JP2005108743A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 電子放出する試料を固定する試料支持台と、前記試料に接触するまで可動な対向電極と、前記試料と前記対向電極との間に電圧を印加する手段と、を有する電子顕微鏡用試料ホルダであって、前記対向電極の前記試料に対向する面に前記対向電極より二次電子発生率の低い材料が付されていることを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。
2. 電子放出する試料を固定する試料支持台と、前記試料に接触するまで可動な対向電極と、前記試料と前記対向電極との間に電圧を印加する手段と、を有する電子顕微鏡用試料ホルダであって、前記対向電極は前記試料に対向する略平面の一部に開口部を有した中空体形状を有し、前記中空体の内壁の少なくとも一部に前記対向電極より二次電子発生率の低い材料が付されていることを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。
3. 請求項１または２に記載の電子顕微鏡用試料ホルダであって、前記二次電子発生率の低い材料はカーボンであることを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。
4. 請求項２または３に記載の電子顕微鏡用試料ホルダであって、前記対向電極に電子を集束または偏向させる電界型レンズまたは磁界型レンズを設けたことを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。
5. 請求項２ないし４のいずれかに記載の電子顕微鏡用試料ホルダであって、前記対向電極に電子を加速させる電極を設けたことを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。
6. 請求項１ないし5のいずれかに記載の電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、前記試料を冷却する冷却機構を有することを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載の電子顕微鏡ホルダを装着したことを特徴とする電子顕微鏡。
8. 請求項２ないし６のいずれかに記載の電子顕微鏡ホルダを装着したことを特徴とする電子顕微鏡であって、前記対向電極は円筒型であり、前記試料から放出された電子を前記対向電極の中空を通過させ外部観察する手段を有することを特徴とする電子顕微鏡。
9. 電子放出する試料に対向する位置に設けられた対向電極と、前記試料と前記対向電極間とに電圧印加する手段を有する電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、前記試料の電位を負とする手段と、前記対向電極を接地する手段とを備えた電子顕微鏡用試料ホルダ。