JP2005108806A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 電子銃と、電子線の走査偏向手段と検出器を備えた電子線応用装置であって、前記電子銃は、
   電子源と、
   該電子源を保持する真空容器と、
   該真空容器の内部に設けられた非蒸発ゲッターポンプと、
   前記真空容器の内部を粗引きするための開口部と、
   前記ゲッターポンプの加熱手段と、
   前記電子源の動作中に発生するガスを分解する手段とを有することを特徴とする電子線応用装置。
2. 請求項１記載の電子線応用装置において、
   前記電子銃における前記ガスを分解する手段が、前記電子源の電子放出位置よりも上部に配置されていることを特徴とする電子線応用装置。
3. 電子銃と、電子線の走査偏向手段と検出器を備えた電子線応用装置であって、前記電子銃は、
   電子源と、
   該電子源を保持する真空容器と、
   該真空容器の内部に設けられた非蒸発ゲッターポンプと、
   前記真空容器の内部を粗引きするための開口部と、
   前記ゲッターポンプの加熱手段と、
   前記真空容器内に配置された発熱体とを有し、
   該発熱体は、前記電子源よりも上部に配置されていることを特徴とする電子線応用装置。
4. 請求項３に記載の電子線応用装置において、前記電子銃が、
   第２の非蒸発ゲッターポンプと、該第２の非蒸発ゲッターポンプを加熱するための第２
   の加熱ヒータとを更に備えたことを特徴とする電子線応用装置。
5. 請求項１から４に記載の電子線応用装置において、前記電子銃が、
   電子源として、電界放出型または熱電界放出型の電子源を備えたことを特徴とする電子線応用装置。
6. 電子源と、
   該電子源を保持する真空容器と、
   該真空容器の内部に設けられた非蒸発ゲッターポンプと、
   前記真空容器の内部を粗引きするための開口部と、
   前記ゲッターポンプの加熱手段と、
   前記電子源の動作中に発生するガスを分解する手段とを有することを特徴とする電子銃。
7. 請求項６記載の電子銃において、
   前記ガスを分解する手段が、前記電子源の電子放出位置よりも上部に配置されていることを特徴とする電子銃。
8. 電子源と、
   該電子源を保持する真空容器と、
   該真空容器の内部に設けられた非蒸発ゲッターポンプと、
   前記真空容器の内部を粗引きするための開口部と、
   前記ゲッターポンプの加熱手段と、
   前記真空容器内に配置された発熱体とを有し、
   該発熱体は、前記電子源よりも上部に配置されていることを特徴とする電子銃。
9. 電子銃と、電子線の走査偏向手段と検出器を備えた電子線応用装置であって、
   該電子線応用装置のいずれかの部位において内部に設けられた非蒸発ゲッターポンプと、
   前記非蒸発ゲッターポンプ近傍領域を粗引きするための開口部と、
   前記非蒸発ゲッターポンプの加熱手段と、
   前記電子線照射中に発生するガスを分解する手段とを有することを特徴とする電子線応用装置。
10. 請求項９に記載の電子線応用装置において、
    前記ガス分解手段は、前記電子線応用装置内に配置された発熱体であることを特徴とする電子線応用装置。