、マイクロ集束レベルの電子ビーム発生用炭素ナノチューブ基板分離型の放射線管システムが提供される。
【選択図】図2
Description
102 陽極
103 炭素ナノチューブ基板(陰極)
104 陰極板
105 サンプルプローブ
106 グリッド電極
107 電子集束レンズ
108 フィードスルー
109 真空ポンプ
110 真空バルブ
115 電子
121 ベリリウム窓
122 縁切り層
123 オーリング
124 電線
130 熱線
Claims (4)
- 陰極から放出された電子が陽極に衝突し放射線を放出する放射線管システムにおいて:
前記陰極から放出された電子が陽極に衝突し放射線を放出するための真空の空間を提供するハウジングと;
前記ハウジングの内部の一側に設置され外部から印加された電圧によって電界を形成して陰極から放出された電子を加速して自らに到逹するようにする陽極と;
前記陽極に対応する陰極として前記ハウジング内部の陽極から一定距離離隔された位置に設置され、表面には電圧印加によって電子を放出する炭素ナノチューブが成長されている炭素ナノチューブ基板と;
前記炭素ナノチューブ基板を支持及び固定し、前記炭素ナノチューブ基板に電圧を印加するための陰極板と;
前記炭素ナノチューブ基板に異常がある時、異常のある炭素ナノチューブ基板だけを入れ替えるように前記炭素ナノチューブ基板と結合され一体化されたセットになって前記ハウジングに脱着自在に設置されるサンプルプローブと;
前記炭素ナノチューブ基板の前方に設置され、前記炭素ナノチューブ基板から電子を円滑に抽出するためのグリッド電極と;
前記グリッド電極の前方に設置され、前記グリッド電極をパスした電子を集束して前記陽極にマイクロレベルの焦点が形成できるようにする電子集束レンズと;
前記サンプルプローブの周りに複数設置され、前記陰極、前記グリッド電極及び前記電子集束レンズに電圧を印加するためのフィードスルーと;
前記ハウジングの一側に脱着自在に設置され、前記炭素ナノチューブ基板を入れ替える際に前記ハウジング内部の真空状態を保持するための真空ポンプ及び前記サンプルプローブを前記ハウジングに挿入及び前記ハウジングから分離する際に、前記ハウジングの内部と外部を遮断させる真空バルブと;
を含むことを特徴とする、マイクロ集束レベルの電子ビーム発生用炭素ナノチューブ基板分離型の放射線管システム。 - 前記電子集束レンズは漏斗形の管(截頭円錐体)の形態に形成されていることを特徴とする、請求項1記載のマイクロ集束レベルの電子ビーム発生用炭素ナノチューブ基板分離型の放射線管システム。
- 前記ハウジングの外周面には、前記ハウジングを電気的に加熱して前記ハウジングの内壁及び前記ハウジングを成している材質を脱気体化することによって、さらに前記ハウジングの真空度を増大させる熱線を備えていることを特徴とする、請求項1記載のマイクロ集束レベルの電子ビーム発生用炭素ナノチューブ基板分離型の放射線管システム。
- 前記熱線が設置された前記ハウジングの周りには前記熱線の外部露出を防止し、前記熱線から発生された熱の外部への損失を遮断するための断熱材を備えていることを特徴とする、請求項3記載のマイクロ集束レベルの電子ビーム発生用炭素ナノチューブ基板分離型の放射線管システム。
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