JP4515852B2 - Ecrイオン源に用いられるプラズマ閉じ込め用のミラー磁場発生装置及び方法 - Google Patents
Ecrイオン源に用いられるプラズマ閉じ込め用のミラー磁場発生装置及び方法 Download PDFInfo
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六極永久磁石 内径 41mm、外径102mm、長さ120mm
ミラー磁場生成用
永久磁石(前後) 内径 41mm、外径182mm、長さ 60mm
ミラー磁場増幅用
永久磁石(前後) 内径116mm、外径182mm、長さ 55mm
鉄製ヨーク 内径182mm、外径222mm
アルミニウム製ヨーク 内径222mm、外径262mm
上記のような構成で、6つのミラー磁場増幅用永久磁石(扇形状)を、図7に示すように、イオン源中心軸から径方向に等距離に50mm移動させることができた。径方向に50mm移動させた場合の移動に伴うミラー磁場強度比のデータを図8に示す。
2 ミラー磁場生成部
3 ミラー磁場増幅部
4 前部環状永久磁石
5 後部環状永久磁石
6 前部ミラー磁場増幅部
7 後部ミラー磁場増幅部
8(8A、8B、8C) 扇形状永久磁石
9(9A、9B、9C) 扇形状永久磁石
10 六極永久磁石
11 ヨーク
12 ケーシング
13 架台
14 駆動部
15 ステッピングモーター
17 傘歯車
18 ボールネジ
Claims (6)
- ECRイオン源に用いられるプラズマ閉じ込め用のミラー磁場を発生させる装置であって、
イオン源中心軸方向に離間配置された一対の環状永久磁石からなり、ミラー磁場を生成するミラー磁場生成部と、
ミラー磁場生成部の一対の環状永久磁石間に設けられ、複数の扇形状永久磁石を環状に配置して構成され、ミラー磁場生成部が生成したミラー磁場を増幅するミラー磁場増幅部と、
ミラー磁場増幅部を構成する各扇形状永久磁石をイオン源中心軸に対して径方向に移動させる扇形状永久磁石移動手段を備え、
ミラー磁場増幅部が、前部ミラー磁場増幅部と後部ミラー磁場増幅部からなり、
ミラー磁場増幅部の扇形状永久磁石が環状構造を3つに分割したものからなり、前部ミラー磁場増幅部の各扇形状永久磁石が、後部ミラー増幅部の各扇形状永久磁石に対してそれぞれ周方向に60度ずらして配置され、
各扇形状永久状磁石の径方向の移動により、ミラー磁場強度を変化させることができることを特徴とするミラー磁場発生装置。 - ミラー磁場増幅部の各扇形状永久磁石が、扇形状磁石本体と、その周方向両側に設けられ、大きさが扇形状磁石本体の半分である扇形状非磁性部分とからなることを特徴とする請求項1記載のミラー磁場発生装置。
- 請求項1又は2に記載のミラー磁場発生装置と、
ミラー磁場増幅部の径方向内側に配置された環状の多極永久磁石を備えることを特徴とするECRイオン源。 - 多極永久磁石が六極永久磁石であることを特徴とする請求項3記載のECRイオン源。
- ECRイオン源に用いられるプラズマ閉じ込め用のミラー磁場を発生させる方法であって、
ミラー磁場を生成させるためにイオン源中心軸方向に離間配置された一対のミラー磁場生成用環状永久磁石の間に、生成したミラー磁場を増幅させるためのミラー磁場増幅用永久磁石を設け、
ミラー磁場増幅用永久磁石として、イオン源中心軸に対して径方向に移動可能な複数の扇形状永久磁石を環状に配置した構造を有し、その環状構造を3つに分割したものであり、前部と後部の2つに分割され、かつ前部の各扇形状永久磁石を、後部の扇形状永久磁石に対して周方向にそれぞれ60度ずらして配置させたものを用い、
各扇形状永久磁石をイオン源中心軸に対して径方向に移動させることにより、ミラー磁場強度を変化させることができることを特徴とするミラー磁場発生方法。 - ミラー磁場増幅部の各扇形状永久磁石として、扇形状磁石本体とその周方向両側に設けられ、大きさが扇形状磁石本体の半分である扇形状非磁性部分とからなるものを用いることを特徴とする請求項5記載のミラー磁場発生方法。
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