JP2013218985A5 - - Google Patents
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前記課題を解決するために、本発明によるプラズマ発生装置は、電子を放射するカソードと放射された電子を案内する磁束を形成する収束コイルとをそれぞれ備えており、電離する放電ガスを噴射する、2つのプラズマガンを、対向して配置し、前記2つのプラズマガンは、前記カソードに対する前記収束コイルの極性が互いに反対向きであるものとする。
Claims (7)
- 電子を放射するカソードと放射された電子を案内する磁束を形成する収束コイルとをそれぞれ備えており、電離する放電ガスを噴射する、2つのプラズマガンを、対向して配置し、
前記2つのプラズマガンは、前記カソードに対する前記収束コイルの極性が互いに反対向きであることを特徴とするプラズマ発生装置。 - 前記プラズマガンは、前記カソードと前記収束コイルとの間に、第1電極および第2電極を備える圧力勾配型プラズマガンであり、
前記第2電極は、内部に、前記収束コイルが形成する磁束と同じ向きの磁束を形成する極内磁石が配設されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ発生装置。 - 前記2つのプラズマガンは、互いに絶縁された駆動回路によって駆動されることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ発生装置。
- 前記収束コイルは、位置および角度の少なくともいずれかを個別に調節可能であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のプラズマ発生装置。
- 前記プラズマガンは、前記カソードが放射した電子を回収する帰還電極を備え、前記帰還電極は、対向する前記プラズマガンの回路に接続されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のプラズマ発生装置。
- 請求項1から5のいずれかに記載のプラズマ発生装置を有することを特徴とする蒸着装置。
- 電子を放射するカソードと放射された電子を案内する磁束を形成する収束コイルとをそれぞれ備えており、電離する放電ガスを噴射する、2つのプラズマガンを、対向して配置し、
前記2つのプラズマガンの、前記カソードに対する前記収束コイルの極性を互いに反対向きにし、
前記2つのプラズマガンの放電電圧を等しくし、前記2つのプラズマガンの少なくともいずれかの前記放電ガスの噴射量を、前記2つのプラズマガンの放電電流が等しくなるように調整することを特徴とするプラズマ発生方法。
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