JP5119224B2 - 電子線装置及び電子線装置用試料ホルダー - Google Patents
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Description
Δl=Δl1+Δl2 …式4である。(4)このΔlの値からヒーター伸び算出手段35はヒーター張力調整機構駆動手段37に試料ホルダーのヒーターをΔlだけ引っ張るように動作させる。動作させる方法としては、例えば図8にあるような電極移動手段を用いてもよいし、単にヒーターを巻いた電極を回転させることで巻き量を増やすようにしてもよい。動力は例えば、モーターなどで得ればよい。(5)これにより、ヒーター11は、一定のテンションを与えられ、(6)振動の影響なく原子レベルでの観察が可能となる。なお、ヒーター張力調整機構駆動手段,ヒーター伸び算出手段は試料ホルダーに設けてもよいし、電子線装置に設けてもよい。
Claims (15)
- 電子線装置に装着可能な試料ホルダーであって、
試料を支持する螺旋状の部分を有するヒーターと、
前記ヒーターの両端が取り付けられ、加熱電源に接続される電極と、
前記電極を移動させることにより、前記ヒーターに与える張力を調整できる張力調整機構と、を備えることを特徴とする試料ホルダー。 - 請求項1記載の試料ホルダーであって、
前記張力調整機構が、前記電極を固定する電極移動手段と、前記電極移動手段に設けられた複数のネジ穴を固定する固定用ネジを有する固定板と、を備えることを特徴とする試料ホルダー。 - 電子線装置に装着可能な試料ホルダーであって、
試料を支持する螺旋状の部分を有するヒーターと、
前記ヒーターの両端が取り付けられ、加熱電源に接続される電極と、
前記電極を回転させることにより、前記ヒーターに与える張力を調整できる張力調整機構と、を備えることを特徴とする試料ホルダー。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の試料ホルダーであって、
前記試料にガスを供給するガス導入管を備えることを特徴とする試料ホルダー。 - 請求項4記載の試料ホルダーであって、
前記ヒーターが、ガスを流すガス導入管の内部に存在することを特徴とする試料ホルダー。 - 請求項4記載の試料ホルダーであって、
前記ガス導入管に多数の微細穴が設けられ、当該ガス導入管が、前記螺旋状の部分の中央を通過することを特徴とする試料ホルダー。 - 電子線を用いて試料の観察を行う電子線装置であって、
試料を支持する螺旋状の部分を有するヒーターと、前記ヒーターの両端が取り付けられ、加熱電源に接続される電極と、前記電極を移動させることにより、前記ヒーターに与える張力を調整できる張力調整機構と、を備える試料ホルダーが装着されていることを特徴とする電子線装置。 - 請求項7記載の電子線装置であって、
前記張力調整機構が、前記電極を固定する電極移動手段と、前記電極移動手段に設けられた複数のネジ穴を固定する固定用ネジを有する固定板と、を備えることを特徴とする電子線装置。 - 電子線を用いて試料の観察を行う電子線装置であって、
試料を支持する螺旋状の部分を有するヒーターと、前記ヒーターの両端が取り付けられ、加熱電源に接続される電極と、前記電極を回転させることにより、前記ヒーターに与える張力を調整できる張力調整機構と、を備える試料ホルダーが装着されていることを特徴とする電子線装置。 - 請求項7〜9のいずれかに記載の電子線装置であって、
前記ヒーターの伸びを算出する算出手段を備えることを特徴とする電子線装置。 - 請求項10記載の電子線装置であって、
前記張力調整機構を駆動する駆動手段を備え、前記ヒーターに一定のテンションを与えるように前記算出手段が当該駆動手段を制御することを特徴とする電子線装置。 - 請求項7〜11いずれかに記載の電子線装置であって、
前記試料にガスを供給するガス導入管を備えることを特徴とする電子線装置。 - 請求項12記載の電子線装置であって、
前記ヒーターが、ガスを流すガス導入管の内部に存在することを特徴とする電子線装置。 - 請求項12記載の電子線装置であって、
前記ガス導入管に多数の微細穴が設けられ、当該ガス導入管が、前記螺旋状の部分の中央を通過することを特徴とする電子線装置。 - 請求項12記載の電子線装置であって、
前記ガス導入管に前記試料を挟んで対向した位置に、真空ポンプに接続されている排気口を備えることを特徴とする電子線装置。
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