JPH09102293A - 電子顕微鏡用試料ホルダ - Google Patents
電子顕微鏡用試料ホルダInfo
- Publication number
- JPH09102293A JPH09102293A JP7258743A JP25874395A JPH09102293A JP H09102293 A JPH09102293 A JP H09102293A JP 7258743 A JP7258743 A JP 7258743A JP 25874395 A JP25874395 A JP 25874395A JP H09102293 A JPH09102293 A JP H09102293A
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- JP
- Japan
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- sample
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- sample holder
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- screw
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- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
Abstract
(57)【要約】
【課題】試料交換時における時間を短縮すると共に試料
の破損を防止する。 【解決手段】試料移動軸２の先端に設けられ、複数の試
料を載置する試料保持台３と、試料保持台３に回動自在
に取り付けられたカバー部材５と、カバー部材５の下面
に固定され、前記複数の試料を押さえる板バネ８と、試
料保持台３及びカバー部材５の先端に形成された雌ネジ
部と、該雌ネジ部に螺合する雄ネジ部を根元部及び先端
部に有するネジ９と、該ネジの先端部の雄ネジ部と前記
カバー部材５の雌ネジ部の間に装着されたスプリング１
３とを備えた手段。
の破損を防止する。 【解決手段】試料移動軸２の先端に設けられ、複数の試
料を載置する試料保持台３と、試料保持台３に回動自在
に取り付けられたカバー部材５と、カバー部材５の下面
に固定され、前記複数の試料を押さえる板バネ８と、試
料保持台３及びカバー部材５の先端に形成された雌ネジ
部と、該雌ネジ部に螺合する雄ネジ部を根元部及び先端
部に有するネジ９と、該ネジの先端部の雄ネジ部と前記
カバー部材５の雌ネジ部の間に装着されたスプリング１
３とを備えた手段。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透過型電子顕微鏡
において複数の試料を観察するための試料ホルダの技術
分野に属する。
において複数の試料を観察するための試料ホルダの技術
分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】現在、透過型電子顕微鏡においては、試
料ホルダに１個の試料を装填するタイプが標準である
が、２〜５個といった複数の試料を装填可能にし、真空
引きの作業を減少させ試料を効率的に観察する特殊な試
料ホルダも製作されている。
料ホルダに１個の試料を装填するタイプが標準である
が、２〜５個といった複数の試料を装填可能にし、真空
引きの作業を減少させ試料を効率的に観察する特殊な試
料ホルダも製作されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の試料ホルダにおいては、特殊なネジにより試料を１
個づつ直接押さえていく方法がとられているので、試料
交換に時間を要し、また、ネジの締め方が弱ければ試料
が移動してしまう恐れがあり、ネジの締め方が強ければ
試料が破損してしまうという問題を有している。
来の試料ホルダにおいては、特殊なネジにより試料を１
個づつ直接押さえていく方法がとられているので、試料
交換に時間を要し、また、ネジの締め方が弱ければ試料
が移動してしまう恐れがあり、ネジの締め方が強ければ
試料が破損してしまうという問題を有している。
【０００４】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
であって、試料交換時における時間を短縮すると共に試
料の破損を防止することができる電子顕微鏡用試料ホル
ダを提供することを目的とする。
であって、試料交換時における時間を短縮すると共に試
料の破損を防止することができる電子顕微鏡用試料ホル
ダを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電子顕微鏡用試料ホルダは、試料移動軸の
先端に設けられ、複数の試料を載置する試料保持台と、
該試料保持台に回動自在に取り付けられたカバー部材
と、該カバー部材の下面に固定され、前記複数の試料を
押さえる板バネと、前記試料保持台及びカバー部材の先
端に形成された雌ネジ部と、該雌ネジ部に螺合する雄ネ
ジ部を根元部及び先端部に有するネジと、該ネジの先端
部の雄ネジ部と前記カバー部材の雌ネジ部の間に装着さ
れたスプリングとを備えたことを特徴とする。
に、本発明の電子顕微鏡用試料ホルダは、試料移動軸の
先端に設けられ、複数の試料を載置する試料保持台と、
該試料保持台に回動自在に取り付けられたカバー部材
と、該カバー部材の下面に固定され、前記複数の試料を
押さえる板バネと、前記試料保持台及びカバー部材の先
端に形成された雌ネジ部と、該雌ネジ部に螺合する雄ネ
ジ部を根元部及び先端部に有するネジと、該ネジの先端
部の雄ネジ部と前記カバー部材の雌ネジ部の間に装着さ
れたスプリングとを備えたことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の態様】以下、本発明の実施の態様を図面
を参照しつつ説明する。図１及び図２は、本発明の電子
顕微鏡用試料ホルダの１例を示し、図１（Ａ）は試料ホ
ルダの平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＸ−Ｘ線に沿
って矢印方向に見た断面図、図２（Ａ）は図１の要部拡
大断面図、図２（Ｂ）は図１の板バネの平面図、図２
（Ｃ）は図２（Ｂ）のＹ−Ｙ線に沿って矢印方向に見た
断面図である。
を参照しつつ説明する。図１及び図２は、本発明の電子
顕微鏡用試料ホルダの１例を示し、図１（Ａ）は試料ホ
ルダの平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＸ−Ｘ線に沿
って矢印方向に見た断面図、図２（Ａ）は図１の要部拡
大断面図、図２（Ｂ）は図１の板バネの平面図、図２
（Ｃ）は図２（Ｂ）のＹ−Ｙ線に沿って矢印方向に見た
断面図である。
【０００７】図１において、試料ホルダ１は試料移動軸
２の先端に設けられ、電子顕微鏡本体内で軸方向に移動
可能にされ、試料移動軸２は図示しない球面軸受により
三次元的に移動可能に配設されている。
２の先端に設けられ、電子顕微鏡本体内で軸方向に移動
可能にされ、試料移動軸２は図示しない球面軸受により
三次元的に移動可能に配設されている。
【０００８】試料ホルダ１は、試料移動軸２の先端に設
けられた試料保持台３と、試料保持台３にピン４を介し
て回動自在に取り付けられたカバー部材５と、カバー部
材５の下面にネジ６により固定されたバネ支持板７と、
バネ支持板７の下面に接着により固定された板バネ８
と、試料保持台３及びカバー部材５の先端を固定するた
めのネジ９と、ネジ９とカバー部材５の間に装着された
スプリング１３とから構成されている。
けられた試料保持台３と、試料保持台３にピン４を介し
て回動自在に取り付けられたカバー部材５と、カバー部
材５の下面にネジ６により固定されたバネ支持板７と、
バネ支持板７の下面に接着により固定された板バネ８
と、試料保持台３及びカバー部材５の先端を固定するた
めのネジ９と、ネジ９とカバー部材５の間に装着された
スプリング１３とから構成されている。
【０００９】試料保持台３には、例えば５つの試料観察
用穴１０が形成され、試料保持台３の上面で試料観察用
穴１０の周囲には試料載置用の溝１１がリング状に形成
され、この溝１１に試料が載置される。カバー部材５及
びバネ支持板７には略矩形状の開口１２が形成されてい
る。
用穴１０が形成され、試料保持台３の上面で試料観察用
穴１０の周囲には試料載置用の溝１１がリング状に形成
され、この溝１１に試料が載置される。カバー部材５及
びバネ支持板７には略矩形状の開口１２が形成されてい
る。
【００１０】図２（Ａ）に示すように、ネジ９は、ネジ
頭部９ａ及び軸部９ｂを有し、軸部９ｂの先端部及び根
元部には軸部９ｂより大径の雄ネジ部９ｃ、９ｄが形成
されている。一方、試料保持台３及びカバー部材５の先
端には、それぞれネジ９の雄ネジ部９ｃ、９ｄが螺合す
る雌ネジ部３ａ、５ａが形成されている。そして、ネジ
９の雄ネジ部９ｃとカバー部材５の雌ネジ部５ａの間に
スプリング１３が装着されている。
頭部９ａ及び軸部９ｂを有し、軸部９ｂの先端部及び根
元部には軸部９ｂより大径の雄ネジ部９ｃ、９ｄが形成
されている。一方、試料保持台３及びカバー部材５の先
端には、それぞれネジ９の雄ネジ部９ｃ、９ｄが螺合す
る雌ネジ部３ａ、５ａが形成されている。そして、ネジ
９の雄ネジ部９ｃとカバー部材５の雌ネジ部５ａの間に
スプリング１３が装着されている。
【００１１】図２（Ｂ）及び図２（Ｃ）に示すように、
板バネ８は、試料載置用の溝１１に沿って、半円二股形
状の押さえ片８ａを対向させたものが、試料の数だけ
（本例では５つ）形成されるように、矩形状のプレート
を打ち抜き、また、両側に固定用切欠８ｂを設け、さら
に、押さえ片８ａの先端を下方に折り曲げて弾性を付与
させるようにしている。
板バネ８は、試料載置用の溝１１に沿って、半円二股形
状の押さえ片８ａを対向させたものが、試料の数だけ
（本例では５つ）形成されるように、矩形状のプレート
を打ち抜き、また、両側に固定用切欠８ｂを設け、さら
に、押さえ片８ａの先端を下方に折り曲げて弾性を付与
させるようにしている。
【００１２】上記構成からなる試料ホルダ１の試料の装
着方法について説明する。試料ホルダ１の試料載置用の
溝１１に複数の試料を載置した後、カバー部材５を回動
して試料保持台３に当接させ、ネジ９の雄ネジ部９ｃ、
９ｄをカバー部材５の雌ネジ部５ａ及び試料保持台３の
雌ネジ部３ａに螺合していくと、カバー部材５はスプリ
ング１３に抗して徐々に閉じると同時に、板バネ８の各
押さえ片８ａが徐々に試料を押さえていくので、試料の
破損を防止することができる。
着方法について説明する。試料ホルダ１の試料載置用の
溝１１に複数の試料を載置した後、カバー部材５を回動
して試料保持台３に当接させ、ネジ９の雄ネジ部９ｃ、
９ｄをカバー部材５の雌ネジ部５ａ及び試料保持台３の
雌ネジ部３ａに螺合していくと、カバー部材５はスプリ
ング１３に抗して徐々に閉じると同時に、板バネ８の各
押さえ片８ａが徐々に試料を押さえていくので、試料の
破損を防止することができる。
【００１３】試料交換時には、ネジ９を緩めていきネジ
９の雄ネジ部９ｄがカバー部材５の雌ネジ部５ａから離
れると、カバー部材５にスプリング１３のバネ力が作用
し、カバー部材５は徐々に開いていく。このとき、板バ
ネ８の押さえ片８ａは、押さえ片８ａのバネ力がスプリ
ング１３のバネ力に抑えられ、徐々に試料から離れるた
め、試料の破損を防止することができる。ネジ９の雄ネ
ジ部９ｃが試料保持台３の雌ネジ部３ａから離れると、
カバー部材５と試料保持台３間の隙間にピンセットを差
し込むことによりカバー部材５を持ち上げて試料を交換
する。このとき、ネジ９はカバー部材５から外れること
はないので、ネジ９をなくす恐れがない。
９の雄ネジ部９ｄがカバー部材５の雌ネジ部５ａから離
れると、カバー部材５にスプリング１３のバネ力が作用
し、カバー部材５は徐々に開いていく。このとき、板バ
ネ８の押さえ片８ａは、押さえ片８ａのバネ力がスプリ
ング１３のバネ力に抑えられ、徐々に試料から離れるた
め、試料の破損を防止することができる。ネジ９の雄ネ
ジ部９ｃが試料保持台３の雌ネジ部３ａから離れると、
カバー部材５と試料保持台３間の隙間にピンセットを差
し込むことによりカバー部材５を持ち上げて試料を交換
する。このとき、ネジ９はカバー部材５から外れること
はないので、ネジ９をなくす恐れがない。
【００１４】本発明によれば、複数の試料を一度に全
部、板バネにより押さえるだけで装填できるので、試料
の破損を防止し且つ試料交換時間を短縮することができ
る。また、試料保持台とカバー部材の間に板バネを介在
させているため、試料交換時に板バネによる試料の破損
を防止することができる。
部、板バネにより押さえるだけで装填できるので、試料
の破損を防止し且つ試料交換時間を短縮することができ
る。また、試料保持台とカバー部材の間に板バネを介在
させているため、試料交換時に板バネによる試料の破損
を防止することができる。
【図１】本発明の電子顕微鏡用試料ホルダの１例を示
し、図１（Ａ）は試料ホルダの平面図、図１（Ｂ）は図
１（Ａ）のＸ−Ｘ線に沿って矢印方向に見た断面図であ
る。
し、図１（Ａ）は試料ホルダの平面図、図１（Ｂ）は図
１（Ａ）のＸ−Ｘ線に沿って矢印方向に見た断面図であ
る。
【図２】図２（Ａ）は図１の要部拡大断面図、図２
（Ｂ）は図１の板バネの平面図、図２（Ｃ）は図２
（Ｂ）のＹ−Ｙ線に沿って矢印方向に見た断面図であ
る。
（Ｂ）は図１の板バネの平面図、図２（Ｃ）は図２
（Ｂ）のＹ−Ｙ線に沿って矢印方向に見た断面図であ
る。
１…試料ホルダ、２…試料移動軸、３…試料保持台、３
ａ…雌ネジ部 ５…カバー部材、５ａ…雌ネジ部、８…板バネ、８ａ…
押さえ片 ９…ネジ、９ｃ、９ｄ…雄ネジ部、１３…スプリング
ａ…雌ネジ部 ５…カバー部材、５ａ…雌ネジ部、８…板バネ、８ａ…
押さえ片 ９…ネジ、９ｃ、９ｄ…雄ネジ部、１３…スプリング
Claims (1)
- 【請求項１】試料移動軸の先端に設けられ、複数の試料
を載置する試料保持台と、該試料保持台に回動自在に取
り付けられたカバー部材と、該カバー部材の下面に固定
され、前記複数の試料を押さえる板バネと、前記試料保
持台及びカバー部材の先端に形成された雌ネジ部と、該
雌ネジ部に螺合する雄ネジ部を根元部及び先端部に有す
るネジと、該ネジの先端部の雄ネジ部と前記カバー部材
の雌ネジ部の間に装着されたスプリングとを備えたこと
を特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25874395A JP3340603B2 (ja) | 1995-10-05 | 1995-10-05 | 電子顕微鏡用試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25874395A JP3340603B2 (ja) | 1995-10-05 | 1995-10-05 | 電子顕微鏡用試料ホルダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09102293A true JPH09102293A (ja) | 1997-04-15 |
| JP3340603B2 JP3340603B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=17324473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25874395A Expired - Fee Related JP3340603B2 (ja) | 1995-10-05 | 1995-10-05 | 電子顕微鏡用試料ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3340603B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012169270A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-09-06 | Leica Mikrosysteme Gmbh | 試料作製のための装置及び方法 |
| EP2458616A3 (de) * | 2010-11-29 | 2013-11-27 | Leica Microsystems (Schweiz) AG | Halterung für einen elektronenmikroskopischen Probenträger |
| JP2017157544A (ja) * | 2016-03-01 | 2017-09-07 | 閤康生物科技股▲ふん▼有限公司Ｂｉｏ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ａｎａｌｙｓｉｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｉｎｃ． | サンプルホルダ及びその操作方法 |
| JP2019153509A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | 株式会社東芝 | イオン入射装置及び粒子線治療装置 |
| EP3790035A1 (en) * | 2019-09-05 | 2021-03-10 | Jeol Ltd. | Sample plate holder |
-
1995
- 1995-10-05 JP JP25874395A patent/JP3340603B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2458616A3 (de) * | 2010-11-29 | 2013-11-27 | Leica Microsystems (Schweiz) AG | Halterung für einen elektronenmikroskopischen Probenträger |
| JP2012169270A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-09-06 | Leica Mikrosysteme Gmbh | 試料作製のための装置及び方法 |
| JP2017157544A (ja) * | 2016-03-01 | 2017-09-07 | 閤康生物科技股▲ふん▼有限公司Ｂｉｏ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ａｎａｌｙｓｉｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｉｎｃ． | サンプルホルダ及びその操作方法 |
| JP2019153509A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | 株式会社東芝 | イオン入射装置及び粒子線治療装置 |
| EP3790035A1 (en) * | 2019-09-05 | 2021-03-10 | Jeol Ltd. | Sample plate holder |
| US11404239B2 (en) | 2019-09-05 | 2022-08-02 | Jeol Ltd. | Sample plate holder |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3340603B2 (ja) | 2002-11-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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