JP6169334B2 - 電子顕微鏡および電子顕微鏡用試料保持装置 - Google Patents
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Description
電子顕微鏡試料室12には試料予備排気室22が接続されており、試料予備排気室22はバルブ14を介して真空ポンプ15に接続されている。
装置稼働中の雰囲気の流量、圧力、温湿度、ビデオカウンター等の条件は試料環境制御部10で記録される。
2 電子銃
3 コンデンサーレンズ
4 対物レンズ
5 投射レンズ
6 電子顕微鏡用試料保持装置
7 蛍光板
8 TVカメラ
9a 画像表示部
9b 画像記録部
10 試料環境制御部
11 差動排気絞り
12 電子顕微鏡試料室
13 観察室
14 バルブ
15 真空ポンプ
16 電子線
17 キャピラリ
17a キャピラリ入り口
17b キャピラリ入り口出口
18 開閉バルブ
19 ガス・液体供給装置
19a 流量制御部
19b 貯蔵部
20 排気ポンプ
21 捕集容器
22 試料予備排気室
23 試料
24 試料固定部
25 電子線通過孔
26 パッキン
27 回転機構
28 試料回転制御部
29 質量分析計
30 金属または導電性樹脂膜
31 ヒータ
32 加熱電源
33 電極
34 フタ
35 金属板
36 電圧印加電源
Claims (34)
- 一次電子線を放出する電子源と、前記電子源から放出される電子線を集束し、試料に照射する電子線制御手段と、試料から発生した電子を検出する検出器と、前記検出器からの信号に基づいて試料像を作成する演算装置と、前記試料像を表示する表示手段と、前記表示された試料像を記録する手段と、を備えた電子顕微鏡において、
前記試料は前記電子線が透過可能なキャピラリ内部に配置され、
前記キャピラリは前記試料を試料室の真空から遮蔽し、
前記キャピラリ内部に気体又は液体を供給する供給装置と、
前記気体又は液体を回収する回収装置を有し、
前記気体又は液体を流しながら前記試料の試料像を取得することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記キャピラリの電子線照射部がカーボンコーティングされていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記キャピラリの電子線透過部分以外が金属又は導電性樹脂で被覆されていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
電子線透過可能なキャピラリの内部にヒータを設けたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記キャピラリ内部に、前記試料を固定可能な試料固定部が配置され、前記試料固定部をキャピラリ内部で移動及び/又は回転が可能な駆動機構を備えることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記キャピラリの電子線照射部が細くなっていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記キャピラリの内部に電圧印加部を設け、当該電圧印加部は前記キャピラリの外部に配置された電圧印加手段と接続したことを特徴とする電子顕微鏡 - 請求項1の電子顕微鏡において、
前記回収装置が、前記気体又は液体の質量分析が可能であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記キャピラリを保持する保持部を有し、
前記キャピラリは前記保持部の内部にあり、
前記キャピラリはU字状の部分を含むことを特徴とする電子顕微鏡 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記供給装置は前記キャピラリ内部に前記液体を供給することを特徴とする電子顕微鏡。 - 電子顕微鏡に搭載され観察対象の試料を保持する試料保持装置であって、
当該試料保持装置は電子線が透過可能なキャピラリを備え、
前記キャピラリは試料を電子顕微鏡の試料室の真空から遮蔽し、
前記試料は前記キャピラリ内部に配置され、
前記キャピラリ内部に気体又は液体が供給されることを特徴とする試料保持装置。 - 請求項11記載の試料保持装置において、
前記キャピラリの電子線照射部がカーボンコーティングされていることを特徴とする試料保持装置。 - 請求項11記載の試料保持装置において、
前記キャピラリの電子線透過部分以外が金属又は導電性樹脂で被覆されていることを特徴とする試料保持装置。 - 請求項11記載の試料保持装置において、
前記キャピラリの内部にヒータを設けたことを特徴とする試料保持装置。 - 請求項11記載の試料保持装置において、
前記キャピラリ内部に、前記試料を固定可能な試料固定部が配置され、
前記試料固定部をキャピラリ内部で移動及び/又は回転が可能な駆動機構を備えることを特徴とする試料保持装置。 - 請求項11記載の試料保持装置において、
前記キャピラリの内部に電圧印加部を設け、
当該電圧印加部は前記キャピラリの外部に配置された電圧印加手段と接続したことを特徴とする試料保持装置。 - 請求項11に記載の試料保持装置において、
前記キャピラリはU字状の部分を含むことを特徴とする試料保持装置 - 請求項11に記載の試料保持装置において、
前記キャピラリ内部に液体が供給されることを特徴とする試料保持装置。 - 一次電子線を放出する電子源と、前記電子源から放出される電子線を集束し、試料に照射する電子線制御手段と、試料から発生した電子を検出する検出器と、前記検出器からの信号に基づいて試料像を作成する演算装置と、前記試料像を表示する表示手段と、前記表示された試料像を記録する手段と、を備えた電子顕微鏡において、
前記試料は前記電子線が透過可能なキャピラリ内部に配置され、
前記キャピラリ内部に気体又は液体を供給する供給装置と、
前記気体又は液体を回収する回収装置を有し、
前記気体又は液体を流しながら前記試料の試料像を取得し、
前記キャピラリの電子線照射部がカーボンコーティングされていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 一次電子線を放出する電子源と、前記電子源から放出される電子線を集束し、試料に照射する電子線制御手段と、試料から発生した電子を検出する検出器と、前記検出器からの信号に基づいて試料像を作成する演算装置と、前記試料像を表示する表示手段と、前記表示された試料像を記録する手段と、を備えた電子顕微鏡において、
前記試料は前記電子線が透過可能なキャピラリ内部に配置され、
前記キャピラリ内部に気体又は液体を供給する供給装置と、
前記気体又は液体を回収する回収装置を有し、
前記気体又は液体を流しながら前記試料の試料像を取得し、
前記キャピラリの電子線透過部分以外が金属又は導電性樹脂で被覆されていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 一次電子線を放出する電子源と、前記電子源から放出される電子線を集束し、試料に照射する電子線制御手段と、試料から発生した電子を検出する検出器と、前記検出器からの信号に基づいて試料像を作成する演算装置と、前記試料像を表示する表示手段と、前記表示された試料像を記録する手段と、を備えた電子顕微鏡において、
前記試料は前記電子線が透過可能なキャピラリ内部に配置され、
前記キャピラリは一体成型され、前記試料を試料室の真空から遮蔽し、
前記キャピラリ内部に気体又は液体を供給する供給装置と、
前記気体又は液体を回収する回収装置を有し、
前記気体又は液体を流しながら前記試料の試料像を取得し、
前記キャピラリ内部に、前記試料を固定可能な試料固定部が配置され、前記試料固定部をキャピラリ内部で移動及び/又は回転が可能な駆動機構を備えることを特徴とする電子顕微鏡。 - 一次電子線を放出する電子源と、前記電子源から放出される電子線を集束し、試料に照射する電子線制御手段と、試料から発生した電子を検出する検出器と、前記検出器からの信号に基づいて試料像を作成する演算装置と、前記試料像を表示する表示手段と、前記表示された試料像を記録する手段と、を備えた電子顕微鏡において、
前記試料は前記電子線が透過可能なキャピラリ内部に配置され、
前記キャピラリは一体成型され、前記試料を試料室の真空から遮蔽し、
前記キャピラリ内部に気体又は液体を供給する供給装置と、
前記気体又は液体を回収する回収装置を有し、
前記気体又は液体を流しながら前記試料の試料像を取得し、
前記キャピラリの電子線照射部が細くなっていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 一次電子線を放出する電子源と、前記電子源から放出される電子線を集束し、試料に照射する電子線制御手段と、試料から発生した電子を検出する検出器と、前記検出器からの信号に基づいて試料像を作成する演算装置と、前記試料像を表示する表示手段と、前記表示された試料像を記録する手段と、を備えた電子顕微鏡において、
前記試料は前記電子線が透過可能なキャピラリ内部に配置され、
前記キャピラリ内部に気体又は液体を供給する供給装置と、
前記気体又は液体を回収する回収装置を有し、
前記気体又は液体を流しながら前記試料の試料像を取得し、
前記回収装置が、前記気体又は液体の質量分析が可能であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 電子顕微鏡に搭載され観察対象の試料を保持する試料保持装置であって、
当該試料保持装置は電子線が透過可能なキャピラリを備え、
前記試料は前記電子線が透過可能なキャピラリ内部に配置され、
前記キャピラリ内部に気体又は液体が供給され、
前記キャピラリの電子線照射部がカーボンコーティングされていることを特徴とする試料保持装置。 - 電子顕微鏡に搭載され観察対象の試料を保持する試料保持装置であって、
当該試料保持装置は電子線が透過可能なキャピラリを備え、
前記試料は前記電子線が透過可能なキャピラリ内部に配置され、
前記キャピラリ内部に気体又は液体が供給され、
前記キャピラリの電子線透過部分以外が金属又は導電性樹脂で被覆されていることを特徴とする試料保持装置。 - 電子顕微鏡に搭載され観察対象の試料を保持する試料保持装置であって、
当該試料保持装置は電子線が透過可能なキャピラリを備え、
前記試料は前記電子線が透過可能なキャピラリ内部に配置され、
前記キャピラリは一体成型され、前記試料を試料室の真空から遮蔽し、
前記キャピラリ内部に気体又は液体が供給され、
前記キャピラリ内部に、前記試料を固定可能な試料固定部が配置され、前記試料固定部をキャピラリ内部で移動及び/又は回転が可能な駆動機構を備えることを特徴とする試料保持装置。 - 試料がその内部に配置されるキャピラリと、
前記キャピラリを保持する保持部と、を有し、
前記キャピラリは電子線が透過可能であり、
前記キャピラリは前記試料を電子顕微鏡の試料室の真空から遮蔽し、
前記キャピラリには気体、及び液体の少なくとも1つが供給されることを特徴とする試料保持装置。 - 請求項27に記載の試料保持装置において、
前記キャピラリは前記保持部に対して取り外し可能であることを特徴とする試料保持装置。 - 請求項28に記載の試料保持装置において、
前記キャピラリの壁の一部は前記電子線を透過させ、
前記壁はカーボンでコーティングされていることを特徴とする試料保持装置。 - 請求項29に記載の試料保持装置において、
前記一部以外の部分は金属又は導電性樹脂で被覆されていることを特徴とする試料保持装置。 - 請求項30に記載の試料保持装置において、
前記キャピラリは前記保持部の内部にあり、
前記キャピラリはU字状の部分を有することを特徴とする試料保持装置。 - 請求項27に記載の試料保持装置において、
前記キャピラリの壁の一部は前記前記線を透過させ、
前記壁はカーボンでコーティングされていることを特徴とする試料保持装置。 - 請求項27に記載の試料保持装置において、
前記一部以外の部分は金属又は導電性樹脂で被覆されていることを特徴とする試料保持装置。 - 請求項27に記載の試料保持装置において、
前記キャピラリは前記保持部の内部にあり、
前記キャピラリはU字状の部分を有することを特徴とする試料保持装置。
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