JPH0644936A - 電子線装置、及び電子線装置用試料ホルダー - Google Patents
電子線装置、及び電子線装置用試料ホルダーInfo
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- JPH0644936A JPH0644936A JP5128688A JP12868893A JPH0644936A JP H0644936 A JPH0644936 A JP H0644936A JP 5128688 A JP5128688 A JP 5128688A JP 12868893 A JP12868893 A JP 12868893A JP H0644936 A JPH0644936 A JP H0644936A
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 56
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は電子線装置に係り、高温状態にある試
料の像観察・分析を行うための好適な試料加熱ホルダー
を提供することにある。 【構成】電子線装置における試料ホルダー５内に、試料
２を加熱するための加熱部材８，導線１０，スイッチ１
１，可変抵抗１２，電池１３を組込む構成としたことを
特徴とする。 【効果】試料加熱のための外部配線がないので、外部振
動の影響を防止し、高分解能を実現した。
料の像観察・分析を行うための好適な試料加熱ホルダー
を提供することにある。 【構成】電子線装置における試料ホルダー５内に、試料
２を加熱するための加熱部材８，導線１０，スイッチ１
１，可変抵抗１２，電池１３を組込む構成としたことを
特徴とする。 【効果】試料加熱のための外部配線がないので、外部振
動の影響を防止し、高分解能を実現した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子線装置に関し、特
に、加熱状態における試料の観察を行うに好適な電子線
装置、及びそのための試料ホルダーに関する。
に、加熱状態における試料の観察を行うに好適な電子線
装置、及びそのための試料ホルダーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の電子線装置用加熱試料ホルダーは
特開昭51−267 号，実開昭58−173159号などに見られる
ように効率的な試料加熱，方法について改善をなされて
きた。しかし観察・分析を行う試料の領域が極微小化
（ｎｍオーダ以下）するニーズが高まる現状において、
試料ホルダーが受ける外乱（振動など）については何ら
考慮されていなかった。特に加熱用電源から試料ホルダ
ーへ電力を供給するためのケーブルは振動，空気対流の
影響を受け、これを試料ホルダーを介し試料に伝えるた
め試料が微小に動き該試料の高分解能像観察や微小領域
の分析に支障をきたしていた。
特開昭51−267 号，実開昭58−173159号などに見られる
ように効率的な試料加熱，方法について改善をなされて
きた。しかし観察・分析を行う試料の領域が極微小化
（ｎｍオーダ以下）するニーズが高まる現状において、
試料ホルダーが受ける外乱（振動など）については何ら
考慮されていなかった。特に加熱用電源から試料ホルダ
ーへ電力を供給するためのケーブルは振動，空気対流の
影響を受け、これを試料ホルダーを介し試料に伝えるた
め試料が微小に動き該試料の高分解能像観察や微小領域
の分析に支障をきたしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来電子
線装置及びその試料ホルダーは外乱の影響を受け易く高
分解能像の観察・微小部の分析は困難であった。
線装置及びその試料ホルダーは外乱の影響を受け易く高
分解能像の観察・微小部の分析は困難であった。
【０００４】本発明の第１の目的は、加熱した試料を観
察する電子線装置において、外部からの振動による影響
を防止し、高分解の試料像観察が可能な電子線装置を提
供するにある。
察する電子線装置において、外部からの振動による影響
を防止し、高分解の試料像観察が可能な電子線装置を提
供するにある。
【０００５】本発明の第２の目的は、試料の加熱を効率
的に行うことのできる電子線装置を提供するにある。
的に行うことのできる電子線装置を提供するにある。
【０００６】本発明の他の目的は、加熱試料の像観察を
行う電子線装置用の試料ホルダーであって、外部からの
振動による影響の少ない試料ホルダーを提供するにあ
る。
行う電子線装置用の試料ホルダーであって、外部からの
振動による影響の少ない試料ホルダーを提供するにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記第１の目的を達成す
るため、加熱用試料ホルダーを有する電子線装置におい
て、試料ホルダー上の加熱部材を加熱せしめる加熱用電
源、および該加熱用電源からの電力を上記加熱部材へ導
く導線を、共に上記試料ホルダー内へ組込む構成とし
た。
るため、加熱用試料ホルダーを有する電子線装置におい
て、試料ホルダー上の加熱部材を加熱せしめる加熱用電
源、および該加熱用電源からの電力を上記加熱部材へ導
く導線を、共に上記試料ホルダー内へ組込む構成とし
た。
【０００８】前記第２の目的を達成するため、上記試料
ホルダーの加熱部材で試料支持部材を構成し、上記試料
を当該試料支持部材で直接加熱することで、加熱効率を
向上した。
ホルダーの加熱部材で試料支持部材を構成し、上記試料
を当該試料支持部材で直接加熱することで、加熱効率を
向上した。
【０００９】更に、前記他の目的を達成するため、電子
線装置用の試料ホルダーにおいて、試料加熱部材，該加
熱部材用直流電源、及び上記加熱部材と上記直流電源と
を接続する導線を、全て試料ホルダーに内蔵させ、前記
電子線装置とは別に、単独で製造，携帯可能にした。
線装置用の試料ホルダーにおいて、試料加熱部材，該加
熱部材用直流電源、及び上記加熱部材と上記直流電源と
を接続する導線を、全て試料ホルダーに内蔵させ、前記
電子線装置とは別に、単独で製造，携帯可能にした。
【００１０】
【作用】以上の様な構成とすることで、試料ホルダー内
だけで試料を加熱することができることから、電線等を
通じて外部からの振動が試料へ伝わることがない。した
がって、試料の振動に伴う分解能の低下，微小部分の観
察の困難さを軽減できる。
だけで試料を加熱することができることから、電線等を
通じて外部からの振動が試料へ伝わることがない。した
がって、試料の振動に伴う分解能の低下，微小部分の観
察の困難さを軽減できる。
【００１１】
【実施例】以下、図を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１２】図５は、電子線装置として透過形電子顕微
鏡に本発明を適用した場合の全体構成図である。
鏡に本発明を適用した場合の全体構成図である。
【００１３】図５において、電子銃２０から射出した電
子線１は、照射レンズ系２１ａ，２１ｂによって収束さ
れ、試料２を照射する。試料２を透過した電子線は、結
像レンズ系２２ａ〜２２ｅによって拡大され、蛍光板１
６上に結像する。試料ホルダー５は、照射レンズ系２１
ａ，２１ｂと結像レンズ系２２ａ〜２２ｅとの間に配置
され、鏡筒３に取付けられた駆動装置６，７にて保持さ
れる。
子線１は、照射レンズ系２１ａ，２１ｂによって収束さ
れ、試料２を照射する。試料２を透過した電子線は、結
像レンズ系２２ａ〜２２ｅによって拡大され、蛍光板１
６上に結像する。試料ホルダー５は、照射レンズ系２１
ａ，２１ｂと結像レンズ系２２ａ〜２２ｅとの間に配置
され、鏡筒３に取付けられた駆動装置６，７にて保持さ
れる。
【００１４】試料ホルダー５は、試料加熱用の電源等を
内蔵し、外部からの配線を不用としているが、その具体
的構成を以下説明する。
内蔵し、外部からの配線を不用としているが、その具体
的構成を以下説明する。
【００１５】図１は、本発明を適用した試料ホルダー部
分の断面図である。図において、電子線１が照射される
試料２は、真空に保持された、電子顕微鏡の鏡筒３の中
に配置されている。この試料２は試料ホルダー５に保持
され、試料ホルダー５は、試料駆動装置６，７を介して
鏡筒３に着脱自在に取付けられている。試料駆動装置６
は、電子線１に対して試料２を移動及び傾斜させるため
のものである。
分の断面図である。図において、電子線１が照射される
試料２は、真空に保持された、電子顕微鏡の鏡筒３の中
に配置されている。この試料２は試料ホルダー５に保持
され、試料ホルダー５は、試料駆動装置６，７を介して
鏡筒３に着脱自在に取付けられている。試料駆動装置６
は、電子線１に対して試料２を移動及び傾斜させるため
のものである。
【００１６】この試料２の加熱部の詳細構成を図２に示
す。すなわち、試料２は加熱部材８に支持されており、
電子線１は孔部９を通過する。加熱部材８は、例えばタ
ングステンのような高溶点の導電性材料で作られてお
り、熱効率を上げるために温度容量が小さくなるように
形成されている。この加熱部材８は、平板状で、ネジ１
５によって試料ホルダー５に着脱可能に取付けられてい
る。
す。すなわち、試料２は加熱部材８に支持されており、
電子線１は孔部９を通過する。加熱部材８は、例えばタ
ングステンのような高溶点の導電性材料で作られてお
り、熱効率を上げるために温度容量が小さくなるように
形成されている。この加熱部材８は、平板状で、ネジ１
５によって試料ホルダー５に着脱可能に取付けられてい
る。
【００１７】そして、加熱部材８は、導線１０によっ
て、試料ホルダー５に内蔵された直流電源（電池）１
３，可変抵抗１２及びスイッチ１１に接続されている。
スイッチ１１が閉路すると、電池１３から給電され、加
熱部材８が発熱して試料２を直接加熱する。これによ
り、試料２は、高温状態での観察が可能となる。このと
きの温度は、観察する試料及び目的に応じて、可変抵抗
１２によって調整される。
て、試料ホルダー５に内蔵された直流電源（電池）１
３，可変抵抗１２及びスイッチ１１に接続されている。
スイッチ１１が閉路すると、電池１３から給電され、加
熱部材８が発熱して試料２を直接加熱する。これによ
り、試料２は、高温状態での観察が可能となる。このと
きの温度は、観察する試料及び目的に応じて、可変抵抗
１２によって調整される。
【００１８】このように、加熱部材８，導線１０，電池
１３，スイッチ１１等は、すべて試料ホルダー５に内蔵
されているので、外部からの振動の影響を小さくするこ
とができ、高分解能の像観察が可能となる。加えて、電
池１３を使用することで、試料ホルダー５をコンパクト
に構成できる。また、試料２が高温によって解け、加熱
部材８に付着した場合は、この加熱部材８を取り替える
ことも容易であり、保持性にも優れている。
１３，スイッチ１１等は、すべて試料ホルダー５に内蔵
されているので、外部からの振動の影響を小さくするこ
とができ、高分解能の像観察が可能となる。加えて、電
池１３を使用することで、試料ホルダー５をコンパクト
に構成できる。また、試料２が高温によって解け、加熱
部材８に付着した場合は、この加熱部材８を取り替える
ことも容易であり、保持性にも優れている。
【００１９】ところで、試料２の蒸発によって、その粒
子が試料２の周辺に付着、例えば照射レンズ２１ｂ及び
結像レンズ２２ａ等に付着し、汚染するおそれがある。
図３は、このような汚染を防止するため、加熱部材８の
周辺に遮蔽板１４を設けた例を示す。他の部分は前記実
施例と同一であり、同一符号を付して、説明を省略す
る。
子が試料２の周辺に付着、例えば照射レンズ２１ｂ及び
結像レンズ２２ａ等に付着し、汚染するおそれがある。
図３は、このような汚染を防止するため、加熱部材８の
周辺に遮蔽板１４を設けた例を示す。他の部分は前記実
施例と同一であり、同一符号を付して、説明を省略す
る。
【００２０】図４は、加熱部材８の変形例であり、ここ
では螺旋状に形成し、試料２を支持するようにしてい
る。これにより、試料２を囲んで支持しているので、よ
り効果的に試料の温度を高めることができる。
では螺旋状に形成し、試料２を支持するようにしてい
る。これにより、試料２を囲んで支持しているので、よ
り効果的に試料の温度を高めることができる。
【００２１】図６は、本発明に係る試料ホルダーの具体
的一構成図であって、同図（Ａ）は外観図、同図（Ｂ）
は断面図であり、前記と同一部には同一符号を付して説
明を省略する。
的一構成図であって、同図（Ａ）は外観図、同図（Ｂ）
は断面図であり、前記と同一部には同一符号を付して説
明を省略する。
【００２２】
【発明の効果】以上の様な構成にすれば外乱の影響を抑
えることが出来、高温状態での試料の高分解能像、又は
微小部の分析が可能となり、材料の物性評価等を行う上
で多大な効果が期待できる。
えることが出来、高温状態での試料の高分解能像、又は
微小部の分析が可能となり、材料の物性評価等を行う上
で多大な効果が期待できる。
【図１】本発明の一実施例に係る試料ホルダー部の断面
図。
図。
【図２】本発明の試料加熱部材部の一実施例。
【図３】本発明の試料加熱部材を螺旋状の形状とした一
実施例。
実施例。
【図４】試料加熱部に遮蔽板を設けた本発明の一実施
例。
例。
【図５】本発明を適用した透過形電子顕微鏡の一全体構
成図。
成図。
【図６】本発明の試料ホルダーの具体的一構成図。
１…電子線、２…試料、３…電子顕微鏡の鏡筒、５…試
料ホルダー、６，７…試料駆動装置、８…試料加熱部
材、１０…導線、１１…スイッチ、１２…可変抵抗、１
３…電池。
料ホルダー、６，７…試料駆動装置、８…試料加熱部
材、１０…導線、１１…スイッチ、１２…可変抵抗、１
３…電池。
フロントページの続き (72)発明者 富田 正弘 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所計測器事業部内
Claims (10)
- 【請求項１】試料を支持し、当該試料を加熱する加熱部
材を有する試料ホルダーを備え、上記試料に電子線を照
射して、当該試料の像を観察する電子線装置において、
上記加熱部材を発熱せしめる加熱用電源、及び当該加熱
用電源からの電力を上記加熱部材へ導く導線を、上記試
料ホルダーに組込んだことを特徴とする電子線装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記試料ホルダーは、
前記電子線装置に装着及び取外し可能に構成されている
ことを特徴とする電子線装置。 - 【請求項３】請求項１において、前記試料ホルダーは、
前記加熱用電源と前記加熱部材との間に、上記加熱用電
源からの給電をオン・オフするスイッチと当該給電量を
制御する制御手段とを組込んだことを特徴とする電子線
装置。 - 【請求項４】請求項１において、前記加熱部材は前記試
料の支持部材を兼ね、当該加熱部材上に上記試料を載せ
て当該試料を直接加熱するようにしたことを特徴とする
電子線装置。 - 【請求項５】請求項１において、前記加熱用電源として
直流の電池を用いたことを特徴とする電子線装置。 - 【請求項６】電子線が照射される試料を保持し、かつ、
当該試料を加熱する加熱部材を有する電子線用試料ホル
ダーにおいて、直流電源と、該電源と上記加熱部材とを
接続する導線とを内蔵したことを特徴とする電子線装置
用試料ホルダー。 - 【請求項７】請求項６において、前記直流電源と前記加
熱部材との間に、上記直流電源からの給電をオン・オフ
するスイッチと当該給電量を可変する可変抵抗を内蔵し
たことを特徴とする電子線装置用試料ホルダー。 - 【請求項８】請求項６において、前記加熱部材は、前記
試料を支持する支持部材を兼ね、かつ、当該加熱部材を
ホルダーから取外し可能にしたことを特徴とする電子線
装置用試料ホルダー。 - 【請求項９】請求項６において、前記加熱部材の形状を
螺旋状とし、該螺旋の内側に前記試料を挿入するように
したことを特徴とする電子線装置用試料ホルダー。 - 【請求項１０】請求項６において、加熱された試料の蒸
発による汚染を防止するための遮蔽部材を備えたことを
特徴とする電子線装置用試料ホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5128688A JPH0644936A (ja) | 1992-05-29 | 1993-05-31 | 電子線装置、及び電子線装置用試料ホルダー |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-161946 | 1992-05-29 | ||
| JP16194692 | 1992-05-29 | ||
| JP5128688A JPH0644936A (ja) | 1992-05-29 | 1993-05-31 | 電子線装置、及び電子線装置用試料ホルダー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0644936A true JPH0644936A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=26464282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5128688A Pending JPH0644936A (ja) | 1992-05-29 | 1993-05-31 | 電子線装置、及び電子線装置用試料ホルダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644936A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6495838B1 (en) | 1998-07-23 | 2002-12-17 | Hitachi, Ltd. | Sample heating holder, method of observing a sample and charged particle beam apparatus |
| JP2008288161A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Hitachi High-Technologies Corp | マイクロサンプル加熱用試料台 |
| JP2009283477A (ja) * | 2009-09-04 | 2009-12-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線装置及び電子線装置用試料ホルダー |
| EP2240811A2 (en) * | 2007-12-21 | 2010-10-20 | Protochips, Inc. | Specimen mount for microscopy |
| CN102144130A (zh) * | 2008-10-08 | 2011-08-03 | 松下电器产业株式会社 | 燃气切断装置 |
| JP2013012454A (ja) * | 2010-09-16 | 2013-01-17 | Jfe Steel Corp | 電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー、およびそれを用いた試料加熱方法 |
-
1993
- 1993-05-31 JP JP5128688A patent/JPH0644936A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6495838B1 (en) | 1998-07-23 | 2002-12-17 | Hitachi, Ltd. | Sample heating holder, method of observing a sample and charged particle beam apparatus |
| JP2008288161A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Hitachi High-Technologies Corp | マイクロサンプル加熱用試料台 |
| US7700927B2 (en) | 2007-05-21 | 2010-04-20 | Hitachi High-Technologies Corporation | Heating stage for a micro-sample |
| EP2240811A2 (en) * | 2007-12-21 | 2010-10-20 | Protochips, Inc. | Specimen mount for microscopy |
| EP2240811A4 (en) * | 2007-12-21 | 2012-09-05 | Protochips Inc | SPECIMEN SUPPORT FOR MICROSCOPY |
| US9064672B2 (en) | 2007-12-21 | 2015-06-23 | Protochips, Inc. | Specimen mount for microscopy |
| CN102144130A (zh) * | 2008-10-08 | 2011-08-03 | 松下电器产业株式会社 | 燃气切断装置 |
| JP2009283477A (ja) * | 2009-09-04 | 2009-12-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線装置及び電子線装置用試料ホルダー |
| JP2013012454A (ja) * | 2010-09-16 | 2013-01-17 | Jfe Steel Corp | 電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー、およびそれを用いた試料加熱方法 |
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