JP4408363B2 - 電子顕微鏡用試料ホルダおよび電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
(MWNT)から電界電子放出させ、電界放出電流量をモニタリングしながら、MWNTの構造変化を経時的に連続記録したデータ例である。これより、MWNT先端および周囲を被覆していたアモルファスカーボンが電界電子放出とともに剥離してゆき、MWNTが露出してゆく様子がわかった。また、このようにMWNTが露出するとともに、電界放出電流量が増加することも同時にわかった。
Claims (7)
- 試料を固定する試料支持台と、前記試料に接触するまで可動な対向電極と、前記試料と前記対向電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、を有する電子顕微鏡用試料ホルダであって、
前記対向電極の試料に対向する面は、カーボン又はカーボンを含有する塗料で構成されることを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。 - 試料を固定する試料支持台と、前記試料に接触するまで可動な対向電極と、前記試料と前記対向電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、を有する電子顕微鏡用試料ホルダであって、
前記対向電極は、試料に対向する面の一部に開口部を有する中空体であり、中空体の内壁の少なくとも一部は、カーボン又はカーボンを含有する塗料で構成されることを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。 - 試料を固定する試料支持台と、前記試料に接触するまで可動な対向電極と、前記試料と前記対向電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、を有する電子顕微鏡用試料ホルダであって、
前記対向電極は、円筒型であり、円筒の内壁の少なくとも一部は、カーボン又はカーボンを含有する塗料で構成され、
前記電子顕微鏡用試料ホルダは、前記対向電極に対し、前記試料と反対側に、前記対向電極を通過した電子を偏向する電界型レンズまたは磁界型レンズを設けたことを特徴とする電子顕微鏡用ホルダ。 - 請求項3の電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、
前記電子顕微鏡用ホルダは、前記対向電極を通過した電子を加速する加速電極を備えることを特徴とする電子顕微鏡用ホルダ。 - 請求項1乃至4のいずれか1つの電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、
前記試料を冷却する冷却機構を有することを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。 - 請求項1乃至5いずれか1つの電子顕微鏡用試料ホルダを装着したことを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項3または4の電子顕微鏡用試料ホルダを装着した電子顕微鏡において、
当該電子顕微鏡は、前記対向電極を通過した電子のエネルギー分布情報を取得するエネルギーアナライザを備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
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