JP5226378B2 - 透過型電子顕微鏡、及び試料観察方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の各実施形態で用いられる試料保持部材(複数の開口を有するマイクログリッド)の構成を示す図である。図1ではマイクログリッドが示されているが、メッシュ等の複数の開口を有する部材でも良い。つまり、試料が投入されたイオン液体を試料保持部材に滴下したときに、液体の表面張力によって、開口部分に液体が保持されるような試料保持部材であれば良い。
図4は、本発明の第2の実施形態による透過型電子顕微鏡であって、電極付き試料ホルダーを備えた透過型電子顕微鏡の概略構成を示す図である。第1の実施形態と異なり、本実施形態では、試料ホルダー5に連結した電圧印加用電源20を動作して、イオン液体に電圧が印加されて、試料9に電界が作用するようになっている。また、図4には、第1の実施形態のイオン液体導入機構は示されていないが、これを設けても良いことは勿論である。
図6は、本発明の第3の実施形態による透過型電子顕微鏡であって、蒸着による試料投入機構を備えた透過型電子顕微鏡の概略構成を示す図である。
図8は、本発明の第4の実施形態による透過型電子顕微鏡であって、イオン液体および反応液導入(注入)機構を備えた透過型電子顕微鏡の概略構成を示す図である。
本発明の実施形態によれば、透過型電子顕微鏡において、イオン液体を分散媒として用いて、試料を浮かせた状態に保持し、試料を変形させることなく観察することができる。
Claims (14)
- 試料室に設置された試料に対して電子線を照射し、前記試料を透過した電子線から試料像を生成する透過型電子顕微鏡であって、
前記試料を真空状態である前記試料室に導入するための試料ホルダーであって、その先端部である試料保持部材が前記電子線を透過させるための開口部を有し、前記試料が投入されたイオン液体を前記開口部で表面張力により保持する、試料ホルダーと、
真空下で前記イオン液体に浮かんだ状態の前記試料を透過した電子線に基づいて試料像を生成する画像生成部と、
を備えることを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - さらに、前記試料保持部材の開口部に、前記イオン液体を導入する液体導入機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。
- さらに、前記イオン液体の導入量を制御する液体導入量制御部を備えることを特徴とする請求項2に記載の透過型電子顕微鏡。
- さらに、前記試料保持部材の開口部に保持された前記イオン液体内の前記試料に電圧を印加する電圧印加手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。
- さらに、試料を加熱して蒸着させて前記イオン液体に投入する試料蒸着手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。
- さらに、前記試料保持部材の開口部に、液体状の試料、粉末試料が溶け込んだ溶液、及び溶液状の試薬試料の何れか1つと、前記イオン液体を独立して導入する液体導入機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。
- さらに、前記試料保持部材を回転させるための試料保持部材駆動機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。
- 試料室に設置された試料に対して電子線を照射し、前記試料を透過した電子線から生成された試料像を観察する試料観察方法であって、
前記試料を真空状態である前記試料室に導入するための試料ホルダーの先端部である試料保持部材の開口部に、前記試料が分散されたイオン液体を導入する工程と、
前記開口部に表面張力により保持されている前記イオン液体に電子線を照射する工程と、
真空下で前記イオン液体に浮かんだ状態の前記試料を透過した電子線に基づいて生成された試料像を観察する工程と、
を備えることを特徴とする試料観察方法。 - 前記イオン液体を導入する工程では、前記試料ホルダーが前記試料室にセットされた後、液体導入機構を用いて前記試料保持部材の開口部に前記イオン液体を導入することを特徴とする請求項8に記載の試料観察方法。
- 液体導入量制御部によって、前記イオン液体の導入量を制御することを特徴とする請求項9に記載の試料観察方法。
- さらに、前記試料保持部材の開口部に保持された前記イオン液体内の前記試料に電圧を印加する工程を備えることを特徴とする請求項8に記載の試料観察方法。
- 前記イオン液体を導入する工程では、前記イオン液体を前記試料保持部材に導入し、次いで、試料を加熱して蒸着させて前記イオン液体に投入することを特徴とする請求項8に記載の試料観察方法。
- 前記イオン液体を導入する工程では、前記試料ホルダーが前記試料室にセットされた後、液体導入機構を用いて、前記試料保持部材の開口部に、液体状の試料、粉末試料が溶け込んだ溶液、及び溶液状の試薬試料の何れか1つと、前記イオン液体とを独立して導入することを特徴とする請求項8に記載の試料観察方法。
- 前記電子線を照射する工程では、試料保持部材駆動機構を用いて、前記試料保持部材を回転させながら、前記電子線を前記試料に照射することを特徴とする請求項8に記載の試料観察方法。
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