Восточноукраинский Национальный Университет Имени Владимира Даля
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Восточноукраинский Национальный Университет Имени Владимира ДаляfiledCriticalВосточноукраинский Национальный Университет Имени Владимира Даля
Priority to UAU201313293UpriorityCriticalpatent/UA88430U/ru
Publication of UA88430UpublicationCriticalpatent/UA88430U/ru
Способ получения нитридной пленки заключается в распылении титановой мишени, формировании модифицированного покрытия в результате ионной имплантации в решетку поликристаллической подложки ионизированных атомов титановой мишени и реактивного газа азота, причем в качестве поликристаллической подложки применяют подложку конструкционной подшипниковой стали ШХ15, на которую перед имплантацией подают отрицательный потенциал, включают напряжение на анод и катод, где возникает дуговой разряд, одновременно подают напряжение на мишень путем интенсивной бомбардировки титановой мишени ионами азота и распыления ее материала, причем разогнанные ионы титана, выбитые из мишени, проникают в стальные подложки, защитное модифицированное покрытие получают при ре�
UAU201313293U2013-11-152013-11-15СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ нитридной ПЛЕНКИ
UA88430U
(ru)
Metodo de pulverizacion catódica por magnetron de impulso de alta potencia que proporciona la ionizacion mejorada de las particulas obtenidas por pulverización catódica y aparato para su implementacion.