JP2013218881A5 - - Google Patents
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Description
前記課題を解決するために、本発明によるプラズマ発生装置は、チャンバと、前記チャンバの内部に臨むように配設され、電子を放出するカソードおよび前記カソードが放出した電子を案内する磁束を形成する収束コイルを備えるプラズマガンと、磁束を前記チャンバ内に形成する補助磁石とを有し、前記収束コイルに磁束の向きが変動する励磁電流を印加し、前記プラズマガンは、前記カソードと前記収束コイルとの間に、第１電極および第２電極を備える圧力勾配型プラズマガンであり、前記第２電極は、内部に電極内コイルが配設されており、前記電極内コイルに前記励磁電流と同期して変動する極内電流を印加するものとする。
Claims (4)
- チャンバと、
前記チャンバの内部に臨むように配設され、電子を放出するカソードおよび前記カソードが放出した電子を案内する磁束を形成する収束コイルを備えるプラズマガンと、
磁束を前記チャンバ内に形成する補助磁石とを有し、
前記収束コイルに磁束の向きが変動する励磁電流を印加し、
前記プラズマガンは、前記カソードと前記収束コイルとの間に、第１電極および第２電極を備える圧力勾配型プラズマガンであり、
前記第２電極は、内部に電極内コイルが配設されており、
前記電極内コイルに前記励磁電流と同期して変動する極内電流を印加することを特徴とするプラズマ発生装置。 - 前記励磁電流と前記極内電流とは、同位相の相似な周期的波形を有し、前記励磁コイルと前記電極内コイルとに同じ極性の磁束を形成させることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生装置。
- 前記補助磁石は、前記プラズマガンと反対側の前記チャンバの外側に、磁極の向きが前記プラズマガンの軸と交差するように配設されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のプラズマ発生装置。
- 請求項１から３のいずれかに記載のプラズマ発生装置を備えることを特徴とする蒸着装置。
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