JP2016172927A5 - - Google Patents
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Description
ガスをシリンダ231内の空間領域231C,231Dに出し入れし、空間領域231Dの圧力が空間領域231Cの圧力よりも低くなると、弁232は、z軸の正の方向へ移動し、歯車30A、アーク式蒸発源30および陰極部材40をz軸の正の方向(基板20に近づく方向)へ移動させる。
また、ガスをシリンダ231内の空間領域231C,231Dに出し入れし、空間領域231Cの圧力が空間領域231Dの圧力よりも低くなると、弁232は、z軸の負の方向へ移動し、歯車30A、アーク式蒸発源30および陰極部材40をz軸の負の方向(基板20から遠ざかる方向)へ移動させる。
このように、気動機構23は、空間領域231C,231Dの圧力を調整することによって、歯車30A、アーク式蒸発源30および陰極部材40をz軸に沿って移動させる。
ここで、アーク電流密度が1.413A/mm2であり、軸方向磁場が0Gaussである点と、アーク電流密度が1.413A/mm2であり、軸方向磁場が85Gaussである点とを結んだ直線k1と、アーク電流密度が1.413A/mm2であり、軸方向磁場が85Gaussである点と、アーク電流密度が5.662A/mm2であり、軸方向磁場が170Gaussである点とを結んだ直線k2とを想定する。直線k2は、y=20.008x+56.723によって表わされる。そうすると、直線k1および直線k2よりも右側領域は、消弧しない割合が0よりも大きい。
Claims (8)
- 真空容器と、
前記真空容器に固定されたアーク式蒸発源と、
前記アーク式蒸発源に取り付けられた陰極部材と、
前記陰極部材に向かって配置された基板を保持する保持部材と、
放電を開始させる放電開始手段と、
前記アーク式蒸発源に負の電圧を印加する電源と、
前記陰極部材を囲む位置、前記基板と前記陰極部材との間、および前記陰極部材に対して前記基板と反対側の所望の位置のいずれかに配置され、プラズマを拡散またはスキャンする磁界を発生する磁界発生手段とを備え、
前記陰極部材は、ガラス状炭素からなり、柱状形状を有する少なくとも1つの柱状部分を含み、
前記放電開始手段は、プラズマが前記陰極部材の前記少なくとも1つの柱状部分から放出されるように放電を開始させ、
前記少なくとも1つの柱状部材は、ビーム状のプラズマを放出する、プラズマ装置。 - 前記磁界発生手段は、アークスポットが前記少なくとも1つの柱状部分の側面をスパイラル状に移動するように磁界を発生させる、請求項1に記載のプラズマ装置。
- 前記磁界発生手段を前記陰極部材の中心軸の周りに回転させる回転機構を更に備える、請求項1または2に記載のプラズマ装置。
- 前記陰極部材を前記磁界発生手段に対して相対的に移動させる移動手段を更に備える、請求項1または2に記載のプラズマ装置。
- 前記磁界発生手段は、長さ方向が前記プラズマを拡散またはスキャンさせる方向になるように略平行に配置された2つの永久磁石からなる、請求項1、2および4のいずれかに記載のプラズマ装置。
- 前記磁界発生手段は、長さ方向が前記陰極部材から前記基板へ向かう方向になるように略平行に配置され、かつ、前記少なくとも1つの柱状部分の中心軸の周りに回転される2つの永久磁石からなる、請求項1、2および4のいずれかに記載のプラズマ装置。
- 前記磁界発生手段は、前記プラズマを拡散またはスキャンさせる方向に沿って往復運動する1つの永久磁石からなる、請求項1、2および4のいずれかに記載のプラズマ装置。
- 前記磁界発生手段は、前記プラズマを拡散またはスキャンさせる方向に沿って配置され、かつ、中心軸の回りに巻回されたコイルと、
前記コイルに流す電流の大きさを周期的に変化させる電源とを含む、請求項1、2及び4のいずれかに記載のプラズマ装置。
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