JP4037576B2 - 蒸着装置を備えた走査形プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は蒸着装置に関し、走査形プローブ顕微鏡などに使用される蒸着装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
走査形トンネル顕微鏡(STM)や原子間力顕微鏡(AFM)などの走査形プローブ顕微鏡(SPM)は、現在、表面観察装置として必要不可欠な装置となっている。
【0003】
そして最近では、たとえばSi基板上に金や銅などの金属を蒸着させた直後の原子構造の並びを、走査形プローブ顕微鏡で観察したいという要求が高まっており、SPM本体が配置されている試料室の中に蒸着装置を備えた走査形プローブ顕微鏡の開発が行われている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、走査形プローブ顕微鏡の探針などに上述した蒸着が行われると、探針と試料間に流れるトンネル電流や、探針と試料間に働く原子間力が蒸着の前後で変化してしまい、試料観察が正確に行われなくなる。
【0005】
本発明はこのような点に鑑みて成されたもので、その目的は、試料表面のみに蒸着を行う蒸着装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成する本発明の蒸着装置を備えた走査形プローブ顕微鏡は、真空チャンバーと、該真空チャンバー内に配置され、探針を有する走査形プローブ顕微鏡本体と、前記真空チャンバー内に配置された蒸着源取付部と、該蒸着源取付部に取り付けられる蒸着源を蒸発させる手段と、前記蒸着源が蒸発して生成される蒸着物質を通過させる蒸着口を有し、前記蒸着源取付部を覆うように前記真空チャンバー内に配置された蒸着源カバーと、前記真空チャンバー内であって、前記蒸着口を通過した蒸着物質の通路上に配置された試料ステージを備え、前記走査形プローブ顕微鏡本体は、前記探針が前記試料ステージから遠ざかることが可能に構成されていることを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。
【0008】
図1は、本発明の蒸着装置の一例を示した図であり、蒸着装置を備えた走査形トンネル顕微鏡を示した図である。
【0009】
図1の装置構成について説明すると、1は蒸着容器である真空チャンバーであり、真空チャンバー1の内部、すなわち試料室2は図示しない排気装置により超高真空に排気されている。
【0010】
3は、試料室2に配置された基台であり、基台3は真空チャンバー1の内壁に固定されている。基台3上には走査形トンネル顕微鏡本体4が配置されており、走査形トンネル顕微鏡本体4は、基台3上に配置されたZ方向駆動機構5と、Z方向駆動機構5に固定された圧電走査素子6と、圧電走査素子6に取り付けられた探針ホルダ7と、探針ホルダ7に保持された探針8とから構成されている。前記Z方向駆動機構5はZ軸方向に移動可能であり、前記圧電走査素子6はX,YおよびZ軸方向に移動可能である。
【0011】
また、基台3上には、試料ステージであるXYステージ9が配置されており、XYステージ9はXおよびY軸方向に移動可能である。このXYステージ9には試料ホルダ10が取り付けられており、試料11が試料ホルダ10にセットされている。試料11は前記探針8に対向している。
【0012】
12は、基台3に開けられた蒸着物質通過孔であり、通過孔12は、Z方向駆動機構5とXYステージ9の間に設けられている。
【0013】
基台3を挟んで、前記走査形トンネル顕微鏡本体4の反対側には、蒸着装置13が配置されており、以下に蒸着装置13の構成について説明する。
【0014】
14は支持手段である真空フランジであり、真空フランジ14は、真空チャンバー1の取付孔(図示せず)に取り付けられている。この真空フランジ14には、真空側と大気側とを電気的に接続するための電流端子15,16が固定されており、電流端子15の真空側端部15aにはタングステンフィラメント17の一端が固定され、電流端子16の真空側端部16aにはタングステンフィラメント18の一端が固定されている。
【0015】
そして、タングステンフィラメント17と18の他端には蒸着源取付部19が固定されており、蒸着源取付部19は、タングステンフィラメント17,18と電流端子15,16を介して真空フランジ14に支持されている。この蒸着源取付部19は、タングステンフィラメントで籠状に編まれたものであり、その中に蒸着源である金20が入れられている。
【0016】
21は円筒状の蒸着防止カバーであり、蒸着防止カバー21は、前記真空側端部15a,16aを除いて電流端子15,16の真空側部分を覆うように、真空フランジ14の真空側に固定されている。
【0017】
また、22は円筒状の蒸着源カバーであり、蒸着源カバー22は、蒸着源取付部19、タングステンフィラメント17,18および蒸着防止カバー21を覆うように、真空フランジ14の真空側に取り付けられている。
【0018】
この蒸着源カバー22は二重底となっており、外底23には円形の蒸着口24が開けられており、内底25には円形の蒸着口26が開けられている。これらの蒸着口24,26は、前記蒸着源20が蒸発して生成される蒸着物質を試料11の方へ通過させるためのものである。
【0019】
27は蒸着源取付部加熱電源であり、加熱電源27は、電流端子15の大気側端部15bと、電流端子16の大気側端部16bに接続されている。
【0020】
以上、図1の装置構成について説明したが、次に、このような装置において、試料11の表面に金蒸着を行う場合について説明する。
【0021】
まず、オペレータは、蒸着源20を蒸着源取付部19に取り付け、蒸着源カバー22を真空フランジ14に取り付けてから真空フランジ14を真空チャンバー1に固定し、前記排気装置を動作させる。
【0022】
そして、オペレータは、探針8が試料11から遠ざかるようにZ方向駆動機構5を移動させ、試料室2が超高真空に排気されると、蒸着源取付部19に数A程度の電流が流れるように加熱電源27を制御する。
【0023】
この制御により蒸着源取付部19は通電加熱され、その中に入っている蒸着源20は加熱蒸発し、この蒸発によって生成された蒸着物質のうち、蒸着口26を通過してさらに蒸着口24を通過した蒸着物質は、蒸着装置13から試料11の方へ放出される。そして、蒸着装置13から放出された蒸着物質は、基台3の蒸着物質通過孔12を通過して、蒸着物質の進路上に配置された試料ステージ上の試料11に到達し、試料11の表面に金の薄膜が形成される。
【0024】
以上、図1の装置について説明したが、図1の蒸着装置においては、蒸着源は蒸着源カバーで覆われており、蒸着物質は、蒸着源と試料とを結ぶ直線上に位置する蒸着源カバーの蒸着口から試料の方へ放出されるので、蒸着物質は走査形トンネル顕微鏡本体に当たることなく試料に到達する。この結果、走査形トンネル顕微鏡本体に対してまったく蒸着が行われず、試料蒸着後においても正確にSTM観察を行うことができる。
【0025】
また、図1の蒸着装置においては、蒸着源カバーに2つの蒸着口が設けられて蒸着口が二段構造となっているので、蒸着装置から放出される蒸着物質の広がりは蒸着口1つの場合に比べて抑えられ、このような構成とすることも、走査形トンネル顕微鏡本体への蒸着を防ぐために重要である。
【0026】
また、図1の蒸着装置においては、生成された蒸着物質は、蒸着防止カバー21によってそのカバー内に入らない。このため、真空フランジ14の真空側部分に蒸着膜が形成されることはなく、電流端子15と電流端子16がその蒸着膜によって導通することはない。なお、電流端子15の真空側端部15aと蒸着防止カバー間、および電流端子16の真空側端部16aと蒸着防止カバー間にはわずかな隙間があるので、蒸着防止カバーに蒸着膜が形成されても、電流端子15と電流端子16がその蒸着膜によってつながることはない。
【0027】
次に、本発明の他の例を挙げる。
【0028】
図2は、本発明の蒸着装置の他の例を示した図である。図2において、図1と同一の構成要素には図1と同じ番号が付けられており、その説明を省略する。
【0029】
図2の蒸着装置の構成について説明すると、28は支持手段であり、支持手段28は、真空チャンバー1の取付孔(図示せず)に取り付けられている。
【0030】
この支持手段28には、真空側と大気側とを電気的に接続するための電流端子29,30が固定されており、電流端子29の真空側端部29aにはタングステンフィラメント17が固定され、電流端子30の真空側端部30aにはタングステンフィラメント18が固定されている。また、加熱電源27が、電流端子29の大気側端部と、電流端子30の大気側端部に接続されている。
【0031】
31は、支持手段28に設けられた覗き窓である。
【0032】
32は円筒状の蒸着防止カバーであり、蒸着防止カバー32は、前記真空側端部29a,30aを除いて電流端子29,30の真空側部分を覆うように、支持手段28に固定されている。
【0033】
この蒸着防止カバー32の底部の中心には、覗き穴33が開けられており、覗き穴33は、カバー32の外側から、すなわち蒸着源側から透明板34で塞がれている。透明板34は、ガラスあるいはテフロンなどの超高真空中でガス放出の少ない透明な板で出来ている。
【0034】
図3は、透明板34の蒸着防止カバー32への固定方法を説明するために示した図であり、図3(a)は、前記蒸着防止カバー32の底部を蒸着源側から見た図であり、図3(b)は図3(a)のA−B断面図である。
【0035】
図3において、35は板バネであり、板バネ35は止めネジ36によって蒸着防止カバー32に固定されている。そして、透明板34は、板バネ35でカバー32に押し付けられて蒸着防止カバー32に固定されている。なお、37は電流端子29の貫通孔であり、38は電流端子30の貫通孔である。
【0036】
また、図2に示すように、前記蒸着源カバー22は、支持手段28の真空側に取り付けられている。
【0037】
以上、図2の装置構成について説明したが、このような装置において、オペレータは覗き窓31を覗くと、覗き穴33から透明板34の向こう側の蒸着源取付部19を観察することができる。このため、オペレータは、蒸着源20が蒸着源取付部19にどのくらい残っているか、あるいは、蒸着源20が蒸着源取付部19から落下していないかどうかを確認でき、蒸着源が無くなった時には直ちに蒸着源を取付部19に取り付けることができる。
【0038】
また、図2の装置において、放射温度計などを覗き窓31の前に配置すれば、蒸着源20の温度を測定することができるので、蒸着源取付部19に電流を流し過ぎて蒸着源20を短時間にすべて飛ばしてしまうことがなくなる。
【0039】
また、従来においては、実際に蒸着源が何度に加熱されていたか分からなかったので、加熱電流を少しずつ増やしていき、試料に蒸着が行われたかどうかをSTM、AFMあるいはSEMなどにより観察しながら判断していたが、図2の装置を用いれば、放射温度計などにより蒸着源の温度がわかるので、それから試料に蒸着が行われたかどうかを容易に判断することができる。
【0040】
なお、前記透明板34によって、覗き窓31への蒸着が防止されているが、透明板34が蒸着によって透明度が落ちた場合には、支持手段28を真空チャンバー1から取り外し、蒸着源カバー22を支持手段28から外して透明板を新しいものに取り替えればよい。
【0041】
以上、図2の蒸着装置について説明したが、図2の装置においては透明板34が蒸着防止カバー32に固定されているが、それに代えて、覗き穴33を塞ぐように開閉可能な遮蔽板を蒸着防止カバー32に取り付けるようにしてもよい。そして、覗き窓31から蒸着源20を観察するときには、遮蔽板が覗き穴33を塞がないように遮蔽板を開け、また、蒸着源20を観察しないときは、遮蔽板が覗き穴33を塞ぐように遮蔽板を閉じればよい。
【0042】
また、図4に示すように、真空チャンバー1に覗き窓39を設け、その覗き窓39から蒸着源20が観察できるように、蒸着源カバー40に透明板41を取り付けるようにしてもよい。透明板41のカバー40への取り付け方は、前記図3に示した板バネ式などがある。なお、図4において、図1と同一の構成要素には図1と同じ番号が付けられている。
【0043】
また、図4の透明板41の位置に覗き穴を設け、その覗き穴を塞ぐように開閉可能な遮蔽板を蒸着源カバー40に取り付けるようにしてもよい。そして、覗き窓39から蒸着源20を観察するときには、遮蔽板が覗き穴を塞がないように遮蔽板を開け、また、蒸着源20を観察しないときは、遮蔽板が覗き穴を塞ぐように遮蔽板を閉じればよい。
【0044】
また、上記例においては、走査形トンネル顕微鏡本体が配置されているが、これに代えて、原子間力顕微鏡本体を配置するようにしてもよい。
【0045】
また、上記例においては、蒸着源取付部は、タングステンフィラメントで籠状に編まれて形成されているが、タングステンフィラメントをVの字に曲げたものを蒸着源取付部として用い、そのV字状の取付部に蒸着源を引っ掛けるようにしてもよい。
【0046】
また、上記例においては、蒸着源を通電加熱して蒸発させるようにしたが、蒸着源に電子ビームを照射して蒸着源を加熱し、蒸着源を蒸発させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の蒸着装置の一例を示した図である。
【図2】 本発明の蒸着装置の一例を示した図である。
【図3】 透明板の蒸着防止カバーへの固定方法を説明するために示した図である。
【図4】 本発明の蒸着装置の一例を示した図である。
【符号の説明】
1…真空チャンバー、2…試料室、3…基台、4…走査形トンネル顕微鏡本体、5…Z方向駆動機構、6…圧電走査素子、7…探針ホルダ、8…探針、9…XYステージ、10…試料ホルダ、11…試料、12…蒸着物質通過孔、13…蒸着装置、14…真空フランジ、15、16、29、30…電流端子、15a、16a、29a、30a…真空側端部、17、18…タングステンフィラメント、19…蒸着源取付部、20…蒸着源、21、32…蒸着防止カバー、22、40…蒸着源カバー、23…外底、24、26…蒸着口、25…内底、27…加熱電源、28…支持手段、31、39…覗き窓、33…覗き穴、34、41…透明板、35…板バネ、36…止めネジ、37、38…電流端子貫通孔
Claims (7)
- 真空チャンバーと、
該真空チャンバー内に配置され、探針を有する走査形プローブ顕微鏡本体と、
前記真空チャンバー内に配置された蒸着源取付部と、
該蒸着源取付部に取り付けられる蒸着源を蒸発させる手段と、
前記蒸着源が蒸発して生成される蒸着物質を通過させる蒸着口を有し、前記蒸着源取付部を覆うように前記真空チャンバー内に配置された蒸着源カバーと、
前記真空チャンバー内であって、前記蒸着口を通過した蒸着物質の通路上に配置された試料ステージを備え、
前記走査形プローブ顕微鏡本体は、前記探針が前記試料ステージから遠ざかることが可能に構成されている
ことを特徴とする蒸着装置を備えた走査形プローブ顕微鏡。 - 前記真空チャンバーに取り付けられた支持手段を更に備え、前記蒸着源取付部は該支持手段に支持され、前記蒸着源カバーは該支持手段に取り付けられることを特徴とする請求項1記載の蒸着装置を備えた走査形プローブ顕微鏡。
- 前記蒸着源取付部を前記真空チャンバーの外側から観察する手段を更に備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の蒸着装置を備えた走査形プローブ顕微鏡。
- 前記支持手段に設けられた覗き窓と、該覗き窓と前記蒸着源取付部の間に配置された透明板を更に備えたことを特徴とする請求項2記載の蒸着装置を備えた走査形プローブ顕微鏡。
- 前記支持手段に設けられた覗き窓と、該覗き窓と前記蒸着源取付部の間に配置された開閉可能な遮蔽板を更に備えたことを特徴とする請求項2記載の蒸着装置を備えた走査形プローブ顕微鏡。
- 前記真空チャンバーに設けられた覗き窓と、該覗き窓から前記蒸着源取付部が観察できるように、前記蒸着源カバーに取り付けられた透明板を更に備えたことを特徴とする請求項2記載の蒸着装置を備えた走査形プローブ顕微鏡。
- 前記真空チャンバーに設けられた覗き窓と、該覗き窓から前記蒸着源取付部が観察できるように、前記蒸着源カバーに開閉可能に取り付けられた遮蔽板を更に備えたことを特徴とする請求項2記載の蒸着装置を備えた走査形プローブ顕微鏡。
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