JP5260575B2 - 電子顕微鏡、および試料ホルダ - Google Patents
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Description
2 電子銃
3 コンデンサーレンズ
4 対物レンズ
5 投射レンズ
6 電子線装置用試料保持装置
7 蛍光板
8 TVカメラ
9a 画像表示部
9b 画像記録部
10 EELS検出器
11 EELS制御部
12 EDX検出器
13 EDX制御部
14 電子線装置試料室
15 観察室
16 バルブ
17 真空ポンプ
18a 下部隔膜
18b 上部隔膜
19 セル
20 試料
21 ガス導入管
22 ガス排気管
23 ガス圧コントロールバルブ
24 ガス貯蔵部
25 電子線
26 中間室
27 試料予備排気室
28 電子線透過孔
29a 下部隔膜支持板
29b 上部隔膜支持板
30 ヒータ
31a ヒータ固定ネジ
31b ネジ
32 リード線
33 加熱電源
34 押さえ板
35 ガスケット
36 外軸
37 中軸
38 排気孔
39 Oリング
40 中軸駆動つまみ
Claims (12)
- 試料を保持する試料ホルダと、
前記試料の周囲を真空雰囲気に保つ試料室と、
一次電子線を放出する電子源から放出される電子線を収束し、前記試料に照射する電子線制御装置と、
前記試料から発生した電子を検出する検出器と、
前記検出器からの信号に基づいて前記試料に関する試料像を作成する試料像制御装置と、
前記試料像を表示する表示装置と、
前記試料像を記録する記録装置と
を備えた電子顕微鏡において、
前記試料ホルダに保持された前記試料の上下に隔膜を配して前記試料室の真空雰囲気とガス雰囲気とを隔離するセルと、
前記セル内にガスを供給するガス供給装置と、
前記セル内から前記ガスを排気するガス排気装置とを備え、
前記ガス排気装置には、前記セル内に設けられたガス排気管と、前記セルを貫通するように前記試料ホルダの側壁に設けられた開閉可能な排気孔とが設けられており、前記ガス排気管および前記排気孔の両方から前記セル内の排気が可能であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記セル内のガスの圧力を調整する圧力調整装置と、
前記セルの内部に前記試料を加熱する加熱装置とを設けたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記試料ホルダの側壁に設けられた前記排気孔はひとつであることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記試料ホルダの側壁に設けられた前記排気孔は複数個であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記試料ホルダは軸を有し、該軸が外軸と中軸とを有し、該外軸に前記排気孔が設けられ、前記中軸の移動により前記セルの内部の排気を行うように構成したことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項5に記載の電子顕微鏡において、
前記試料ホルダの前記中軸にニードルバルブを設けることで、前記排気孔の開閉時の前記ガスの流量の調整を行うように構成したことを特徴とする電子顕微鏡。 - 試料を保持し、該試料に電子線を照射することで前記試料から発生する電子を検出して画像を形成する電子顕微鏡に用いられる試料ホルダにおいて、
前記試料の上下に隔膜を配して真空雰囲気とガス雰囲気とを隔離するセルと、
前記セル内に設けられたガス排気管と、
前記セルを貫通するように設けられた開閉可能な排気孔とを備え、
前記ガス排気管および前記排気孔の両方から前記セル内の排気が可能であることを特徴とする試料ホルダ。 - 請求項7に記載の試料ホルダにおいて、
前記セルの内部に前記試料を加熱する加熱装置を設けたことを特徴とする試料ホルダ。 - 請求項7に記載の試料ホルダにおいて、
前記排気孔はひとつであることを特徴とする試料ホルダ。 - 請求項7に記載の試料ホルダにおいて、
前記排気孔は複数個であることを特徴とする試料ホルダ。 - 請求項7に記載の試料ホルダにおいて、
軸を有し、該軸が外軸と中軸とを有し、該外軸に前記排気孔が設けられ、前記中軸の移動により前記セルの内部の排気が行われるように構成したことを特徴とする試料ホルダ。 - 請求項11に記載の試料ホルダにおいて、
前記中軸にニードルバルブを設けることで、前記排気孔の開閉時の前記ガスの流量の調整が行われるように構成したことを特徴とする試料ホルダ。
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