JP3663056B2 - 電子顕微鏡用試料加熱ホルダ及び試料観察方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子顕微鏡内で試料を加熱し、加熱による試料変化を観察するのに用いられる電子顕微鏡用試料加熱ホルダに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の試料加熱ホルダには、実開昭58−173159号公報に記載されているような、加熱炉の中に試料を固定するタイプのものがある。この加熱炉タイプの試料加熱ホルダは加熱炉の大きさの分、試料ホルダが厚い構造である。また、試料を固定する試料台には高融点金属のPtが使われていることが多い。
【0003】
一方、加熱炉タイプ以外の試料加熱ホルダとして、例えば特開平6−44936号公報には、コイル状に巻回してそれを横にした加熱ヒータを用い、試料をそのコイル内に直接設置、あるいは試料を微粉末にしてヒ−タに直接ふりかけ加熱するタイプのものが示されている。この場合、小電流で試料を高温加熱できる。また、直接加熱であり、試料やヒータサイズが小さいため、昇温してから短時間で一定温度が得られ、高温での高分解能観察が可能である。また、EDX(Energy Dispersive X-ray Analyzer)分析の際、X線の検出を妨げる構造物がなく、室温でのEDX分析を可能としている。ヒータは、脱着可能である。
【0004】
特開平6−68828号公報には、加熱ヒータとして平板型のセラミックヒータを用いたものが記載されている。この場合、試料の加熱温度は約200℃程度であり、試料台に二軸傾斜機構を持たせている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記加熱炉タイプの試料加熱ホルダでは、加熱炉を通した間接加熱であるため試料への熱伝導が遅く、また、加熱によって試料が試料台に溶着するなどの問題があった。また、加熱炉の底部に試料を設置する構造であり、試料のEDX分析については考慮されていなかった。加熱温度にも制限があった。上記コイルに直接試料を載せるタイプの試料加熱ホルダでは、試料を粉体あるいはリボン状にする必要がある等の制限があった。上記平板型のセラミックヒータを用いたものは、金属試料台を通して加熱するため、昇温後一定温度に安定するまで時間を要し、加熱温度にも制限があった。
【0006】
触媒、火力・原子力材料などは、1000℃以上の高温での材料の特性、あるいは、その変化過程を捉えるための原子レベルでの構造解析が必要とされているが、上記従来技術では変化過程を観察するのは困難であった。そのため、従来は、各温度で処理された材料をそれぞれ電子顕微鏡用に薄膜化処理を行い、処理温度ごとの解析を行っていた。
【0007】
また、同一加熱条件で、薄膜でのプロセスとバルク状態での加熱によるプロセスでの変化が同じであるかどうかを確認することにより、薄膜試料に生じる現象と実際の材料で発生する現象とが同じであるかどうかを確認することができる。しかし、従来技術では、加熱後の同一試料バルク部分を再度加工するためには、試料上下に接触したヒータを取り外して試料を取り出し、集束イオンビーム(Focused Ion Beam:FIB)加工装置用ホルダに装着し加工しなければならない。そのため、加熱により脆くなった材料は、取扱いの際に破損する恐れがあり、観察したい場所が無くなる可能性がある。
【0008】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、試料の形状によらず、短時間で加熱によるドリフトを押さえ、小電流で1000℃以上の高温での試料の高分解能観察が可能な電子顕微鏡用試料加熱ホルダを提供することを目的とする。本発明は、また、試料加熱観察後、FIB加工装置による同一試料のバルク部分の再加工及び電子顕微鏡による再観察が可能であり、加熱によるバルク部分の内部観察及び薄膜部分との比較検証が可能な電子顕微鏡用試料ホルダ及びそのホルダを用いた試料観察方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、加熱ヒータとして外表面にセラミックコーティングをした高融点金属線を用い、試料の上面と下面を直接加熱ヒータに接触させる構造の試料加熱ホルダを試作した。この試作ホルダは、試料を約1800℃まで直接に加熱することができるが、ヒータの熱膨張に起因する試料ドリフトの問題が新たに発生することが判明した。原子レベルでの高分解能観察には通常0.1〜0.5nm間隔の格子像を識別する必要があるが、高温で熱平衡条件に到達し、高分解能観察可能な状態に安定するまでに長時間を要した。また、熱の発散による試料加熱温度のロスがあり、加熱効率が低いという問題があった。
【0010】
本発明は、このような検討の結果、電子顕微鏡の試料加熱ホルダの試料を取り囲んだヒータの周囲に、更に表面にカーボンコーティングを施した断熱かつ絶縁性ヒータ包囲体を装着すると、加熱時の熱膨張及び熱発散を防止することができ、短時間で高温での試料の安定性が得られることを見出してなされたものである。
【0011】
また、前記他の目的は、試料のFIBによる加工が可能なように、電子顕微鏡用試料加熱ホルダのヒータ包囲体側面部及びホルダ外枠側面部にFIBが入射するための開口を設けることにより達成される。加熱観察した試料が取り付けられた試料加熱ホルダをそのままFIB加工装置に装着し、この開口を通して試料の未加工バルク部分を加工し、加工後、加工された試料が取り付けられている試料加熱ホルダを再度電子顕微鏡に装着して試料観察することが可能となり、加熱によるバルク部分の内部観察及び薄膜部分との比較検証を行うことができる。
【0012】
すなわち、本発明による電子顕微鏡用試料加熱ホルダは、ホルダ本体と、試料に直接接触して試料を加熱するヒータと、ヒータを覆って熱の発散を防止する断熱・絶縁性ヒータ包囲体とを含み、ヒータ包囲体は少なくとも外表面を含む表面にカーボンコーティングが施されており、ヒータはヒータ包囲体に固定されていることを特徴とする。
【0013】
ヒータ包囲体は、熱効率を向上させる機能と共に、ヒータを固定して束縛する機能、すなわちヒータの熱膨張に伴う試料ドリフトを防止する機能を有する。耐熱性及び低熱膨張率の観点から、ヒータ包囲体はセラミックス製とするのが好ましい。ヒータ包囲体にヒータからの熱の発散を防止して加熱効率を向上させる機能を持たせるに当たり、ヒータ包囲体は必ずしもヒータを全方位から完全に覆う必要はない。ヒータ包囲体へのヒータの固定は、例えば高温硬化の液体状無機質耐熱性接着剤を用いて行うことができる。また、試料をヒータに高温硬化の液体状無機質耐熱性接着剤を用いて固定することにより、試料ドリフト防止効果を更に高めることができる。
【0014】
また、蒸着などの方法でヒータ包囲体をカーボンコーティングしたことにより、ヒータ包囲体に導電性を付与してチャージアップを防止するとともに、常温でのEDX分析においてヒータ包囲体に入射する散乱電子によるヒータ包囲体からのノイズの発生を防止できる。
ヒータ包囲体をホルダ本体に対して回動可能に装着する構造とすることにより、ホルダ本体の長軸の回りへの回動と合わせて二軸傾斜機構を実現することができ、観察する結晶の方位を変えることが可能になる。また、ヒータ包囲体はホルダ本体に対して着脱自在とするのが好ましい。
【0015】
ヒータ包囲体には、電子線が通過するための開口と、電子線照射によって試料から放出されたX線を取出すための開口と、試料を出し入れするすための開口など、必要な開口が設けられる。開口は、穴状であっても、スロット状であっても、ヒータ包囲体の解放縁部から延びる切り欠き状であってもよく、その形状は問わない。ヒータ包囲体に設けられたこれらの開口を介して試料の電子顕微鏡観察、X線分析を行うことができ、加熱、観察、分析後の試料の取り外しが可能になる。
【0016】
また、ヒータ包囲体は、側面部に試料加工用の集束イオンビームを通過させる開口を有するものとすることができる。このヒータ包囲体によると、内部のヒータに試料が固定されたヒータ包囲体をホルダ本体から取り外してFIB加工装置のホルダに固定し、側面部に設けた開口からFIBを入射させて試料のバルク部分を加工することができる。
【0017】
更に、ヒータ包囲体の側面部に試料加工用の集束イオンビームを通過させる開口を設けると共に、ホルダ本体にも、ヒータ包囲体の側面部に設けられた開口に重なる位置に開口を設けることができる。この試料加熱ホルダによると、内部に試料が固定されたヒータ包囲体をホルダ本体ごと電子顕微鏡から取り出してFIB加工装置に装着し、ホルダ本体の開口と、それに重なるヒータ包囲体の側面部の開口を通して試料にFIBを照射することで、試料の未加工バルク部分を加工することができる。試料の加工が終わると、ヒータ包囲体の取り付けられたホルダ本体をFIB加工装置から取り出して電子顕微鏡に装着し、加工された試料バルク部分の電子顕微鏡観察を行うことができる。
【0018】
本発明による試料観察方法は、前述のFIB加工用の開口が設けられたヒータ包囲体を備える電子顕微鏡用試料加熱ホルダ、あるいはFIB加工用の開口がヒータ包囲体とホルダ本体の両方に設けられた電子顕微鏡用試料加熱ホルダを用い、そのヒータに固定された試料を加熱して電子顕微鏡で観察するステップと、電子顕微鏡から電子顕微鏡用試料加熱ホルダを取り出し、試料をヒータから外すことなく試料の未加工バルク部分を集束イオンビーム加工装置で加工するステップと、加工された試料を保持する電子顕微鏡用試料加熱ホルダを電子顕微鏡に装着し、前記ステップで加工された試料部分を電子顕微鏡で観察するステップとを含むことを特徴とする。ヒータへの試料の固定は、高温硬化の液体状無機質耐熱性接着剤を用いて行うことができる。
【0019】
本発明の試料加熱ホルダによると、短時間で加熱によるドリフトを押さえ、小電流で1000℃以上の高温での試料の高分解能観察を行うことができる。また、本発明の試料観察方法によると、加熱中に薄膜部で起きた現象とバルク部分で起きた現象を比較検証することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明による電子顕微鏡用試料加熱ホルダの先端部の一例の分解斜視図、図2はヒータ包囲体の一例を示す平面図、側面図及び断面図、図3はヒータと試料の位置関係の説明図、図4は試料、ヒータ及びヒータ包囲体をホルダ外枠に取り付けた状態のホルダ先端部の平面図、図5は図4に相当する斜視図である。
【0021】
ホルダ先端部は、ヒータ包囲体1、ヒータ2、ホルダ外枠部3からなる。ここに例示したヒータ包囲体1は、底部に側面下端から内側に突出する鍔状の部分16を有した底のない箱形の形状をしているが、ヒータ包囲体には底を設けてもよいし、底を全く設けなくてもよい。ヒータ包囲体1の上面には、試料を観察及び分析するための電子線及びX線が通過するための穴11が設けられている。ヒータ包囲体1の一方の側部にはホルダ外枠部3に設けられた押さえバネ4の受け部13が設けられ、その反対側の側部にはロッド7の受け部14が設けられている。ロッド受け部14の横には、ヒータ2の引き出し線をヒータ包囲体1の外部に導出するための穴15が設けられている。ヒータ包囲体1の他の2つの側面にはピボットネジ5a,5bの先端が入る凹部12a,12bが設けられている。一方の凹部12aの側方には、試料を再度加工するためのイオンビームを入射させるための開口17が設けられている。
【0022】
ヒータ2は二段のコイル状をなし、ヒータ包囲体1内に収納され、引き出し線のみヒータ包囲体1の穴15から外部に出される。ヒータ2は、高温硬化の液体状無機質耐熱性接着剤、例えば「スミセラム」(朝日化学工業)を用いてヒータ包囲体1の内部に接着固定される。試料8は、この二段のヒータ2の間に設置され、高温硬化の液体状無機質耐熱性接着剤、例えば「スミセラム」(朝日化学工業)を用いてヒータ2に接着固定される。間に試料8を固定したヒータ2は、ピボットネジ5a,5bによって、ヒータ包囲体1ごとホルダ外枠部3にセットされる。
【0023】
ホルダ外枠部3には、ヒータ包囲体固定のための押さえバネ4、ピボットネジ5a,5b、ヒータ2の引き出し線を固定するためのネジ6、試料の再加工のためにFIBを入射することができるスロット20が設けられている。スロット20は、ホルダ外枠部3にセットしたヒータ包囲体1の側部に設けられた開口17と重なる位置に設けられている。また、試料ホルダの軸方向には、ヒータ包囲体1の固定、二軸傾斜、及び通電のためのロッド7が延びている。ロッド7は、図示しない駆動手段によって、ピボットネジ5a,5bを結ぶ方向(図4の矢印21方向)に移動可能になっている。
【0024】
図2の側面図(a)に示すように、ヒータ包囲体1は、一方の側部に設けられた押さえバネ受け部13の位置で開口しており、この開口部18は試料を挿入するための挿入口として用いられる。また、側面図(c)に示すように、ロッド受け入れ部14は底面が斜面となっており、この斜面にロッド7の先端部が接触する。なお、図2(d)は図2(b)のAA断面図である。
【0025】
図4の平面図に示すように、ヒータ包囲体1はピボットネジ5a,5bによって回動自在に軸支され、押さえバネ4によって一方の側部が下方に付勢されて回動しようとするが、他方の側部に設けられたロッド受け入れ部14に接触するロッド7によってその運動が阻止される。ヒータ包囲体1のピボットネジ5a,5bの回りへの回転角は、ロッド受け入れ部14の斜面のどの位置にロッド7が接触するかによって、すなわちロッド7のピボットネジ5a,5bを結ぶ方向(図4の矢印21方向)の位置を変更することによって調整可能である。また、ホルダ本体は、図4に矢印19で示すように、軸の回りに回転可能である。したがって、本発明の試料加熱ホルダは、ホルダ本体の軸の回りの回転と、ヒータ包囲体1のピボットネジ5a,5bの回りの回転による二軸傾斜機能を有する。ヒータ包囲体1の側部に設けられた穴15から取り出されたヒータ2の引き出し線は、一方がネジ6aによってホルダ外枠3に固定され、他方はネジ6bによってロッド7に固定され、直流電源9に接続されている。
【0026】
図3は、ヒータ2と試料8の位置関係の説明図である。ヒータ2は渦巻き状で二段に連結された形状を有し、その間にFIB加工装置で加工して一部を薄膜とした試料8を配置する。試料8は、高温硬化の液体状無機質耐熱性接着剤、例えば「スミセラム」(朝日化学工業)を用いて直接ヒータ2に固定する。実際には、ヒータ2の間隔は図3に示した間隔より狭く、より試料8に接触する距離となり、またヒータ2はヒータ包囲体1の内部に固定されているため、ヒータ2への試料8の取り付けはヒータ包囲体1の開口部18から行う。試料8は、薄くFIB加工した部分がヒータ包囲体1の開口17及びホルダ外枠3のスロット20がある側を向くよう配置される。図6は、ヒータ2に試料8が取り付けられたヒータ包囲体1の側面図である。ヒータ包囲体1の側部の開口17からは、試料8の未加工バルク部が見えている。
【0027】
図7は、本発明の試料加熱ホルダを用いて試料を観察する方法の手順を示すフローチャートである。まず、ヒータ包囲体1に固定されているヒータ2の間に、FIB加工装置で薄膜加工した試料8を固定する(S11)。次に、試料8を固定したヒータ包囲体1を、図4のようにホルダ外枠3に固定する(S12)。ピボット5a,5bはネジ式になっており、ホルダ外枠部3へのヒータ包囲体1の固定は、先端を引っ込めた状態でヒータ包囲体1をホルダ外枠部3に挿入して押さえバネ4とロッド7を各々の受け部13,14に取り付け、その後ピボットネジ5a,5bの先端をヒータ包囲体1の側部の凹部12a,12bに押し込んで最終的に固定することで行う。
【0028】
次に、ホルダをTEMに挿入し、加熱電源9と接続する(S13)。その後、ヒータ2に電流を流し、試料を加熱しながら透過電子顕微鏡(Transmission Electron Microscopy:TEM)観察、及びEDX分析を行う(S14)。図8は、試料8に対し、観察時に電子線が入射する方向aと、後述のステップ18においてFIB加工する場合にイオンビームが入射する方向bを示す模式図である。ステップ14におけるTEM観察時、TEM内ではaの方向に電子線が入射し、透過した電子線を結像し、その透過像を観察する。ヒータ2に直流電流を流し、加熱による試料8の変化を観察することができる。この際、試料8は両面から加熱され、更にセラミックス製のヒータ包囲体1により熱の発散が防がれるため、短時間で高温に到達し、ヒータ2がヒータ包囲体1に固定され、試料もヒータ2に固定されているため昇温による熱ドリフトを抑制でき、高温での原子レベルでの観察が可能となる。試料8の傾斜が必要な場合には、ホルダ軸全体を回転させるか、または、ヒータ包囲体1に対するロッド7の位置を変えることにより行う。
【0029】
試料8の加熱観察が終了後、加熱を停止し(S15)、試料8をホルダごとTEMから取り出し(S16)、FIB装置の中に挿入する(S17)。FIB装置内では、集束イオンビームが試料8に対して図8に示した矢印bの方向から、ホルダ外枠部3のスロット20及びヒータ包囲体1の開口17を抜けて試料8に入射するように、ホルダの向きをセットする。スロット20内には、試料8の未加工のバルク部分が見えており、その部分をFIBでスパッタすることにより、新しい観察視野を得る(S18)。
【0030】
FIB加工終了後、ホルダをFIB加工装置から取り出し(S19)、バルク部分を加工された試料8をホルダごと再びTEMに挿入し(S20)、観察・分析を行う(S21)。このような手順により、加熱後、試料8の未加工部分を再度加工し、バルク部分の加熱による変化と薄膜部の変化を比較検証(S22)することが可能である。
【0031】
本発明による試料加熱ホルダと、従来の加熱炉タイプの試料ホルダとで、設定温度までの到達時間及び試料ドリフトの経時変化を比較した。本発明の試料加熱ホルダに装着する試料としては、厚さ約0.3〜0.4mmのSiウエハから切り出した3mm×2mm×0.4mmのSiの一部をFIB加工して厚さ約0.1μmとしたものを用い、その試料を前述のようにしてヒータに固定した。
【0032】
図9は、従来の加熱炉タイプの試料ホルダの断面模式図である。この試料ホルダは、ホルダ本体40に設けられた穴41中にタンタル製の加熱炉50を配置し、その回りにヒータ51を配置したものである。試料55は、加熱炉50の段部に設置した後、固定ネジ52によって縁部を押さえて固定される。ヒータ51には引き出し線53が接続されている。また、加熱炉の温度をモニターするための熱電対54が配置されている。試料55は、直径3mm、厚さ約20μmのSiのディスクをイオンシニングによって薄膜加工したもので、TEM観察する部分は数nmと極めて薄くなっている。
【0033】
図10は、設定温度を1000℃として、2つの試料加熱ホルダの設定温度到達時間を比較して示したものである。従来の試料ホルダは、間接加熱のためヒータから試料に熱が伝わるのに時間がかかり、設定温度に到達するのに20分を要した。これに対して、本発明の試料加熱ホルダは、5分程度の時間で設定温度に到達することができた。
【0034】
図11は、2つの試料加熱ホルダで発生する試料ドリフトの経時変化を比較して示したものである。従来の試料ホルダは、間接加熱のため全体が安定するのに時間がかかり、1秒間当たりのドリフト量が0.2nmに落ち着くまで120分を要した。これに対して、本発明の試料ホルダは、ヒータによる直接加熱である上に、ヒータがヒータ包囲体に固定され、試料もヒータに固定されているため、ドリフト量は20分程度で1秒間当たり0.2nmに落ち着いた。
【0035】
図12は、本発明の試料加熱ホルダを用いて得た試料の薄膜部のTEM像と、加熱後にその試料のバルク部分をFIB加工して得たTEM像の例である。図12(a)はFIB加工により薄片化してから約1500℃に加熱したSiCの結晶格子像であり、図12(b)は図12の(a)のTEM像を観察した後、再度バルク部分をFIB加工して観察したSiCの結晶格子像である。この例の場合には、バルク部分の結晶格子像と薄膜部分の結晶格子像が同じような多形構造を示している。したがって、図7のステップ22における比較では、加熱の過程で試料の薄膜部分に生じた変化、すなわちTEMで観察された変化がバルク部分に生じた変化と同じであると推定されることになる。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、電子顕微鏡を用いて、試料の形状によらず、また、電子線に対する試料の方位によらず、熱によるドリフトを押さえ、高い熱効率で高温での試料の高分解能観察が可能である。また、試料加熱観察後、集束イオンビーム加工装置による試料の再加工及び、電子顕微鏡の再観察が可能であり、加熱によるバルク部分の内部観察及び薄膜部分との比較検証が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による電子顕微鏡用試料加熱ホルダの先端部の一例の分解斜視図。
【図2】ヒータ包囲体の一例を示す平面図、側面図及び断面図。
【図3】ヒータと試料の位置関係の説明図。
【図4】試料、ヒータ及びヒータ包囲体をホルダ外枠に取り付けた状態のホルダ先端部の平面図。
【図5】図4に相当する斜視図。
【図6】ヒータに試料が取り付けられたヒータ包囲体の側面図。
【図7】本発明の試料加熱ホルダを用いて試料を観察する方法の手順を示すフローチャート。
【図8】試料に対し、観察時に電子線が入射する方向aと、FIB加工する場合にイオンビームが入射する方向bを示す模式図。
【図9】従来の加熱炉タイプの試料ホルダの断面模式図。
【図10】本発明の試料加熱ホルダと、従来の試料加熱ホルダの設定温度到達時間を比較して示した図。
【図11】本発明の試料加熱ホルダと、従来の試料加熱ホルダによる試料ドリフトの経時変化を比較して示した図。
【図12】本発明の試料加熱ホルダを用いて得た試料の薄膜部のTEM像と、加熱後にその試料のバルク部分をFIB加工して得たTEM像の例を示す顕微鏡写真。
【符号の説明】
1…ヒータ包囲体、2…ヒータ、3…ホルダ外枠、4…押えバネ、5a,5b…ピボットネジ、6a,6b…ネジ、7…ロッド、8…試料、9…電源、11…電子線及びX線通過穴、13…押さえバネ受け部、14…ロッド受け部、15…ヒータ引き出し線取り出し穴、16…鍔状部分、17…開口、18…開口(試料挿入口)、20…スロット、40…ホルダ本体、41…穴、50…加熱炉、51…ヒータ、52…固定ネジ、53…引き出し線、54…熱電対、55…試料
Claims (9)
- ホルダ本体と、試料に直接接触して試料を加熱するヒータと、前記ヒータを覆って熱の発散を防止する断熱・絶縁性ヒータ包囲体とを含み、
前記ヒータ包囲体は表面にカーボンコーティングが施されており、前記ヒータは前記ヒータ包囲体に固定されていることを特徴とする電子顕微鏡用試料加熱ホルダ。 - 請求項1記載の電子顕微鏡用試料加熱ホルダにおいて、前記ヒータ包囲体はセラミックスであることを特徴とする電子顕微鏡用試料加熱ホルダ。
- 請求項1又は2記載の電子顕微鏡用試料加熱ホルダにおいて、前記ヒータ包囲体は前記ホルダ本体に対して回動可能に装着されていることを特徴とする電子顕微鏡用試料加熱ホルダ。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載の電子顕微鏡用試料加熱ホルダにおいて、前記ヒータ包囲体は前記ホルダ本体に対して着脱自在であることを特徴とする電子顕微鏡用試料加熱ホルダ。
- 請求項1〜4のいずれか1項記載の電子顕微鏡用試料加熱ホルダにおいて、前記ヒータ包囲体は、電子線が通過するための開口と、電子線照射によって試料から放出されたX線を取出すための開口と、試料を出し入れするすための開口とを有することを特徴とする電子顕微鏡用試料加熱ホルダ。
- 請求項1〜5のいずれか1項記載の電子顕微鏡用試料加熱ホルダにおいて、前記ヒータ包囲体は、側面部に試料加工用の集束イオンビームを通過させる開口を有することを特徴とする電子顕微鏡用試料加熱ホルダ。
- 請求項6記載の電子顕微鏡用試料加熱ホルダにおいて、前記ホルダ本体は、前記ヒータ包囲体の側面部に設けられた開口に重なる位置に開口を有することを特徴とする電子顕微鏡用試料加熱ホルダ。
- 請求項6又は7記載の電子顕微鏡用試料加熱ホルダを用い、そのヒータに固定された試料を加熱して電子顕微鏡で観察するステップと、
電子顕微鏡から電子顕微鏡用試料加熱ホルダを取り出し、試料を前記ヒータから外すことなく試料の未加工バルク部分を集束イオンビーム加工装置で加工するステップと、
加工された試料を保持する電子顕微鏡用試料加熱ホルダを電子顕微鏡に装着し、前記ステップで加工された試料部分を電子顕微鏡で観察するステップとを含むことを特徴とする試料観察方法。 - 請求項1〜7のいずれか1項記載の電子顕微鏡用試料加熱ホルダを用い、高温硬化の液体状無機質耐熱性接着剤を用いて試料をヒータに固定することを特徴とする試料観察方法。
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