JPH11135048A - 電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに用いるメッシュ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 メッシュをメッシュ支持部材に挿入・固定す
る際に，メッシュが大きく動くことない固定構造とし，
かつメッシュや試料のセット状態を確認可能にすること
により，メッシュおよび試料の損傷を回避し，作業性の
向上を図ること。 【解決手段】 メッシュ１０３を，円形以外の外形形状
とし，試料ホルダー１００が，内側がメッシュ１０３を
挿入するためにメッシュ１０３の外形形状と同一あるい
は略同一の形状をなし，メッシュ１０３を押さえるため
の上部メッシュ押さえ部材１０１と，上部メッシュ押さ
え部材１０１の外側形状と同一形状で，かつ，上部メッ
シュ押さえ部材１０１が装着された後に，メッシュ１０
３を収容するための所定の間隙を形成する深さの開孔部
を有するメッシュ支持部材１０２と，から構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は，透過型電子顕微鏡
に用いる電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに用いる
メッシュに関し，より詳細には，観察・分析対象の薄膜
試料を載せるメッシュの装着・作業性の向上と装着時に
おける試料の損傷を回避する電子顕微鏡の試料ホルダー
およびそれに用いるメッシュに関する。

【０００２】

【従来の技術】図９および図１０に，従来における電子
顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに用いるメッシュの一
般的な構成を示す。図において，１はメッシュおよびワ
ッシャーを押さえるための上部メッシュ押さえ部材，２
はメッシュを挿入するための孔が設けられているメッシ
ュ支持部材，３は電子線通過孔，４はメッシュの上に挿
入されるワッシャー，５は試料を載せるためのメッシュ
である。

【０００３】以上のように構成された試料ホルダーは，
図示の如く，上部メッシュ押さえ部材２とメッシュ支持
部材１とが分離しており，これらはネジ（雄ネジ）とネ
ジ受け（孔部分が雌ネジ）の関係で装着する。すなわ
ち，メッシュ支持部材１の孔にメッシュ５を収容し，こ
の上にワッシャー４を載せ，上部メッシュ押さえ部材２
を専用治具で締結する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記に
示されるような従来の試料ホルダーにあっては，メッシ
ュを収容した後に固定する際に，上部メッシュ押さえ部
材やメッシュ自体が締結作業などによる回転力を受けて
動きやすいために，メッシュおよび試料の損傷を招来さ
せるという問題点があった。また，上部メッシュ押さえ
部材を上方から覆う状態で専用治具を使用してメッシュ
を固定するため，固定時においてメッシュおよび試料の
セット状態を正確に確認することが困難であったり，作
業時間がかかるなどの問題点があった。

【０００５】本発明は，上記に鑑みてなされたものであ
って，メッシュをメッシュ支持部材に挿入・固定する際
に，メッシュが大きく動くことない固定構造とし，かつ
メッシュや試料のセット状態を確認可能にすることによ
り，メッシュおよび試料の損傷を回避し，作業性の向上
を図ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに，請求項１に係る電子顕微鏡の試料ホルダーおよび
それに用いるメッシュにあっては，観察・分析対象の試
料を載せる多孔状のメッシュを所定位置に挿入・支持す
る電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに用いるメッシ
ュにおいて，前記メッシュを，円形以外の外形形状と
し，前記試料ホルダーが，内側が前記メッシュを挿入す
るために前記メッシュの外形形状と同一あるいは略同一
の形状をなし，前記メッシュを押さえるための上部メッ
シュ押さえ部材と，前記上部メッシュ押さえ部材の外側
形状と同一形状で，かつ，前記上部メッシュ押さえ部材
が装着された後に，前記メッシュを収容するための所定
の間隙を形成する深さの開孔部を有するメッシュ支持部
材と，から構成するものである。

【０００７】すなわち，請求項１の電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュによれば，メッシュ
を円形以外の外形形状，たとえば多角形，楕円形，円形
に所定形状を付加／削除した異形などの形状とし，メッ
シュを押さえる上部メッシュ押さえ部材の内側をメッシ
ュの外形形状と同一にし，さらにメッシュ支持部材が上
部メッシュ押さえ部材の外側形状と同一形状で，かつ，
上部メッシュ押さえ部材が装着された後に，メッシュを
収容するための所定の間隙を形成する深さの開孔部を有
する構造とし，メッシュを上部メッシュ押さえ部材の内
側の開孔部を通し，少し回転させて上記間隙に滑り込ま
せて収容することにより，メッシュを収容・固定する際
に，メッシュそのものが大きく動くことがなく，試料や
メッシュに損傷を与えることなく，しかも装着状態を確
認しながらの装着作業を行うことが可能となる。

【０００８】また，請求項２に係る電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュにあっては，観察・
分析対象の試料を載せる多孔状のメッシュを所定位置に
挿入・支持する電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに
用いるメッシュにおいて，前記メッシュを，円形以外の
外形形状とし，前記試料ホルダーが，外側が円柱形状を
なし，内側が前記メッシュを挿入するために前記メッシ
ュの外形形状と同一あるいは略同一の形状をなし，前記
メッシュを押さえるための上部メッシュ押さえ部材と，
前記上部メッシュ押さえ部材の外側形状と同一形状の第
１の開孔部と，前記上部メッシュ押さえ部材が装着され
た後に，前記メッシュを収容するための所定の間隙を形
成する第２の開孔部を有するメッシュ支持部材と，前記
上部メッシュ押さえ部材が前記メッシュ支持部材の開孔
部に挿入された状態で，前記上部メッシュ押さえ部材を
上方向から固定する固定部材と，から構成するものであ
る。

【０００９】すなわち，請求項２の電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュによれば，メッシュ
を円形以外の外形形状，たとえば多角形，楕円形，円形
に所定形状を付加／削除した異形などの形状とし，メッ
シュを押さえる上部メッシュ押さえ部材の外側を円柱形
状，内側をメッシュを挿入するためにメッシュの外形形
状とし，メッシュ支持部材に上部メッシュ押さえ部材の
外側形状と同一形状の第１の開孔部と，上部メッシュ押
さえ部材が装着された後に，メッシュを収容するための
所定の間隙を形成する第２の開孔部を設け，第１の開孔
部に上部メッシュ押さえ部材を挿入し，上部メッシュ押
さえ部材の内側形状を通してメッシュを第２の開孔部に
滑り込ませて収容し，さらに上部メッシュ押さえ部材を
固定部材で固定することにより，メッシュを収容・固定
する際に，メッシュそのものが大きく動くことがなく，
試料やメッシュに損傷を与えることなく，しかも装着状
態を確認しながらの装着作業を行うことが可能となる。

【００１０】また，請求項３に係る電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュにあっては，観察・
分析対象の試料を載せる多孔状のメッシュを所定位置に
挿入・支持する電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに
用いるメッシュにおいて，前記メッシュを，円形以外の
外形形状とし，前記試料ホルダーが，外側が円柱形状を
なし，内側が前記メッシュを挿入するために前記メッシ
ュの外形形状と同一あるいは略同一の形状をなし，前記
メッシュを押さえるための上部メッシュ押さえ部材と，
外側が円柱形状をなし，内側が前記メッシュを挿入する
ために前記メッシュの外形形状と同一あるいは略同一の
形状をなし，かつ前記メッシュの厚さと略同一厚さのス
ペーサと，前記上部メッシュ押さえ部材および前記スペ
ーサの外側形状と同一形状で，かつ前記上部メッシュ押
さえ部材および前記スペーサを収容する深さの開孔部を
有するメッシュ支持部材と，前記上部メッシュ押さえ部
材および前記スペーサが前記メッシュ支持部材の開孔部
に挿入された状態で，前記上部メッシュ押さえ部材を上
方向から固定する固定部材と，から構成するものであ
る。

【００１１】すなわち，請求項３の電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュによれば，メッシュ
を円形以外の外形形状，たとえば多角形，楕円形，円形
に所定形状を付加／削除した異形などの形状とし，メッ
シュを押さえる上部メッシュ押さえ部材の外側を円柱形
状，内側をメッシュを挿入するためにメッシュの外形形
状とし， メッシュ支持部材を，外側が円柱形状で，内
側がメッシュを挿入するためにメッシュの外形形状と同
一形状をなし，かつメッシュの厚さと略同一厚さのスペ
ーサと，上部メッシュ押さえ部材および前記スペーサの
外側形状と同一形状で，かつ上部メッシュ押さえ部材お
よびスペーサを収容する深さの開孔部とし，上部メッシ
ュ押さえ部材およびスペーサがメッシュ支持部材の開孔
部に挿入された状態で，上部メッシュ押さえ部材を上方
向から固定することにより，メッシュを収容・固定する
際に，メッシュそのものが大きく動くことがなく，試料
やメッシュに損傷を与えることなく，しかも装着状態を
確認しながらの装着作業を行うことが可能となる。

【００１２】また，請求項４に係る電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュにあっては，観察・
分析対象の試料を載せる多孔状のメッシュを所定位置に
挿入・支持する電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに
用いるメッシュにおいて，前記メッシュを，円形以外の
外形形状とし，前記試料ホルダーが，外側が円柱形状で
かつ側面にネジ溝を有し，内側が前記メッシュを挿入す
るために前記メッシュの外形形状と同一あるいは略同一
の形状をなし，前記メッシュを押さえるための上部メッ
シュ押さえ部材と，側面に前記上部メッシュ押さえ部材
を螺合するためのネジ溝を有し，前記上部メッシュ押さ
え部材が螺合・装着された後に，前記メッシュを収容す
るための所定の間隙を形成する開孔部を有するメッシュ
支持部材と，から構成するものである。

【００１３】すなわち，請求項４の電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュによれば，メッシュ
を円形以外の外形形状，たとえば多角形，楕円形，円形
に所定形状を付加／削除した異形などの形状とし，上部
メッシュ押さえ部材を，外側が円柱形状でかつ側面にネ
ジ溝を有し，内側がメッシュを挿入するためにメッシュ
の外形形状と同一形状をなし，メッシュ支持部材が，側
面に上部メッシュ押さえ部材を螺合するためのネジ溝を
有し，上部メッシュ押さえ部材が螺合・装着された後
に，メッシュを収容するための所定の間隙を形成する開
孔部を有することにより，上部メッシュ押さえ部材の螺
合状態によりメッシュを収容する間隙を調整可能に形成
し，この間隙にメッシュを滑り込ませる。

【００１４】また，請求項５に係る電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュにあっては，観察・
分析対象の試料を載せる多孔状のメッシュを所定位置に
挿入・支持する電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに
用いるメッシュにおいて，前記メッシュを，円形以外の
外形形状とし，前記試料ホルダーが，内側が前記メッシ
ュを挿入するために前記メッシュの外形形状と同一ある
いは略同一の形状をなし，前記メッシュを押さえるため
の上部メッシュ押さえ部材と，前記上部メッシュ押さえ
部材の外側形状と同一形状の開孔部と，前記メッシュと
同形状の溝と，を有するメッシュ支持部材と，から構成
するものである。

【００１５】すなわち，請求項５の電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュによれば，メッシュ
を円形以外の外形形状，たとえば多角形，楕円形，円形
に所定形状を付加／削除した異形などの形状とし，メッ
シュ支持部材に，上部メッシュ押さえ部材の外側形状と
同一形状の開孔部と，メッシュと同形状の溝とを設け，
この溝にメッシュを嵌め込むことにより，メッシュの位
置決めを行う。

【００１６】また，請求項６に係る電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュにあっては，観察・
分析対象の試料を載せる多孔状のメッシュを所定位置に
挿入・支持する電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに
用いるメッシュにおいて，前記メッシュを，円形以外の
外形形状とし，前記試料ホルダーが，内側が前記メッシ
ュを挿入するために前記メッシュの外形形状と同一ある
いは略同一の形状をなし，前記メッシュを押さえるため
の上部メッシュ押さえ部材と，前記上部メッシュ押さえ
部材の外側形状と同一形状で，かつ前記メッシュの凹部
（あるいは凸部）と嵌合する凸部（あるいは凹部）を設
けた段差状の開孔部を有するメッシュ支持部材と，から
構成するものである。

【００１７】すなわち，請求項６の電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュによれば，メッシュ
を円形以外の外形形状，たとえば多角形，楕円形，円形
に所定形状を付加／削除した異形などの形状とし，メッ
シュ支持部材に，上部メッシュ押さえ部材の外側形状と
同一形状で，かつメッシュの凹部（あるいは凸部）と嵌
合する凸部（あるいは凹部）を有する段差状の開孔部と
を設け，この段差状の開孔部の凸部（あるいは凹部）に
メッシュを嵌め込むことにより，メッシュの位置決めを
行う。

【００１８】また，請求項７に係る電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュにあっては，観察・
分析対象の試料を載せる多孔状のメッシュを所定位置に
挿入・支持する電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに
用いるメッシュにおいて，前記メッシュを，円形以外の
外形形状とし，前記試料ホルダーが，内側が前記メッシ
ュを挿入するために前記メッシュの外形形状と同一ある
いは略同一の形状をなし，前記メッシュを押さえるため
の上部メッシュ押さえ部材と，前記上部メッシュ押さえ
部材の外側形状と同一形状の開孔部を有するメッシュ支
持部材と，前記メッシュ支持部材の開孔部に挿入される
前記メッシュを下方から支持し，かつ前記メッシュを収
容する所定の間隙を形成させる下部メッシュ押さえ部材
と，から構成するものである。

【００１９】すなわち，請求項７の電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュによれば，メッシュ
を円形以外の外形形状，たとえば多角形，楕円形，円形
に所定形状を付加／削除した異形などの形状とし，上部
メッシュ押さえ部材が，内側がメッシュを挿入するため
にメッシュの外形形状と同一の形状をなし，下部メッシ
ュ押さえ部材によりメッシュを収容する所定の間隙を調
整・形成させ，メッシュ支持部材の開孔部に挿入される
メッシュを下方から支持する。

【００２０】また，請求項８に係る電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュにあっては，前記下
部メッシュ押さえ部材は，前記開孔部に対して上下方向
に螺合締結構造である。

【００２１】すなわち，請求項８の電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュによれば，請求項７
において，下部メッシュ押さえ部材を開孔部に対して上
下方向に螺合締結構造とすることにより，メッシュを収
容する間隙を微調整することが可能となる。

【００２２】また，請求項９に係る電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュにあっては，前記下
部メッシュ押さえ部材は，前記開孔部に対して上下方向
に外部締結部材を用いて装着されるものである。

【００２３】すなわち，請求項９の電子顕微鏡の試料ホ
ルダーおよびそれに用いるメッシュによれば，請求項７
において，外部締結部材を用いて下部メッシュ押さえ部
材を開孔部に対して上下方向に装着する構造とすること
により，メッシュを収容する間隙を微調整することが可
能となる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下，本発明の電子顕微鏡の試料
ホルダーおよびそれに用いるメッシュについて，添付図
面を参照して詳細に説明する。

【００２５】〔実施の形態１〕図１は，実施の形態１に
係る電子顕微鏡用試料ホルダーおよびそれに用いるメッ
シュ例を示す斜視図である。図において，電子顕微鏡に
用いられる試料ホルダー１００は，後述する上部メッシ
ュ押さえ部材１０１と，電子線を通過させるために直径
２〜３ｍｍ程度の電子線通過孔が設けられているメッシ
ュ支持部材１０２とを有している。また，略中央部分に
は所定の形状（後述する）の開孔部が設けられている。
１０３は上記開孔部に挿入し，セットされる開孔形状と
略同一形状（後述する）でなるメッシュである。

【００２６】試料ホルダー１００を構成する材料とし
て，たとえば，Ｃｕ（銅），Ａｕ（金），Ｎｉ（ニッケ
ル），Ａｇ（銀），Ｍｏ（モリブデン），Ａｌ（アルミ
ニウム），Ｔｉ（チタン），Ｗ（タングステン），Ｂｅ
（ベリリウム），真鍮（黄銅），ステンレス綱などが挙
げられる。

【００２７】また，メッシュ支持部材１０２の電子線通
過孔は，メッシュ１０３に対して０．５〜１ｍｍ程度小
さく，形状に制約はないが，好ましくは円形がよい。ま
た，上部メッシュ押さえ部材１０１の開孔部は，図２に
示すように，円形形状ではなく，たとえば，多角形，楕
円形，円形の一部を削除した形状，あるいは円形に所定
の形状を加えた形状などとし，開孔部の中でメッシュ１
０３が自在に動くことを阻止できる形状であればいずれ
であってもよい。

【００２８】すなわち，図２（ａ）では，上部メッシュ
押さえ部材１０１のメッシュ挿入孔２０１を円形の一部
を削除した形状とし，そのメッシュ挿入孔２０１に挿入
するメッシュ１０３をメッシュ挿入孔２０１と同一形状
あるいは略同一形状とする。図２（ｂ）では，メッシュ
挿入孔２０１を小判型とし，そのメッシュ挿入孔２０１
に挿入するメッシュ１０３をメッシュ挿入孔２０１と同
一形状あるいは略同一形状とする。図２（ｃ）および
（ｄ）では，メッシュ挿入孔２０１を円形に所定の形状
を加えた形状とし，そのメッシュ挿入孔２０１に挿入す
るメッシュ１０３をメッシュ挿入孔２０１と同一形状あ
るいは略同一形状とする。

【００２９】そして，図２に示すように，上部メッシュ
押さえ部材１０１のメッシュ挿入孔２０１に対応するメ
ッシュ１０３を挿入し，収容する。上部メッシュ押さえ
部材１０１とメッシュ支持部材１０２との間には，図３
に示す如く，メッシュ１０３の厚さより広い，０．１〜
０．５ｍｍ程度のスペース３０１が開いている。この収
容したメッシュ１０３を１／６〜１／４程度回転させ，
メッシュ押さえ部材１０１とメッシュ支持部材１０２と
の間のスペース３０１に滑り込ませることにより，メッ
シュ１０３を固定する。なお，図３における３０２は電
子線通過孔である。

【００３０】このように構成された上部メッシュ押さえ
部材１０１およびそれに用いるメッシュ１０３を用いて
試料を電子顕微鏡本体にセットする。そして，試料に電
子線を照射する。電子線は，メッシュ１０３の間隙や孔
を通して試料を通過し，電子線通過孔３０２を通過した
後，電子レンズ（図示せず）で拡大され，蛍光板あるい
はフィルム上に結像される。

【００３１】〔実施の形態２〕ここで，メッシュ１０３
は，試料ホルダー１００の上部メッシュ押さえ部材１０
１に開いている円形ではない孔と同形状（あるいは略同
形状）とする。メッシュ１０３を構成する材料として
は，たとえば，Ｃｕ（銅），Ａｕ（金），Ｎｉ（ニッケ
ル），Ａｇ（銀），Ｍｏ（モリブデン），Ａｌ（アルミ
ニウム），Ｔｉ（チタン），Ｗ（タングステン），ステ
ンレス綱などの金属材料，ナイロンなどの有機材料が挙
げられる。また，固体材料であれば特に限定するもので
はない。

【００３２】メッシュ１０３には，従来と同様に試料保
持部として開孔部が設けられている。この開孔部の形状
としては単孔状，スリット状，あるいは網目状などの形
状が挙げられ，試料を保持する形状であれば特に限定さ
れるものではない。

【００３３】メッシュ１０３の形状としては，試料ホル
ダー１００の上部メッシュ押さえ部材１０１に開いてい
る円形ではない孔と同形状（あるいは略同形状）とする
ために，先に説明した図２（ａ）〜（ｄ）に示す如く，
円形形状ではなく，たとえば，多角形，楕円形，円形の
一部を削除した形状，あるいは円形に所定の形状を加え
た形状などとする。この場合，試料ホルダー１００の上
部メッシュ押さえ部材１０１に装着できるものであれば
特に限定するものではない。また，メッシュ１０３は，
試料ホルダー１００の上部メッシュ押さえ部材１０１に
開いている孔に比べ，０．１〜０．５ｍｍ程度小さなも
のが好ましい。

【００３４】〔実施の形態３〕この実施の形態３では，
さらに上記実施の形態と同一の機能に加え，上部メッシ
ュ押さえ部材１０１は円柱形をなし，メッシュ支持部材
１０２には固定されない構成とする。図４は，実施の形
態３に係る試料ホルダーの構成を示す説明図である。図
４に示す如く，メッシュ支持部材１０２には，上部メッ
シュ押さえ部材１０１を収容させるために，直径および
深さ共に０．１〜０．３ｍｍ程度の余裕を持たせた円柱
形の第１の溝４０１を設け，かつ上部メッシュ押さえ部
材１０１を上方向から固定する押さえ板４０２を設け
る。これにより，上部メッシュ押さえ部材１０１を上下
方向に対してのみ固定することが可能となる。

【００３５】また，図４（ａ）に示すように，上部メッ
シュ押さえ部材１０１を収容する第１の溝４０１部分の
下部に，直径が第１の溝４０１に対し，０．５〜１ｍｍ
程度小さく，溝深さ０．５〜１ｍｍ程度の第２の溝４０
３を設け，メッシュ１０３を収容するためのスペースを
形成する。

【００３６】この他にメッシュ１０３を収容するスペー
スを確保する例について述べる。上記の第２の溝４０３
にはめ込み可能で，メッシュ１０３を収容するためのス
ペーサ４０４を用意する。このスペーサ４０４の形状例
を図５に示す。このスペーサ４０４はメッシュ１０３が
収容可能な同一形状あるいは略同一形状とし，メッシュ
１０３の外形に対して０．１〜０．５ｍｍ程度大きい孔
（図５（ａ）），あるいはメッシュ１０３より０．１〜
０．５ｍｍ程度大きな円形の孔（図５（ｂ））が開けら
れた円柱状とする。

【００３７】〔実施の形態４〕この実施の形態４では，
さらに上記実施の形態と同一の機能に加え，上部メッシ
ュ押さえ部材１０１は円柱形をなし，メッシュ支持部材
１０２には固定されない構成とする。図６は，実施の形
態４に係る試料ホルダーの構成を示す説明図であり，上
部メッシュ押さえ部材１０１の円柱形側面にネジ部（雄
ネジ）６０１を設ける。また，当然のことであるが，メ
ッシュ支持部材１０２の孔の内側にも上記のネジ部６０
１に対応するネジ溝（雌ネジ）が設けられている。

【００３８】このような構成とすることで，このメッシ
ュ支持部材１０２の孔に上部メッシュ押さえ部材１０１
を回転しながらはめ込み，この締結状態を加減すること
により，必要なスペース３０１を自在に調整することが
可能となる。

【００３９】〔実施の形態５〕この実施の形態５では，
メッシュ支持部材１０２に，メッシュ１０３と同形状の
溝，あるいはメッシュ１０３の一部分（凹部）と一致す
る凸起を設け，メッシュ１０３を装着した後，その回転
を阻止する例について述べる。

【００４０】図７は，実施の形態４に係る試料ホルダー
の構成を示す説明図であり，（ａ）はメッシュ１０３と
同形状の溝を設けた例，（ｂ）はメッシュ１０３の一部
分（凹部）と一致する凸起を設けた例をそれぞれ示して
いる。

【００４１】図７（ａ）では，メッシュ支持部材１０２
にメッシュ固定用溝７０１をメッシュ１０３の形状に合
わせた形状で設ける。すなわち，メッシュ支持部材１０
２に，多角形，楕円形，円形から一部分を削除した形，
あるいは円形に所定形状を付加した形などのメッシュ１
０３の形状に合致（あるいは略合致）させるメッシュ固
定用溝７０１を設ける。なお，このメッシュ固定用溝７
０１の深さは，好ましくはメッシュ１０３の厚さに対し
て０．１〜０３ｍｍ程度小さくする。これにより，メッ
シュ１０３の装着後の回転ずれを阻止し，メッシュ１０
３や試料の損傷を回避させる。

【００４２】他方，図７（ｂ）では，メッシュ支持部材
１０２にメッシュ１０３の一部分（凹部）と一致する凸
起７０２を設ける。なお，この凸起７０２の高さは，好
ましくはメッシュ１０３の厚さに対して０．１〜０３ｍ
ｍ程度小さくする。これにより，メッシュ１０３の装着
後の回転ずれを阻止し，メッシュ１０３や試料の損傷を
回避させる。

【００４３】〔実施の形態６〕この実施の形態６では，
メッシュ支持部材１０２の一部がネジとしての機能を有
し，試料の高さを微調整する例について述べる。

【００４４】図８は，実施の形態６に係る試料ホルダー
の構成を示す説明図であり，（ａ）は電子線通過孔を有
する下部メッシュ押さえ部材８０１をネジ構造とした
例，（ｂ）は電子線通過孔を有する下部メッシュ押さえ
部材８０１を複数のネジで締結・調整する例をそれぞれ
示している。

【００４５】図８（ａ）では，図示の如く，電子線通過
孔を有する下部メッシュ押さえ部材８０１の円柱形側面
をネジ形状（雄ネジ）とする。また，当然のことである
が，メッシュ支持部材１０２の孔の内側にも上記ネジ形
状に対応するネジ溝（雌ネジ）が設けられている。

【００４６】このような構成とすることで，このメッシ
ュ支持部材１０２の孔に下部メッシュ押さえ部材８０１
を回転しながらはめ込み，この締結状態を加減すること
により，メッシュ１０３を収容する必要なスペース３０
１を自在に調整することが可能となる。

【００４７】他方，図８（ｂ）では，図示の如く，電子
線通過孔を有する下部メッシュ押さえ部材８０１をメッ
シュ支持部材１０２に取り付ける際に，締結ネジ８０２
を用いる構成とする。

【００４８】このような構成とすることで，このメッシ
ュ支持部材１０２の孔に下部メッシュ押さえ部材８０１
をはめ込み，締結ネジ８０２の締結状態を加減すること
により，メッシュ１０３を収容する必要なスペース３０
１を自在に調整することが可能となる。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように，本発明に係る電子
顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに用いるメッシュ（請
求項１）によれば，メッシュを円形以外の外形形状，た
とえば多角形，楕円形，円形に所定形状を付加／削除し
た異形などの形状とし，メッシュを押さえる上部メッシ
ュ押さえ部材の内側をメッシュの外形形状と同一にし，
さらにメッシュ支持部材が上部メッシュ押さえ部材の外
側形状と同一形状で，かつ，上部メッシュ押さえ部材が
装着された後に，メッシュを収容するための所定の間隙
を形成する深さの開孔部を有する構造とし，メッシュを
上部メッシュ押さえ部材の内側の開孔部を通し，少し回
転させて上記間隙に滑り込ませて収容するため，メッシ
ュを収容・固定する際に，メッシュそのものが大きく動
くことがなく，試料やメッシュに損傷を与えることな
く，しかも装着状態を確認しながらの装着作業を行うこ
とができる。

【００５０】また，本発明に係る電子顕微鏡の試料ホル
ダーおよびそれに用いるメッシュ（請求項２）によれ
ば，メッシュを円形以外の外形形状，たとえば多角形，
楕円形，円形に所定形状を付加／削除した異形などの形
状とし，メッシュを押さえる上部メッシュ押さえ部材の
外側を円柱形状，内側をメッシュを挿入するためにメッ
シュの外形形状とし，メッシュ支持部材に上部メッシュ
押さえ部材の外側形状と同一形状の第１の開孔部と，上
部メッシュ押さえ部材が装着された後に，メッシュを収
容するための所定の間隙を形成する第２の開孔部を設
け，第１の開孔部に上部メッシュ押さえ部材を挿入し，
上部メッシュ押さえ部材の内側形状を通してメッシュを
第２の開孔部に滑り込ませて収容し，さらに上部メッシ
ュ押さえ部材を固定部材で固定するため，メッシュを収
容・固定する際に，メッシュそのものが大きく動くこと
がなく，試料やメッシュに損傷を与えることなく，しか
も装着状態を確認しながらの装着作業を行うことができ
る。

【００５１】また，本発明に係る電子顕微鏡の試料ホル
ダーおよびそれに用いるメッシュ（請求項３）によれ
ば，メッシュを円形以外の外形形状，たとえば多角形，
楕円形，円形に所定形状を付加／削除した異形などの形
状とし，メッシュを押さえる上部メッシュ押さえ部材の
外側を円柱形状，内側をメッシュを挿入するためにメッ
シュの外形形状とし， メッシュ支持部材を，外側が円
柱形状で，内側がメッシュを挿入するためにメッシュの
外形形状と同一形状をなし，かつメッシュの厚さと略同
一厚さのスペーサと，上部メッシュ押さえ部材および前
記スペーサの外側形状と同一形状で，かつ上部メッシュ
押さえ部材およびスペーサを収容する深さの開孔部と
し，上部メッシュ押さえ部材およびスペーサがメッシュ
支持部材の開孔部に挿入された状態で，上部メッシュ押
さえ部材を上方向から固定するため，メッシュを収容・
固定する際に，メッシュそのものが大きく動くことがな
く，試料やメッシュに損傷を与えることなく，しかも装
着状態を確認しながらの装着作業を行うことができる。

【００５２】また，本発明に係る電子顕微鏡の試料ホル
ダーおよびそれに用いるメッシュ（請求項４）によれ
ば，メッシュを円形以外の外形形状，たとえば多角形，
楕円形，円形に所定形状を付加／削除した異形などの形
状とし，上部メッシュ押さえ部材を，外側が円柱形状で
かつ側面にネジ溝を有し，内側がメッシュを挿入するた
めにメッシュの外形形状と同一形状をなし，メッシュ支
持部材が，側面に上部メッシュ押さえ部材を螺合するた
めのネジ溝を有し，上部メッシュ押さえ部材が螺合・装
着された後に，メッシュを収容するための所定の間隙を
形成する開孔部を有するため，上部メッシュ押さえ部材
の螺合状態によりメッシュを収容する間隙を調整可能に
形成し，この間隙にメッシュを滑り込ませることができ
る。したがって，メッシュを収容・固定する際に，メッ
シュそのものが大きく動くことがなく，試料やメッシュ
に損傷を与えることなく，しかも装着状態を確認しなが
らの装着作業を行うことができる。

【００５３】また，本発明に係る電子顕微鏡の試料ホル
ダーおよびそれに用いるメッシュ（請求項５）によれ
ば，メッシュを円形以外の外形形状，たとえば多角形，
楕円形，円形に所定形状を付加／削除した異形などの形
状とし，メッシュ支持部材に，上部メッシュ押さえ部材
の外側形状と同一形状の開孔部と，メッシュと同形状の
溝とを設け，この溝にメッシュを嵌め込むことにより，
メッシュの位置決めを行うため，メッシュを収容・固定
する際に，メッシュそのものが大きく動くことがなく，
試料やメッシュに損傷を与えることなく，しかも装着状
態を確認しながらの装着作業を行うことができる。

【００５４】また，本発明に係る電子顕微鏡の試料ホル
ダーおよびそれに用いるメッシュ（請求項６）によれ
ば，メッシュを円形以外の外形形状，たとえば多角形，
楕円形，円形に所定形状を付加／削除した異形などの形
状とし，メッシュ支持部材に，上部メッシュ押さえ部材
の外側形状と同一形状で，かつメッシュの凹部（あるい
は凸部）と嵌合する凸部（あるいは凹部）を有する段差
状の開孔部とを設け，この段差状の開孔部の凸部（ある
いは凹部）にメッシュを嵌め込むことにより，メッシュ
の位置決めを行うため，メッシュを収容・固定する際
に，メッシュそのものが大きく動くことがなく，試料や
メッシュに損傷を与えることなく，しかも装着状態を確
認しながらの装着作業を行うことができる。

【００５５】また，本発明に係る電子顕微鏡の試料ホル
ダーおよびそれに用いるメッシュ（請求項７）によれ
ば，メッシュを円形以外の外形形状，たとえば多角形，
楕円形，円形に所定形状を付加／削除した異形などの形
状とし，上部メッシュ押さえ部材が，内側がメッシュを
挿入するためにメッシュの外形形状と同一の形状をな
し，下部メッシュ押さえ部材によりメッシュを収容する
所定の間隙を調整・形成させ，メッシュ支持部材の開孔
部に挿入されるメッシュを下方から支持するため，メッ
シュを収容・固定する際に，メッシュそのものが大きく
動くことがなく，試料やメッシュに損傷を与えることな
く，しかも装着状態を確認しながらの装着作業を行うこ
とができる。

【００５６】また，本発明に係る電子顕微鏡の試料ホル
ダーおよびそれに用いるメッシュ（請求項８）によれ
ば，請求項７において，下部メッシュ押さえ部材を開孔
部に対して上下方向に螺合締結構造としたので，メッシ
ュを収容する間隙を微調整することができる。

【００５７】また，本発明に係る電子顕微鏡の試料ホル
ダーおよびそれに用いるメッシュ（請求項９）によれ
ば，請求項７において，外部締結部材を用いて下部メッ
シュ押さえ部材を開孔部に対して上下方向に装着する構
造としたので，メッシュを収容する間隙を微調整するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１に係る電子顕微鏡の試料ホルダー
およびそれに用いるメッシュ例を示す斜視図である。

【図２】実施の形態１および２に係る上部押さえ部材お
よび上部押さえ部材に対応するメッシュの形状例を示す
説明図である。

【図３】実施の形態１および２に係る電子顕微鏡用試料
ホルダーの構成・メッシュ装着例を示す説明図である。

【図４】実施の形態３に係る試料ホルダーの構成を示す
説明図である。

【図５】図４におけるスペーサの形状例を示す説明図で
あり，（ａ）はスペーサの孔形状をメッシュの円形から
一部を削除した形と同一形状とした例，（ｂ）はスペー
サの孔形状を円形とした例をそれぞれ示している。

【図６】実施の形態４に係る試料ホルダーの構成を示す
説明図である。

【図７】実施の形態４に係る試料ホルダーの構成を示す
説明図であり，（ａ）はメッシュと同形状の溝を設けた
例，（ｂ）はメッシュの一部分（凹部）と一致する凸起
を設けた例をそれぞれ示している。

【図８】実施の形態６に係る試料ホルダーの構成を示す
説明図であり，（ａ）は電子線通過孔を有する下部メッ
シュ押さえ部材をネジ構造とした例，（ｂ）は電子線通
過孔を有する下部メッシュ押さえ部材を複数のネジで締
結・調整する例をそれぞれ示している。

【図９】従来における電子顕微鏡の試料ホルダーのメッ
シュ支持部材の構成を示す説明図である。

【図１０】従来における電子顕微鏡の試料ホルダーのメ
ッシュ取付け例を示す説明図である。

【符号の説明】

１００ 試料ホルダー １０１ 上部メッシュ押さえ部材 １０２ メッシュ支持部材 １０３ メッシュ ２０１ メッシュ挿入孔 ３０１ スペース ３０２ 電子線通過孔 ４０１ 第１の溝 ４０２ 押さえ板 ４０３ 第２の溝 ４０４ スペーサ ６０１ ネジ部 ７０１ メッシュ固定用溝 ７０２ 凸起 ８０１ 下部メッシュ押さえ部材 ８０２ 締結ネジ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 観察・分析対象の試料を載せる多孔状の
   メッシュを所定位置に挿入・支持する電子顕微鏡の試料
   ホルダーおよびそれに用いるメッシュにおいて，前記メ
   ッシュを，円形以外の外形形状とし，前記試料ホルダー
   が，内側が前記メッシュを挿入するために前記メッシュ
   の外形形状と同一あるいは略同一の形状をなし，前記メ
   ッシュを押さえるための上部メッシュ押さえ部材と，前
   記上部メッシュ押さえ部材の外側形状と同一形状で，か
   つ，前記上部メッシュ押さえ部材が装着された後に，前
   記メッシュを収容するための所定の間隙を形成する深さ
   の開孔部を有するメッシュ支持部材と，から構成するこ
   とを特徴とする電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに
   用いるメッシュ。
2. 【請求項２】 観察・分析対象の試料を載せる多孔状の
   メッシュを所定位置に挿入・支持する電子顕微鏡の試料
   ホルダーおよびそれに用いるメッシュにおいて，前記メ
   ッシュを，円形以外の外形形状とし，前記試料ホルダー
   が，外側が円柱形状をなし，内側が前記メッシュを挿入
   するために前記メッシュの外形形状と同一あるいは略同
   一の形状をなし，前記メッシュを押さえるための上部メ
   ッシュ押さえ部材と，前記上部メッシュ押さえ部材の外
   側形状と同一形状の第１の開孔部と，前記上部メッシュ
   押さえ部材が装着された後に，前記メッシュを収容する
   ための所定の間隙を形成する第２の開孔部を有するメッ
   シュ支持部材と，前記上部メッシュ押さえ部材が前記メ
   ッシュ支持部材の開孔部に挿入された状態で，前記上部
   メッシュ押さえ部材を上方向から固定する固定部材と，
   から構成することを特徴とする電子顕微鏡の試料ホルダ
   ーおよびそれに用いるメッシュ。
3. 【請求項３】 観察・分析対象の試料を載せる多孔状の
   メッシュを所定位置に挿入・支持する電子顕微鏡の試料
   ホルダーおよびそれに用いるメッシュにおいて，前記メ
   ッシュを，円形以外の外形形状とし，前記試料ホルダー
   が，外側が円柱形状をなし，内側が前記メッシュを挿入
   するために前記メッシュの外形形状と同一あるいは略同
   一の形状をなし，前記メッシュを押さえるための上部メ
   ッシュ押さえ部材と，外側が円柱形状をなし，内側が前
   記メッシュを挿入するために前記メッシュの外形形状と
   同一あるいは略同一の形状をなし，かつ前記メッシュの
   厚さと略同一厚さのスペーサと，前記上部メッシュ押さ
   え部材および前記スペーサの外側形状と同一形状で，か
   つ前記上部メッシュ押さえ部材および前記スペーサを収
   容する深さの開孔部を有するメッシュ支持部材と，前記
   上部メッシュ押さえ部材および前記スペーサが前記メッ
   シュ支持部材の開孔部に挿入された状態で，前記上部メ
   ッシュ押さえ部材を上方向から固定する固定部材と，か
   ら構成することを特徴とする電子顕微鏡の試料ホルダー
   およびそれに用いるメッシュ。
4. 【請求項４】 観察・分析対象の試料を載せる多孔状の
   メッシュを所定位置に挿入・支持する電子顕微鏡の試料
   ホルダーおよびそれに用いるメッシュにおいて，前記メ
   ッシュを，円形以外の外形形状とし，前記試料ホルダー
   が，外側が円柱形状でかつ側面にネジ溝を有し，内側が
   前記メッシュを挿入するために前記メッシュの外形形状
   と同一あるいは略同一の形状をなし，前記メッシュを押
   さえるための上部メッシュ押さえ部材と，側面に前記上
   部メッシュ押さえ部材を螺合するためのネジ溝を有し，
   前記上部メッシュ押さえ部材が螺合・装着された後に，
   前記メッシュを収容するための所定の間隙を形成する開
   孔部を有するメッシュ支持部材と，から構成することを
   特徴とする電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに用い
   るメッシュ。
5. 【請求項５】 観察・分析対象の試料を載せる多孔状の
   メッシュを所定位置に挿入・支持する電子顕微鏡の試料
   ホルダーおよびそれに用いるメッシュにおいて，前記メ
   ッシュを，円形以外の外形形状とし，前記試料ホルダー
   が，内側が前記メッシュを挿入するために前記メッシュ
   の外形形状と同一あるいは略同一の形状をなし，前記メ
   ッシュを押さえるための上部メッシュ押さえ部材と，前
   記上部メッシュ押さえ部材の外側形状と同一形状の開孔
   部と，前記メッシュと同形状の溝と，を有するメッシュ
   支持部材と，から構成することを特徴とする電子顕微鏡
   の試料ホルダーおよびそれに用いるメッシュ。
6. 【請求項６】 観察・分析対象の試料を載せる多孔状の
   メッシュを所定位置に挿入・支持する電子顕微鏡の試料
   ホルダーおよびそれに用いるメッシュにおいて，前記メ
   ッシュを，円形以外の外形形状とし，前記試料ホルダー
   が，内側が前記メッシュを挿入するために前記メッシュ
   の外形形状と同一あるいは略同一の形状をなし，前記メ
   ッシュを押さえるための上部メッシュ押さえ部材と，前
   記上部メッシュ押さえ部材の外側形状と同一形状で，か
   つ前記メッシュの凹部（あるいは凸部）と嵌合する凸部
   （あるいは凹部）を設けた段差状の開孔部を有するメッ
   シュ支持部材と，から構成することを特徴とする電子顕
   微鏡の試料ホルダーおよびそれに用いるメッシュ。
7. 【請求項７】 観察・分析対象の試料を載せる多孔状の
   メッシュを所定位置に挿入・支持する電子顕微鏡の試料
   ホルダーおよびそれに用いるメッシュにおいて，前記メ
   ッシュを，円形以外の外形形状とし，前記試料ホルダー
   が，内側が前記メッシュを挿入するために前記メッシュ
   の外形形状と同一あるいは略同一の形状をなし，前記メ
   ッシュを押さえるための上部メッシュ押さえ部材と，前
   記上部メッシュ押さえ部材の外側形状と同一形状の開孔
   部を有するメッシュ支持部材と，前記メッシュ支持部材
   の開孔部に挿入される前記メッシュを下方から支持し，
   かつ前記メッシュを収容する所定の間隙を形成させる下
   部メッシュ押さえ部材と，から構成することを特徴とす
   る電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに用いるメッシ
   ュ。
8. 【請求項８】 前記下部メッシュ押さえ部材は，前記開
   孔部に対して上下方向に螺合締結構造であることを特徴
   とする請求項７に記載の電子顕微鏡の試料ホルダーおよ
   びそれに用いるメッシュ。
9. 【請求項９】 前記下部メッシュ押さえ部材は，前記開
   孔部に対して上下方向に外部締結部材を用いて装着され
   ることを特徴とする請求項７に記載の電子顕微鏡の試料
   ホルダーおよびそれに用いるメッシュ。