JP2005534041A - 走査プローブ技術を用いた局部的に高分解能な表層の質量分光学的特性調査のための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 走査型顕微鏡、とりわけ走査型力顕微鏡用の装置において、
近接場を画定する測定プローブと、
イオン化装置を有する質量分析計と、抽出装置と、分析装置とに関連し、測定プローブが3つの空間的な方向すべてへサンプルに対し相対的に移動することを可能にする走査装置と、を備え、
測定プローブは中空の先端部を有しており、これにより、イオンが測定プローブの近接場のみで形成されるよう、測定プローブの近接場がイオン化装置によって用いられ得り、
測定プローブの形状は、分析装置の軸に対し軸方向に略対称な抽出装置の界分布を可能にする
ことを特徴とする装置。 - 測定プローブはカンチレバーからなる
ことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 走査装置によって、サンプルが3つの空間的な方向すべてに移動自在である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の装置。 - イオン化装置は、イオンが分析装置へと通過することを可能にする軸方向の穴を有したミラーとともに、レーザーを有し、
レーザーから放出された光束は軸外で焦点合わせされ、その後ミラーを用いて軸方向に向きを変えられる
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の装置。 - イオン化装置は、イオンが分析装置へと通過することを可能にする軸方向の穴をそれぞれ有したミラーおよび焦点合わせ装置とともに、レーザーを有し、
レーザーから放出された光束はミラーを用いて軸方向に向きを変えられ、その後焦点合わせ装置により焦点を合わせられる
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の装置。 - イオン化装置はレーザーを有し、
レーザーから放出された光束は測定プローブまで通過し、電界増幅により測定プローブの近接場においてイオン化を引き起こす
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の装置。 - 複合走査型プローブ顕微鏡、とりわけ走査型力顕微鏡を用いた測定サンプルの高分解能検査のための方法において、
まず、走査型プローブ顕微鏡を用い、測定サンプルの像、とりわけ測定サンプルの形状を記録し、
次に、少なくとも前記像に含まれた測定サンプルの一区域の小エリアについて、破壊的な化学的特性調査のために質量分析計を用いる
ことを特徴とする方法。 - 走査型プローブ顕微鏡によって映し出されたすべてのエリアが分析されるように対象となるエリアが連続して選択され、これにより、サンプルの化学的像がさらにもたらされる
ことを特徴とする請求項7に記載の方法。 - 測定サンプルのさらなる融除は、高分解能な深部の情報をもたらす
ことを特徴とする請求項7または8に記載の方法。 - 測定サンプルの均一な融除がもたらされるよう、イオン化のための2つの位置の間の距離は、イオン化工程によって融除されるエリアの分析によって選択される
ことを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項に記載の方法。 - 走査型プローブ顕微鏡検査からおよび質量分析計からの情報は、横方の高分解と比較され得る
ことを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一項に記載の方法。
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