JP5476115B2 - グリッドを用いた試料ホルダ - Google Patents
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(1)請求項1記載の発明は、隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、試料を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔が穿たれ、その任意の領域にグリッドの回転を規制するための規制手段がそれぞれ設けられた上側グリッドおよび下側グリッドと、該グリッドが試料ホルダに位置決めされるために、試料ホルダに設けられたくぼみと、前記上側グリッドの規制手段と下側グリッドの規制手段に嵌り込む1本の共通の位置決め用ガイドピンと、試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリングと、を有して構成されることを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、前記規制手段は、グリッドの円周外縁の付近に設けられた円形の孔に前記ガイドピンが貫通する構成であることを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明によれば、試料ホルダに設けられたくぼみによりグリッドを試料ホルダに位置決めすることができ、更に上側グリッドの規制手段と下側グリッドの規制手段に嵌り込む1本の共通の位置決め用ガイドピンによりグリッドの回転を抑制すると共に、試料の上下に設けられたグリッドに形成された電子透過用孔の位置を合わせることができ、試料の上下に配置する隔膜を貼り付けたグリッドのアライメント調整を容易に行なうことができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、グリッドの円周外縁の付近に設けられた円形の孔にガイドピンを取り付けることで、グリッドの位置決めを正確に行なうことができる。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。図1は本発明の実施例1の構成例を示す段面図、図2はその上面図である。図において、30は試料ホルダ、31aは上側に設けたグリッド、31bは下側に設けたグリッド、32aはグリッド31aの位置決めをするためのくぼみ、32bはグリッド31bの位置決めをするためのくぼみである。
(実施例2)
図4は本発明の実施例2の上面図である。図2と同一のものは、同一の符号を付して示す。試料ホルダ30には、グリッド31a,31bを嵌め込むためのくぼみ32a,32bがある。くぼみ32a,32bにはガイドピン33を設ける。グリッド31a,31bにはガイドピン33が貫通するためのガイド孔34aを設け、回転方向の規制を加える。
(実施例3)
図5は本発明の実施例3の上面図である。図2と同一のものは、同一の符号を付して示す。試料ホルダ30には、グリッド31aを嵌め込むためのくぼみ32aがある。このくぼみ32aにはガイド壁38を設ける。グリッド31aにはガイド壁38に当接するガイドエッジ39を設け、回転方向の規制を加える。このガイドエッジ39は、グリッド31a,31bの円周外縁の一部をカットしたものであり、Dカットと称される。
(実施例4)
図6は本発明の実施例4の上面図、図7は試料ホルダにグリッドを取り付けた図である。グリッド41aと41bは試料ホルダ50に固定されている。また、グリッド41aと41bにはポスト45が入るアライメント用の孔46が空いている。このアライメント用孔46の加工精度はポスト45の加工公差に基づいて決めることができる。ポスト45の加工精度をφ0.5mm(−0.005mm,0)とした場合、アライメント用孔46の加工精度をφ0.3mm(0,0.005)程度とし、アライメント用孔46に確実にポスト45が入るように加工する。102と103は部材のビス止め、101はガスを流すガス配管である。
(実施例5)
前述した実施例4では、グリッド41内にアライメント用の孔46を組み込む必要があり、かつ試料ホルダ50にもポスト45を立てる必要があることから、アライメントは非常に簡単にできるものの、形状が複雑になる。そこで、実施例4におけるアライメント用孔46の代わりに、アライメント用のガイド48を、試料ホルダ50側にはポスト45の代わりにガイドピン49で対応する発明も実現した。
1)グリッドにガイドを形成することにより、上下のグリッド孔の微調整が簡単になり、グリッド組み込み・交換が容易になった。
3)隔膜型ガス雰囲気試料ホルダは、隔膜でガスと雰囲気を遮断する必要性から、隔膜を貼り付けるグリッドを試料の上下部分に配置する必要があり、この上下のグリッドのアライメントがずれていると、観察できる視野が狭くなったり、試料傾斜すると視野がグリッドと重なり観察できないことが課題であった。
31a グリッド
31b グリッド
32a くぼみ
32b くぼみ
33 ガイドピン
34 溝
35a Oリング
35b Oリング
36 試料
Claims (5)
- 隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、
試料を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔が穿たれ、その任意の領域にグリッドの回転を規制するための規制手段がそれぞれ設けられた上側グリッドおよび下側グリッドと、
該グリッドが試料ホルダに位置決めされるために、試料ホルダに設けられたくぼみと、
前記上側グリッドの規制手段と下側グリッドの規制手段に嵌り込む1本の共通の位置決め用ガイドピンと、
試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリングと、
を有して構成されることを特徴とするグリッドを用いた試料ホルダ。 - 前記規制手段は、グリッドの円周外縁に設けられた半円形の溝であることを特徴とする請求項1記載のグリッドを用いた試料ホルダ。
- 前記規制手段は、グリッドの円周外縁の付近に設けられた円形の孔に前記ガイドピンが貫通する構成であることを特徴とする請求項1記載のグリッドを用いた試料ホルダ。
- 隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、
試料を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔が穿たれ、その任意の領域に電子線透過用孔のアライメント用の位置決め手段がそれぞれ設けられた隔膜を貼り付けるための上側グリッドおよび下側グリッドと、
前記上側グリッドの位置決め手段内と下側グリッドの位置決め手段内を貫通する1本の共通のポストと、
試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリングと、
を有して構成されることを特徴とするグリッドを用いた試料ホルダ。 - 前記位置決め手段は丸い孔であることを特徴とする請求項4記載のグリッドを用いた試料ホルダ。
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