JP6307622B2 - 電子線装置および電子線装置用ガス供給装置 - Google Patents
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Description
前記ガス供給部は、小型のガス容器を収納するガス収容器納部と、当該ガス容器収納部に収納されたガス容器内のガスを、前記真空の試料室内に保持された試料を少なくとも含む領域に導入するガス導入ノズルと、を有し、前記ガス容器収納部は、前記鏡体の外であって、かつ前記試料が保持された位置の近傍に配置されることを特徴とする装置を提供する。
[図2]第2の実施の形態に係る電子顕微鏡の基本構成を示す図。
[図3]第3の実施の形態に係る電子顕微鏡用ガス供給装置の基本構成を示す図。
[図4]第4の実施の形態に係る電子顕微鏡用ガス供給装置の基本構成を示す図。
[図5]第5の実施の形態に係る電子顕微鏡の配置例を示す図。
[図6]第6の実施の形態に係る電子顕微鏡用のガス供給装置の前面の構成を示す図。
[図7]第6の実施の形態に係る電子顕微鏡用ガス供給装置の側面の構成を示す図。
[図8]第7の実施の形態に係る電子顕微鏡用の配置例を示す図。
[図9]第8の実施の形態に係るガス容器収納部を備えた試料ホルダの基本構成を示す図。
[図10]第9の実施の形態に係る全体制御部10の動作を説明するフローチャート。
≪装置構成≫
図1は、本実施の形態に係る電子顕微鏡の一態様であるTEMの基本構成を示す図である。
全体制御部10では、まず、試料13の反応開始前の観察視野を観察、記録する(ステップ1001)。次に、オペレータが入力部を介して入力した情報に基づいて、試料環境条件(反応条件)を設定する(ステップ1002)。例えば、真空中で試料13の加熱を行う場合には、設定した条件に基づいて、試料13を加熱するように、加熱電源制御部30bに指令を送る。また、加熱反応中の試料13を撮像し、記憶するように、画像処理部9に指令を送る。
2・・・電子銃
3・・・コンデンサーレンズ
4・・・対物レンズ
5・・・投射レンズ
6・・・試料ホルダ
6a・・・ふた
6b・・・バネ
7・・・蛍光板
8・・・カメラ
9・・・カメラ制御部
9a・・・画像表示部
9b・・・画像処理部
10・・・全体制御部
11・・・ガス供給装置
11a・・・ガス容器収納部
11b・・・ガス供給装置制御部
12・・・試料室
13・・・試料
14・・・ガスノズル
15・・・ガス導入バルブ
16(a、b、c)・・・小型ガス容器
17(a、b、c)・・・減圧弁
18・・・配管
19(a、b、c)・・・圧力コントロールバルブ
20(a、b、c)・・・流量計
21・・・ガス検知器
22・・・リーク孔
23・・・排気孔
24・・・真空排気ポンプ
25・・・ガス排出口
26・・・ダクト
27・・・試料ステージ
28・・・試料微動駆動部
28a・・・試料移動部
28b・・・試料傾斜部
29・・・真空計
30・・・加熱機構
30a・・・加熱電源
30b・・・加熱電源制御部
31・・・電子線
32・・・加熱ヒータ
33・・・配管接続部
34・・・開閉扉
34・・・透明板
35・・・開閉扉留め具
36・・・ガス容器固定部
37・・・ネジ固定部
37a・・・Oリング
38・・・吊るし構造
39・・・試料の近傍の空間
40・・・ガス容器排出口
Claims (3)
- 試料を保持する試料ホルダと、
当該試料が保持された試料ホルダを格納する真空の試料室と、
当該保持された試料に電子線を照射する電子源と、
当該電子線の照射によって前記試料から得られる信号を検出する検出器と、を有する鏡体と、
前記鏡体内にガスを導入するガス供給部と、を備え、
当該検出された信号に基づいて画像信号を出力する電子顕微鏡において、
前記ガス供給部は、
小型のガス容器を収納するガス容器収納部と、
当該ガス容器収納部に収納されたガス容器内のガスを、前記真空の試料室内に保持された試料を少なくとも含む領域に導入するガス導入ノズルと、を有し、
前記ガス容器収納部は、前記試料ホルダ内に配置されることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載された電子顕微鏡であって、
前記ガス容器収納部は、前記鏡体の外であって、かつ前記試料が保持された位置の近傍に配置されることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1又は請求項2に記載された電子顕微鏡であって、
前記ガス導入ノズルは、前記試料ホルダ内に配置されることを特徴とする電子顕微鏡。
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