RU2012105581A - Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме - Google Patents

Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме Download PDF

Info

Publication number
RU2012105581A
RU2012105581A RU2012105581/02A RU2012105581A RU2012105581A RU 2012105581 A RU2012105581 A RU 2012105581A RU 2012105581/02 A RU2012105581/02 A RU 2012105581/02A RU 2012105581 A RU2012105581 A RU 2012105581A RU 2012105581 A RU2012105581 A RU 2012105581A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electron beam
vacuum
beam evaporation
covering
discharge
Prior art date
Application number
RU2012105581/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2496912C1 (ru
Inventor
Алексей Алексеевич Буянкин
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА")
Priority to RU2012105581/02A priority Critical patent/RU2496912C1/ru
Publication of RU2012105581A publication Critical patent/RU2012105581A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2496912C1 publication Critical patent/RU2496912C1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме, характеризующийся тем, что нагревают рабочий материал электронным пучком, формируют разряд в парах рабочего материала, поддерживают постоянной величину тока разряда путем корректировки тока электронного пучка при выбранном значении напряжения на аноде и контролируют требуемую толщину покрытия с помощью интегратора тока разряда.

Claims (1)

  1. Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме, характеризующийся тем, что нагревают рабочий материал электронным пучком, формируют разряд в парах рабочего материала, поддерживают постоянной величину тока разряда путем корректировки тока электронного пучка при выбранном значении напряжения на аноде и контролируют требуемую толщину покрытия с помощью интегратора тока разряда.
RU2012105581/02A 2012-02-17 2012-02-17 Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме RU2496912C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012105581/02A RU2496912C1 (ru) 2012-02-17 2012-02-17 Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012105581/02A RU2496912C1 (ru) 2012-02-17 2012-02-17 Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012105581A true RU2012105581A (ru) 2013-08-27
RU2496912C1 RU2496912C1 (ru) 2013-10-27

Family

ID=49163373

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012105581/02A RU2496912C1 (ru) 2012-02-17 2012-02-17 Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2496912C1 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2657896C1 (ru) * 2017-09-11 2018-06-18 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") Устройство для синтеза покрытий
RU2753846C1 (ru) * 2020-11-18 2021-08-24 Публичное Акционерное Общество "Одк-Сатурн" Способ определения толщины покрытия

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5618388A (en) * 1988-02-08 1997-04-08 Optical Coating Laboratory, Inc. Geometries and configurations for magnetron sputtering apparatus
RU2014364C1 (ru) * 1990-10-02 1994-06-15 Рыбинский Авиационный Технологический Институт Вакуумная установка для электронно-лучевого напыления покрытий
RU2221989C2 (ru) * 2001-12-24 2004-01-20 Российский Университет Дружбы Народов Способ измерения толщины металлической пленки
JP3992055B2 (ja) * 2005-05-11 2007-10-17 東洋紡績株式会社 蒸着フィルム
RU106249U1 (ru) * 2010-11-18 2011-07-10 Закрытое акционерное общество "Научное и технологическое оборудование" Устройство для нанесения металлических покрытий на подложки

Also Published As

Publication number Publication date
RU2496912C1 (ru) 2013-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB2563349A (en) Fabrication of correlated electron material devices method to control carbon
AR095602A1 (es) Sistema y método de recubrimiento de un sustrato
CL2013002656A1 (es) Sistema de recubrimiento que comprende una camara de vacio y un conjunto de revestimiento que incluye una fuente de deposicion catodica con magnetron, un soporte de sustrato, un conjunto de camara de catodo que incluye un objetivo del catodo, un anodo primario y un escudo, un anodo remoto y una fuente de alimentacion primaria.
EA201790554A1 (ru) Электрохимическая ячейка на основе галогенида цинка
MX363864B (es) Un emisor de electrones para un tubo de rayos x.
GB201304870D0 (en) X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target and rotary vacuum seal
EA201500839A1 (ru) Способ обработки стеклянного материала пучком однозарядных и многозарядных ионов газа для получения антиотражающего стеклянного материала
EP4055650A4 (en) THERMALLY DISPROPORTIONED ANODE ACTIVE MATERIAL INCLUDING TURBOSTRATIC CARBON COATING
RU2015137774A (ru) Устройство для ионной бомбардировки и способ его применения для очистки поверхности подложки
EP3973584A4 (en) ACTIVE ANODE MATERIAL WITH LOW-DEFECTS TURBOSTRATIC CARBON
EP3316277A4 (en) DEVICE FOR ION IMPLANTER, CATHODE, CHAMBER WALL, SLOT ELEMENT AND ION GENERATING DEVICE THEREWITH
GB2549891A (en) Dynamically adjustable focal spot
RU2012105581A (ru) Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме
EP2482303A3 (en) Deposition apparatus and methods
PL3504160T3 (pl) Materiał czynny katody do wysokonapięciowej baterii akumulatorowej
RU2012100143A (ru) Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом
RU2013123637A (ru) Способ образования каналов на катоде в несамостоятельном дуговом разряде
RU2010127142A (ru) Способ локального нагрева участка поверхности катода
RU2015120561A (ru) Источник ионов
RU2011151103A (ru) Способ управления током электронной пушки с плазменным катодом
RU2013146140A (ru) Способ генерации широкополосного электромагнитного излучения свч диапазона
EP2894655A3 (en) Plasma lighting system
UA96589U (uk) Електродуговий випарник металів та сплавів для нанесення покриттів у вакуумі
UA88430U (ru) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ нитридной ПЛЕНКИ
RU2013106983A (ru) Способ нанесения покрытий на проводящие материалы