RU2012105581A - Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме - Google Patents
Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012105581A RU2012105581A RU2012105581/02A RU2012105581A RU2012105581A RU 2012105581 A RU2012105581 A RU 2012105581A RU 2012105581/02 A RU2012105581/02 A RU 2012105581/02A RU 2012105581 A RU2012105581 A RU 2012105581A RU 2012105581 A RU2012105581 A RU 2012105581A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electron beam
- vacuum
- beam evaporation
- covering
- discharge
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме, характеризующийся тем, что нагревают рабочий материал электронным пучком, формируют разряд в парах рабочего материала, поддерживают постоянной величину тока разряда путем корректировки тока электронного пучка при выбранном значении напряжения на аноде и контролируют требуемую толщину покрытия с помощью интегратора тока разряда.
Claims (1)
- Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме, характеризующийся тем, что нагревают рабочий материал электронным пучком, формируют разряд в парах рабочего материала, поддерживают постоянной величину тока разряда путем корректировки тока электронного пучка при выбранном значении напряжения на аноде и контролируют требуемую толщину покрытия с помощью интегратора тока разряда.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2012105581/02A RU2496912C1 (ru) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2012105581/02A RU2496912C1 (ru) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2012105581A true RU2012105581A (ru) | 2013-08-27 |
RU2496912C1 RU2496912C1 (ru) | 2013-10-27 |
Family
ID=49163373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2012105581/02A RU2496912C1 (ru) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2496912C1 (ru) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2657896C1 (ru) * | 2017-09-11 | 2018-06-18 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Устройство для синтеза покрытий |
RU2753846C1 (ru) * | 2020-11-18 | 2021-08-24 | Публичное Акционерное Общество "Одк-Сатурн" | Способ определения толщины покрытия |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5618388A (en) * | 1988-02-08 | 1997-04-08 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Geometries and configurations for magnetron sputtering apparatus |
RU2014364C1 (ru) * | 1990-10-02 | 1994-06-15 | Рыбинский Авиационный Технологический Институт | Вакуумная установка для электронно-лучевого напыления покрытий |
RU2221989C2 (ru) * | 2001-12-24 | 2004-01-20 | Российский Университет Дружбы Народов | Способ измерения толщины металлической пленки |
JP3992055B2 (ja) * | 2005-05-11 | 2007-10-17 | 東洋紡績株式会社 | 蒸着フィルム |
RU106249U1 (ru) * | 2010-11-18 | 2011-07-10 | Закрытое акционерное общество "Научное и технологическое оборудование" | Устройство для нанесения металлических покрытий на подложки |
-
2012
- 2012-02-17 RU RU2012105581/02A patent/RU2496912C1/ru active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2496912C1 (ru) | 2013-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
GB2563349A (en) | Fabrication of correlated electron material devices method to control carbon | |
AR095602A1 (es) | Sistema y método de recubrimiento de un sustrato | |
CL2013002656A1 (es) | Sistema de recubrimiento que comprende una camara de vacio y un conjunto de revestimiento que incluye una fuente de deposicion catodica con magnetron, un soporte de sustrato, un conjunto de camara de catodo que incluye un objetivo del catodo, un anodo primario y un escudo, un anodo remoto y una fuente de alimentacion primaria. | |
EA201790554A1 (ru) | Электрохимическая ячейка на основе галогенида цинка | |
MX363864B (es) | Un emisor de electrones para un tubo de rayos x. | |
GB201304870D0 (en) | X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target and rotary vacuum seal | |
EA201500839A1 (ru) | Способ обработки стеклянного материала пучком однозарядных и многозарядных ионов газа для получения антиотражающего стеклянного материала | |
EP4055650A4 (en) | THERMALLY DISPROPORTIONED ANODE ACTIVE MATERIAL INCLUDING TURBOSTRATIC CARBON COATING | |
RU2015137774A (ru) | Устройство для ионной бомбардировки и способ его применения для очистки поверхности подложки | |
EP3973584A4 (en) | ACTIVE ANODE MATERIAL WITH LOW-DEFECTS TURBOSTRATIC CARBON | |
EP3316277A4 (en) | DEVICE FOR ION IMPLANTER, CATHODE, CHAMBER WALL, SLOT ELEMENT AND ION GENERATING DEVICE THEREWITH | |
GB2549891A (en) | Dynamically adjustable focal spot | |
RU2012105581A (ru) | Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме | |
EP2482303A3 (en) | Deposition apparatus and methods | |
PL3504160T3 (pl) | Materiał czynny katody do wysokonapięciowej baterii akumulatorowej | |
RU2012100143A (ru) | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом | |
RU2013123637A (ru) | Способ образования каналов на катоде в несамостоятельном дуговом разряде | |
RU2010127142A (ru) | Способ локального нагрева участка поверхности катода | |
RU2015120561A (ru) | Источник ионов | |
RU2011151103A (ru) | Способ управления током электронной пушки с плазменным катодом | |
RU2013146140A (ru) | Способ генерации широкополосного электромагнитного излучения свч диапазона | |
EP2894655A3 (en) | Plasma lighting system | |
UA96589U (uk) | Електродуговий випарник металів та сплавів для нанесення покриттів у вакуумі | |
UA88430U (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ нитридной ПЛЕНКИ | |
RU2013106983A (ru) | Способ нанесения покрытий на проводящие материалы |