RU2015120561A - Источник ионов - Google Patents
Источник ионов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015120561A RU2015120561A RU2015120561A RU2015120561A RU2015120561A RU 2015120561 A RU2015120561 A RU 2015120561A RU 2015120561 A RU2015120561 A RU 2015120561A RU 2015120561 A RU2015120561 A RU 2015120561A RU 2015120561 A RU2015120561 A RU 2015120561A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- discharge
- opening
- ion source
- working substance
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
- H01J27/14—Other arc discharge ion sources using an applied magnetic field
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Источник ионов, содержащий разрядную камеру, которая является анодом и имеет отверстие для входа разрядного газа и отверстие для выхода получаемых ионов, катод, магнит и ионизируемое рабочее вещество, отличающийся тем, что ионизируемое рабочее вещество выполнено в виде пластины и размещено в зоне разряда разрядной камеры источника ионов на электрически соединенной с катодом подложке из тугоплавкого материала на стороне, которая обращена к катоду.
Claims (1)
- Источник ионов, содержащий разрядную камеру, которая является анодом и имеет отверстие для входа разрядного газа и отверстие для выхода получаемых ионов, катод, магнит и ионизируемое рабочее вещество, отличающийся тем, что ионизируемое рабочее вещество выполнено в виде пластины и размещено в зоне разряда разрядной камеры источника ионов на электрически соединенной с катодом подложке из тугоплавкого материала на стороне, которая обращена к катоду.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015120561A RU2620442C2 (ru) | 2015-05-29 | 2015-05-29 | Источник ионов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015120561A RU2620442C2 (ru) | 2015-05-29 | 2015-05-29 | Источник ионов |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2015120561A true RU2015120561A (ru) | 2016-12-20 |
| RU2620442C2 RU2620442C2 (ru) | 2017-05-25 |
Family
ID=57759091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015120561A RU2620442C2 (ru) | 2015-05-29 | 2015-05-29 | Источник ионов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2620442C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU181882U1 (ru) * | 2018-02-19 | 2018-07-26 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" | Планарный ионный источник на основе твердых электролитов |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS539993A (en) * | 1976-07-15 | 1978-01-28 | Toshiba Corp | Ion producing device |
| SU1269688A1 (ru) * | 1984-03-30 | 1996-03-27 | Г.Я. Москалев | Источник ионов |
| FR2782884B1 (fr) * | 1998-08-25 | 2000-11-24 | Snecma | Propulseur a plasma a derive fermee d'electrons adapte a de fortes charges thermiques |
| PT2954758T (pt) * | 2013-02-06 | 2017-03-15 | Arcelormittal Investigación Y Desarrollo Sl | Fonte de plasma |
| RU155650U1 (ru) * | 2015-05-29 | 2015-10-20 | Открытое акционерное общество "ОКБ-Планета" ОАО "ОКБ-Планета" | Источник ионов |
-
2015
- 2015-05-29 RU RU2015120561A patent/RU2620442C2/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2620442C2 (ru) | 2017-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EA201791234A1 (ru) | Плазменный источник с полым катодом | |
| AR095602A1 (es) | Sistema y método de recubrimiento de un sustrato | |
| SE0501603L (sv) | Plasmaalstrande anordning, plasmakirurgisk anordning och användning av en plasmakirurgisk anordning | |
| MX368879B (es) | Dispositivo de bombardeo de iones y metodo para usar el mismo para limpiar una superficie de sustrato. | |
| MX2018003145A (es) | Sistema de propulsion de arco catodico pulsado, iniciado por conductor interno. | |
| RU2009119420A (ru) | Способ и приспособление для выработки положительно и/или отрицательно ионизированных анализируемых газов для анализа газов | |
| SG11201710396UA (en) | Repeller for ion implanter, cathode, chamber wall, slit member, and ion generating device comprising same | |
| JP2019507467A5 (ja) | 間接加熱陰極イオン源および間接加熱陰極イオン源と共に使用するための装置 | |
| GB2550739A (en) | ION guide and mass spectrometer using same | |
| GB201101132D0 (en) | Combination ion gate and modifier | |
| RU2015120561A (ru) | Источник ионов | |
| RU2007139572A (ru) | Газоразрядная камера для создания низкотемпературной неравновесной плазмы | |
| PH12018501300A1 (en) | Hollow cathode ion source and method of extracting and accelerating ions | |
| WO2018187222A3 (en) | Systems and methods for ionizing a surface | |
| EA201892197A1 (ru) | Стеклянная подложка со сниженным внутренним отражением и способ ее изготовления | |
| WO2020086173A3 (en) | Heat conductive spacer for plasma processing chamber | |
| WO2013002954A3 (en) | Windowless ionization device | |
| RU2012100143A (ru) | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом | |
| FR2926395B1 (fr) | Source pulsee d'electrons, procede d'alimentation electrique pour source pulsee d'electrons et procede de commande d'une source pulsee d'electrons | |
| NZ748570A (en) | Uv mercury low-pressure lamp with amalgam deposit | |
| RU2012105581A (ru) | Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме | |
| SA518391430B1 (ar) | خلية كهروكيميائية وعملية | |
| RU2013123637A (ru) | Способ образования каналов на катоде в несамостоятельном дуговом разряде | |
| TW201615061A (en) | Long-arc type discharge lamp | |
| RU2014110349A (ru) | Ионный двигатель |