JP4287936B2 - 真空成膜装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気的絶縁性物質からなる薄膜を基板上に形成する真空成膜装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、導電性物質あるいは絶縁性物質の薄膜を基板上に形成する真空成膜装置は公知であり、図9は、その内のイオンプレーティング装置、図10はプラズマCVD装置を示している。
図9に示すイオンプレーティング装置は、圧力勾配型プラズマガン11(以下、プラズマガンという)により真空チャンバー12内にプラズマを発生させて真空チャンバー12内に配置した基板13上に蒸着により薄膜を形成するものである。
【0003】
さらに詳説すれば、プラズマガン11は、放電電源14のマイナス側に接続された環状の陰極15と、放電電源14のプラス側に抵抗を介して接続された環状の第1中間電極16、第2中間電極17を備え、陰極15側から放電ガスの供給を受け、前記放電ガスをプラズマ状態にして第2中間電極17から真空チャンバー12内に向けて流出させるように配置されている。真空チャンバー12は、図示しない真空ポンプに接続され、その内部は所定の減圧状態に保たれている。また、真空チャンバー12の第2中間電極17に向けて突出した短管部12Aの外側には、この短管部12Aを包囲するように収束コイル18が設けられている。真空チャンバー12内の下部には、放電電源14のプラス側に接続された導電性材料からなるハース19が載置されており、このハース19上の凹所に薄膜の材料となる導電性あるいは絶縁性の蒸着原料20が収められている。さらに、ハース19の内部にはハース用磁石21が設けられている。
【0004】
そして、第2中間電極17から蒸着原料20に向けてプラズマビーム22が形成され、蒸着原料20が蒸発させられ、基板13の下面に付着し、薄膜が形成される。なお、収束コイル18はプラズマビーム22の横断面を収縮させる作用を、またハース用磁石21はプラズマビーム22をハース19に導く作用をしている。
【0005】
一方、図10に示すプラズマCVD装置は、上述した装置のハース19、蒸着原料20、ハース用磁石21に代えて、放電電源14のプラス側に接続されたアノード31、このアノード31の背後、即ちプラズマガン11とは反対の側に配設したアノード用磁石32および原料ガス供給管33を設けたもので、他は図面上、実質的に同一である。
そして、原料ガス供給管33から真空チャンバー12内に原料ガスと反応ガスを供給し、これらをプラズマにより分離結合させることにより基板13に蒸着させて基板13上に薄膜を形成するようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
図9、図10に示す従来の装置により電気的絶縁性物質からなる薄膜を形成する場合、ハース(アノード部)19の表面、真空チャンバー12の内面等に絶縁性物質が付着し、特に、ハース19の表面が電気的に絶縁された状態となり、真空チャンバー12内で通電不能となる結果、電極各部がチャージアップする現象が時間経過とともに進行する。このため、プラズマビーム22に対する連続的な安定制御ができなくなり、成膜の安定性が損なわれるという問題が生じる。なお、このような現象が生じた場合、通電不能となった部分に入射しようとした電子は反射され、イオンとの結合により電気的に中和されるか、最終的に電気的帰還が可能な場所に到達するまで電子の反射は繰り返されることとなる。
【0007】
また、真空チャンバー12内には、プラズマビーム22を制御するための磁場が存在しており、前述した反射された電子、即ち反射電子の動きはこの磁場により制約を受ける。したがって、プラズマガン11を使用して絶縁性物質からなる薄膜を連続的、かつ安定して形成するためには、磁場分布状態が最適で、絶縁性の膜が付着しにくい位置に適正な反射電子帰還電極を設ける必要がある。
ところで、前記反射電子の大部分は、強制的に反射帰還経路を変更させない限り、照射ビームを制御している磁場の影響を受けて、この磁場に沿って照射ビームの経路を逆流しようとする。換言すれば、照射ビームと反射電子ビームとは、ほぼ同じ経路を往復する状態になるが、照射ビーム中の電子に比して、反射電子の方が反射、散乱により収束度は悪く、加速電圧も小さくなる。
【0008】
このため、反射電子帰還電極に入射する電子ビームは、プラズマガン11からの照射ビームであるプラズマビーム22とは分離される必要がある。この分離がなされなければ、反射電子帰還電極に直接流れ込む照射ビームが発生し、蒸着原料側,或いはアノード側に至る照射ビーム量が減少して、薄膜形成効率が低下するだけでなく、陰極15と反射電子帰還電極との間に直接放電が生じることにより、放電自体が異常なものとなる。また反射電子帰還電極は、絶縁性物質の付着防止の観点からすれば、真空チャンバー12内の薄膜材料を発生させる部分(図9:蒸着原料20の位置、図10:原料ガス供給管からのガス流出口)からできるだけ離れた位置に設けるのが好ましく、小型化という観点からすれば、できるだけ収束コイル18に近い位置に設けるのが好ましい。
本発明は、斯る従来の問題点をなくすことを課題として、また前述した考察に基づいてなされたもので、プラズマ放電の連続安定維持時間を長くすること、成膜速度の向上を可能とした真空成膜装置を提供しようとするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第1発明は、
放電電源のマイナス側に接続された陰極と、放電電源のプラス側に接続された中間電極を備え、真空チャンバー内に向けてプラズマビームを生成する圧力勾配型プラズマガンと、
蒸着原料を収容するハースと、
このプラズマガンの出口部に向けて突出させた前記真空チャンバーの短管部を包囲し、前記プラズマビームの横断面を収縮させる収束コイルとを備え、
前記プラズマビームを前記真空チャンバー内の下部に配置した前記ハースの蒸着原料の表面に導き、前記真空チャンバー内の上部の基板上に電気的絶縁性物質からなる薄膜を形成する真空成膜装置において、
前記短管部内に、このプラズマビームの周囲を取囲み、電気的に浮遊状態として突出させた絶縁管と、
前記短管部内にて前記絶縁管の外周側を取巻くとともに、前記出口部よりも高い電位状態とした第1電子帰還電極と、
前記蒸着原料の真上よりも前記プラズマガンから遠のく側の空間部で、前記蒸着原料と前記基板との間のこの蒸着原料よりも基板に近い位置に前記第1電子帰還電極と同電位の第2電子帰還電極と
を設けた構成とした。
【0010】
また、第2発明は、第1発明の構成に加えて、前記第2電子帰還電極を少なくとも横方向に移動させる駆動部と、前記プラズマビームを発生させるために流した電流を検出するための実放電電流検出器と、第1電子帰還電極および第2電子帰還電極の各々を流れる電流を検出する第1電流検出器および第2電流検出器と、前記各検出器から電流信号を受け、前記第1電子帰還電極および前記第2電子帰還電極の各々に流れる電流の和が最大となる位置に第2電子帰還電極を移動させるように前記駆動部を作動させる制御部とを設けた構成とした。
【0011】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図1は本発明の第1実施形態に係るイオンプレーティング方式を採用した真空成膜装置を示し、図9に示す装置と実質的に同一の部分については、同一番号を付して説明を省略する。
この真空成膜装置では、プラズマガン11の出口部にプラズマビーム22の周囲を取囲み、電気的に浮遊状態として突設した絶縁管1と、真空チャンバー12の前記短管部12A内にて絶縁管1の外周側を取巻くとともに、放電電源14のプラス側に接続され、プラズマガン11の出口部よりも高い電位状態とした第1電子帰還電極2Aとが設けられている。さらに、蒸着原料20の真上よりもプラズマガン11から遠のく側の空間部で、蒸着原料20と基板13との間のこの蒸着原料20よりも基板13に近い位置に第1電子帰還電極2Aと同電位の第2電子帰還電極2Bが設けられている。また、ハース19内の蒸着原料20は、絶縁性物質である。なお、前記絶縁管1として、例えば、セラミック製短管が採用される。
【0012】
このように、この真空成膜装置では、第1電子帰還電極2Aおよび第2電子帰還電極2Bを蒸着原料20から離れた位置に設けて、絶縁性の蒸着原料20から蒸発した絶縁性物質が第1電子帰還電極2Aおよび第2電子帰還電極2Bに付着し難くなっている。そして、プラズマガン11から出たプラズマビーム22と第1電子帰還電極2Aとの間に両者を遮る絶縁管1を設けることにより、このプラズマビーム22が第1電子帰還電極2Aに入射して、陰極15と第1電子帰還電極2Aとの間で異常放電が発生するのを防止するようになっている。このため、プラズマビーム22の外側の、プラズマビーム22とは分離した経路に沿って第1電子帰還電極2Aに至る反射電子流3が形成され、プラズマビーム22が連続的かつ安定して持続され、この持続時間は絶縁管1、第1電子帰還電極2Aを設けない場合に比して倍以上となり、飛躍的に向上することが確認されている。
【0013】
ところで、第2電子帰還電極2Bを除外して考えた場合、プラズマビーム22により蒸着原料20に流れる実放電電流に対する反射電子流3となって第1電子帰還電極2Aに流れる電流の比率が100%になるのが理想的な状態である。しかし、第1電子帰還電極2Aだけでは、この比率は必ずしも十分な値とはならず、100%に達するのに不足している分が基板13上での成膜速度を向上させるうえで障害となる。そこで、この比率を100%にできる限り近付けるべく第1電子帰還電極2Aのみの場合における帰還電子の挙動について詳しく調べた。この結果、ハース19側で反射した電子の一部は第1電子帰還電極2Aに戻る途中でプラズマビーム22および蒸発した粒子と衝突し、第1電子帰還電極2Aに戻らないで収束コイル18が形成する磁場に沿って真空チャンバー12内に拡散してしまうことが判明した。さらに、この拡散した電子は蒸着原料20の真上よりもプラズマガン11から遠のく側の空間部で、蒸着原料20と基板13との間のこの蒸着原料20よりも基板13に近い位置に飛散することも見出された。斯かる結果を踏まえて、前述した真空成膜装置では、第1電子帰還電極2Aに加えて第2電子帰還電極2Bを設けてあり、これにより実放電電流に対する第1電子帰還電極2Aおよび第2電子帰還電極2Bの双方に帰還する電流の比率は90%を超えて100%に近い値となり、成膜速度も向上した。
【0014】
また、絶縁管1を設けて、異常放電の発生を防止して、プラズマビーム22の第1電子帰還電極2Aへの流れ込みによる電力ロスを減少させるようした結果、プラズマガン11から照射するプラズマビーム22が同じ場合において、約20%の成膜速度(原料蒸発量)の向上も確認された。
さらに、第1電子帰還電極2Aを収束コイル18に近い位置に設けてあり、小型化し易いようになっている。
【0015】
図2は本発明の第2実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極2Bを示したもので、この第2電子帰還電極2Bを除き、この真空成膜装置における他の構造については図1に示す装置と実質的に同一である。
この実施形態では、第2電子帰還電極2Bのプラズマビーム22側の面を凹凸形状に形成することによりハース19にて反射した電子が帰還する面の表面積を増大させてある。
そして、斯かる構成により、蒸着原料20に照射されたプラズマビーム22からの帰還電流の前記比率が向上するようになっている。
【0016】
図3は本発明の第3実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極2Bおよびその近傍の部分を示したもので、この部分を除き、この真空成膜装置における他の構造については図1に示す装置と実質的に同一である。
この実施形態では、第2電子帰還電極2Bのプラズマビーム22側に、この第2電子帰還電極2Bとは離して、多数の貫通孔4Aを有するバッフルプレート4を並設してある。
そして、斯かる構成により、絶縁性の蒸着原料20から蒸発して第2電子帰還電極2Bに達する絶縁性物質の量を減少させ、この第2電子帰還電極2Bの表面への絶縁膜の形成を妨げることにより前記比率を向上させるようになっている。
【0017】
図4,5は本発明の第4実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極2Bおよびその近傍の部分を示したもので、この部分を除き、この真空成膜装置における他の構造については図1に示す装置と実質的に同一である。
この実施形態では、第2電子帰還電極2Bのプラズマビーム22側の面に沿って摺動するワイパー5を設けて前記面への付着物を強制的に掻き取るようにしてある。
そして、斯かる構成により、第2電子帰還電極2Bの表面への絶縁膜の形成を妨げることにより前記比率を向上させるようになっている。
【0018】
図6は本発明の第5実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極2Bを示したもので、この部分を除き、この真空成膜装置における他の構造については図1に示す装置と実質的に同一である。
この実施形態では、第2電子帰還電極2Bを円柱体とし、横方向に延びた回転軸6を中心としてこれと一体回転可能に形成し、第2電子帰還電極2Bの表面全体を有効に利用するようにしてある。
そして、斯かる構成により、蒸着原料20に照射されたプラズマビーム22からの帰還電流の前記比率が向上するようになっている。
なお、この円柱形状をした第2電子帰還電極2Bのプラズマビーム22および基板13のいずれからも遠のいた側の表面に回転軸6と平行に延びる図示しない固定ワイパーを相対的に摺動可能に接触させ、前記表面への付着物をなくすことにより、前記比率をより一層向上させることができる。
【0019】
図7は本発明の第6実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極2Bを示したもので、この部分を除き、この真空成膜装置における他の構造については図1に示す装置と実質的に同一である。
この実施形態では、第2電子帰還電極2Bはそのプラズマビーム22に面する側とは反対側の面に取付けた雌ねじ部Fと、雌ねじ部Fに直交する2方向に形成した各雌ねじに螺合して横方向および縦方向に延び、モータ7a,7bにより正逆転させられる二つの雄ねじ部Mとからなる、ボールねじ部8により横方向および縦方向に移動可能に支持されている。
そして、斯かる構成により、プラズマビーム22を制御する磁場の状態を変化させた場合、或いはプロセス条件を変更した場合でも、それに合った位置に第2電子帰還電極2Bを移動させ、適正に対応させることにより前記比率の向上させ得るようになっている。
【0020】
図8は本発明の第7実施形態に係る真空成膜装置を示し、図1に示す真空成膜装置と共通する部分については同一番号を付して説明を省略する。
この実施形態では、第2電子帰還電極2Bは前述したボールねじ部8により横方向および縦方向に移動可能に支持されている。
また、第1電子帰還電極2Aに戻ってきた電子による第1電子帰還電流を検出する第1電流検出器D1と第2電子帰還電極2Bに達した電子による第2電子帰還電流を検出する第2電流検出器D2とが設けてある。なお、真空チャンバー12はアースされている。さらに、第1電流検出器D1および第2電流検出器D2から電流信号を受け、第1電子帰還電極2Aおよび第2電子帰還電極2Bの各々に流れる電流の和が最大となり、かつアース側に流れる電流が零になる位置に第2電子帰還電極2Bを移動させるようにモータ7a,7bを作動させる制御部9が設けてある。
【0021】
そして、制御部9により予め定められたプロセス条件にてプラズマビーム22を発生させた状態下で第2電子帰還電極2Bを移動させ、その位置と第1電子帰還電極2Aおよび第2電子帰還電極2Bの各々に流れる電流の和との関係を示すデータを記憶し、この記憶したデータに基づき両電極に流れる電流の和が最大になる位置を求め、その位置に第2電子帰還電極2Bを移動させるようにモータ7a,7bの制御が行われる。
なお、データを記憶せずに、絶えず前記両電極に流れる電流の和が最大になる位置を演算し或いはファジー推論等を用いて求め、第2電子帰還電極2Bをその位置に移動させるようにモータ7a,7bを制御してもよい。
斯かる構成により、この装置では電流検出器を設けることにより帰還電子による電流が最大になる位置が容易にかつ短時間で求められ、前記比率の向上の面で常に最適状態が保たれる。
【0022】
なお、蒸着原料20は電気絶縁性物質であるのが一般的であるが、反応ガスと化合して電気絶縁性物質に変化するものであれば、蒸着原料20は導電性物質であってもよい。ただし、この蒸着原料20は導電性物質である場合、これが電気絶縁性物質に変化するまではハース19と放電電源14とを電気的に遮断しておく必要がある。これに対して、もともと蒸着原料20が電気絶縁性の物質である場合には、必ずしもハース19と放電電源14とを電気的に遮断しておく必要はない。
また、基板13は、成膜処理の間、静止していても、回転していても、或いは水平移動していてもよく、また真空チャンバー12内で平板であればよく、ロールに巻取られたフィルム状のもので、一方で巻戻し、他方で巻取られるようにしたものでもよい。
【0023】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、第1発明によれば、放電電源のマイナス側に接続された陰極と、放電電源のプラス側に接続された中間電極を備え、真空チャンバー内に向けてプラズマビームを生成する圧力勾配型プラズマガンと、蒸着原料を収容するハースと、このプラズマガンの出口部に向けて突出させた前記真空チャンバーの短管部を包囲し、前記プラズマビームの横断面を収縮させる収束コイルとを備え、前記プラズマビームを前記真空チャンバー内の下部に配置した前記ハースの蒸着原料の表面に導き、前記真空チャンバー内の上部の基板上に電気的絶縁性物質からなる薄膜を形成する真空成膜装置において、前記短管部内に、このプラズマビームの周囲を取囲み、電気的に浮遊状態として突出させた絶縁管と、前記短管部内にて前記絶縁管の外周側を取巻くとともに、前記出口部よりも高い電位状態とした第1電子帰還電極と、前記蒸着原料の真上よりも前記プラズマガンから遠のく側の空間部で、前記蒸着原料と前記基板との間のこの蒸着原料よりも基板に近い位置に前記第1電子帰還電極と同電位の第2電子帰還電極とを設けた構成としてある。
【0024】
このように、第1、第2電子帰還電極を蒸着原料から離した位置に設けているため、絶縁性物質が第1、第2電子帰還電極に付着しにくく、陰極と第1,第2電子帰還電極との間で異常放電が発生するのを防止するようになる。そして、プラズマビームの外側の、プラズマビームとは分離した経路に沿って第1電子帰還電極に至る反射電子流が形成され、プラズマビームが連続的かつ安定して持続され、この持続時間を絶縁管と第1電子帰還電極を設けない場合に比して倍以上となり、飛躍的に向上させることが可能となる。さらに、この反射電子流から外れて飛散した電子を第2電子帰還電極により捕捉するようにしてあるため、蒸着原料への実放電電流に対する第1電子帰還電極および第2電子帰還電極の双方に帰還する電流の比率を100%に近い値とし、成膜速度の向上が可能となっている。また、絶縁管を設けて、異常放電の発生を防止して、プラズマビームの第1電子帰還電極への流れ込みによる電力ロスを減少させるようした結果、プラズマガンから照射するプラズマビームが同じとして、成膜速度の向上も可能となる。さらに、第1電子帰還電極を収束コイルに近い位置に設けてあり、小型化し易い等種々の効果を奏する。
【0025】
また、第2発明によれば、第1発明の構成に加えて、前記第2電子帰還電極を少なくとも横方向に移動させる駆動部と、前記プラズマビームを発生させるために流した電流を検出するための実放電電流検出器と、第1電子帰還電極および第2電子帰還電極の各々を流れる電流を検出する第1電流検出器および第2電流検出器と、前記各検出器から電流信号を受け、前記第1電子帰還電極および前記第2電子帰還電極の各々に流れる電流の和が最大となる位置に第2電子帰還電極を移動させるように前記駆動部を作動させる制御部とを設けた構成としてある。
このように、電流検出器を設けることにより帰還電子による電流が最大になる位置が容易にかつ短時間で求められ、前記比率の向上の面で常に最適状態が保たれるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態に係る真空成膜装置を示す図である。
【図2】 本発明の第2実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極の側面図である。
【図3】 本発明の第3実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極およびバッフルプレートを示す断面図である。
【図4】 本発明の第4実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極およびワイパーを示す側面図である。
【図5】 本発明の第4実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極およびワイパーを示す正面図である。
【図6】 本発明の第5実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極の側面図である。
【図7】 本発明の第6実施形態に係る真空成膜装置の第2電子帰還電極およびその支持部を示す図である。
【図8】 本発明の第7実施形態に係る真空成膜装置を示す図である。
【図9】 従来のイオンプレーティング方式を採用した真空成膜装置を示す図である。
【図10】 従来のプラズマCVD方式を採用した真空成膜装置を示す図である。
【符号の説明】
1 絶縁管 2A 第1電子帰還電極
2B 第2電子帰還電極 3 反射電子流
4 バッフルプレート 4A 貫通孔
5 ワイパー 6 回転軸
7a,7b モータ 8 ボールねじ部
9 制御部 11 プラズマガン
12 真空チャンバー 12A 短管部
13 基板 14 放電電源
15 陰極 16 第1中間電極
17 第2中間電極 18 収束コイル
19 ハース 20 蒸着原料
21 ハース用磁石 22 プラズマビーム
D0 実放電電流検出器 D1 第1電流検出器
D2 第2電流検出器
Claims (2)
- 放電電源のマイナス側に接続された陰極と、放電電源のプラス側に接続された中間電極を備え、真空チャンバー内に向けてプラズマビームを生成する圧力勾配型プラズマガンと、
蒸着原料を収容するハースと、
このプラズマガンの出口部に向けて突出させた前記真空チャンバーの短管部を包囲し、前記プラズマビームの横断面を収縮させる収束コイルとを備え、
前記プラズマビームを前記真空チャンバー内の下部に配置した前記ハースの蒸着原料の表面に導き、前記真空チャンバー内の上部の基板上に電気的絶縁性物質からなる薄膜を形成する真空成膜装置において、
前記短管部内に、このプラズマビームの周囲を取囲み、電気的に浮遊状態として突出させた絶縁管と、
前記短管部内にて前記絶縁管の外周側を取巻くとともに、前記出口部よりも高い電位状態とした第1電子帰還電極と、
前記蒸着原料の真上よりも前記プラズマガンから遠のく側の空間部で、前記蒸着原料と前記基板との間のこの蒸着原料よりも基板に近い位置に前記第1電子帰還電極と同電位の第2電子帰還電極と
を設けたことを特徴とする真空成膜装置。 - 前記第2電子帰還電極を少なくとも横方向に移動させる駆動部と、
前記プラズマビームを発生させるために流した電流を検出するための実放電電流検出器と、
第1電子帰還電極および第2電子帰還電極の各々を流れる電流を検出する第1電流検出器および第2電流検出器と、
前記各検出器から電流信号を受け、前記第1電子帰還電極および前記第2電子帰還電極の各々に流れる電流の和が最大となる位置に第2電子帰還電極を移動させるように前記駆動部を作動させる制御部と
を設けたことを特徴とする請求項1に記載の真空成膜装置。
Priority Applications (7)
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