JP2011129443A - グリッドを用いた試料ホルダ - Google Patents
グリッドを用いた試料ホルダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011129443A JP2011129443A JP2009288677A JP2009288677A JP2011129443A JP 2011129443 A JP2011129443 A JP 2011129443A JP 2009288677 A JP2009288677 A JP 2009288677A JP 2009288677 A JP2009288677 A JP 2009288677A JP 2011129443 A JP2011129443 A JP 2011129443A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grid
- sample
- sample holder
- guide
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、試料36を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔37が穿たれ、その任意の領域にその回転を規制するための規制手段が設けられたグリッド31と、該グリッド31が試料ホルダ30に位置決めされるために、試料ホルダ30に設けられたくぼみ32と、前記規制手段に嵌り込む位置決め用ガイドピン33と、試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリング35とを有して構成される。
【選択図】図1
Description
(1)請求項1記載の発明は、隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、試料を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔が穿たれ、その任意の領域にグリッドの回転を規制するための規制手段が設けられたグリッドと、該グリッドが試料ホルダに位置決めされるために、試料ホルダに設けられたくぼみと、前記規制手段に嵌り込む位置決め用ガイドピンと、試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリングと、を有して構成されることを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、前記規制手段は、グリッドの円周外縁の付近に設けられた円形の孔に前記ガイドピンが貫通する構成であることを特徴とする。
(7)請求項7記載の発明は、隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、試料を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔が穿たれ、その任意の領域に電子線透過用孔のアライメント用の位置決め手段が設けられた隔膜を貼り付けるためのグリッドと、試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリングと、を有し、前記位置決め手段は、前記グリッドの円周外縁部に設けられたガイドと、該ガイドと当接するガイドピンから構成されることを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明によれば、試料ホルダに設けられたくぼみによりグリッドを試料ホルダに位置決めすることができ、更に溝に嵌り込む位置決め用ガイドピンによグリッドの回転を抑制すると共に、試料の上下に設けられたグリッドに形成された電子透過用孔の位置を合わせることができ、試料の上下に配置する隔膜を貼り付けたグリッドのアライメント調整を容易に行なうことができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、グリッドの円周外縁の付近に設けられた円形の孔にガイドピンを取り付けることで、グリッドの位置決めを正確に行なうことができる。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。図1は本発明の実施例1の構成例を示す段面図、図2はその上面図である。図において、30は試料ホルダ、31aは上側に設けたグリッド、31bは下側に設けたグリッド、32aはグリッド31aの位置決めをするためのくぼみ、32bはグリッド31bの位置決めをするためのくぼみである。
(実施例2)
図4は本発明の実施例2の上面図である。図2と同一のものは、同一の符号を付して示す。試料ホルダ30には、グリッド31a,31bを嵌め込むためのくぼみ32a,32bがある。くぼみ32a,32bにはガイドピン33を設ける。グリッド31a,31bにはガイドピン33が貫通するためのガイド孔34aを設け、回転方向の規制を加える。
(実施例3)
図5は本発明の実施例3の上面図である。図2と同一のものは、同一の符号を付して示す。試料ホルダ30には、グリッド31aを嵌め込むためのくぼみ32aがある。このくぼみ32aにはガイド壁38を設ける。グリッド31aにはガイド壁38に当接するガイドエッジ39を設け、回転方向の規制を加える。このガイドエッジ39は、グリッド31a,31bの円周外縁の一部をカットしたものであり、Dカットと称される。
(実施例4)
図6は本発明の実施例4の上面図、図7は試料ホルダにグリッドを取り付けた図である。グリッド41aと41bは試料ホルダ50に固定されている。また、グリッド41aと41bにはポスト45が入るアライメント用の孔46が空いている。このアライメント用孔46の加工精度はポスト45の加工公差に基づいて決めることができる。ポスト45の加工精度をφ0.5mm(−0.005mm,0)とした場合、アライメント用孔46の加工精度をφ0.3mm(0,0.005)程度とし、アライメント用孔46に確実にポスト45が入るように加工する。102と103は部材のビス止め、101はガスを流すガス配管である。
(実施例5)
前述した実施例4では、グリッド41内にアライメント用の孔46を組み込む必要があり、かつ試料ホルダ50にもポスト45を立てる必要があることから、アライメントは非常に簡単にできるものの、形状が複雑になる。そこで、実施例4におけるアライメント用孔46の代わりに、アライメント用のガイド48を、試料ホルダ50側にはポスト45の代わりにガイドピン49で対応する発明も実現した。
1)グリッドにガイドを形成することにより、上下のグリッド孔の微調整が簡単になり、グリッド組み込み・交換が容易になった。
3)隔膜型ガス雰囲気試料ホルダは、隔膜でガスと雰囲気を遮断する必要性から、隔膜を貼り付けるグリッドを試料の上下部分に配置する必要があり、この上下のグリッドのアライメントがずれていると、観察できる視野が狭くなったり、試料傾斜すると視野がグリッドと重なり観察できないことが課題であった。
31a グリッド
31b グリッド
32a くぼみ
32b くぼみ
33 ガイドピン
34 溝
35a Oリング
35b Oリング
36 試料
Claims (7)
- 隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、
試料を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔が穿たれ、その任意の領域にグリッドの回転を規制するための規制手段が設けられたグリッドと、
該グリッドが試料ホルダに位置決めされるために、試料ホルダに設けられたくぼみと、
前記規制手段に嵌り込む位置決め用ガイドピンと、
試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリングと、
を有して構成されることを特徴とするグリッドを用いた試料ホルダ。 - 前記規制手段は、グリッドの円周外縁に設けられた半円形の溝であることを特徴とする請求項1記載のグリッドを用いた試料ホルダ。
- 前記規制手段は、グリッドの円周外縁の付近に設けられた円形の孔に前記ガイドピンが貫通する構成であることを特徴とする請求項1記載のグリッドを用いた試料ホルダ。
- 隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、
試料を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔が穿たれ、その任意の領域にグリッドの回転を規制するための規制手段が設けられたグリッドと、
該グリッドが試料ホルダに位置決めされるために、試料ホルダに設けられたくぼみと、
試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリングと、
を有し、
前記規制手段は、前記くぼみに設けられたガイド壁と、グリッドの円周外縁の一部をカットして前記ガイド壁に当接するためのガイドエッジとを設けて構成されることを特徴とするグリッドを用いた試料ホルダ。 - 隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、
試料を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔が穿たれ、その任意の領域に電子線透過用孔のアライメント用の位置決め手段が設けられた隔膜を貼り付けるためのグリッドと、
前記グリッドの位置決め手段内を貫通するポストと、
試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリングと、
を有して構成されることを特徴とするグリッドを用いた試料ホルダ。 - 前記位置決め手段は丸い孔であることを特徴とする請求項5記載のグリッドを用いた試料ホルダ。
- 隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、
試料を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔が穿たれ、その任意の領域に電子線透過用孔のアライメント用の位置決め手段が設けられた隔膜を貼り付けるためのグリッドと、
試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリングと、
を有し、
前記位置決め手段は、前記グリッドの円周外縁部に設けられたガイドと、該ガイドと当接するガイドピンから構成されることを特徴とするグリッドを用いた試料ホルダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009288677A JP5476115B2 (ja) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | グリッドを用いた試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009288677A JP5476115B2 (ja) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | グリッドを用いた試料ホルダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011129443A true JP2011129443A (ja) | 2011-06-30 |
JP5476115B2 JP5476115B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=44291810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009288677A Active JP5476115B2 (ja) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | グリッドを用いた試料ホルダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5476115B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014017225A1 (ja) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡および電子顕微鏡用試料保持装置 |
WO2015025545A1 (ja) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 隔膜取付部材および荷電粒子線装置 |
US20150162164A1 (en) * | 2010-08-02 | 2015-06-11 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
US9837746B2 (en) | 2012-11-16 | 2017-12-05 | Protochips, Inc. | Method for forming an electrical connection to a sample support in an electron microscope holder |
KR101861124B1 (ko) * | 2013-11-12 | 2018-05-29 | 한국기초과학지원연구원 | 수분을 함유하고 있는 샘플을 tem에서 관찰할 수 있도록 tem 홀더에 장착되는 미세장치 |
US9997330B2 (en) | 2014-06-03 | 2018-06-12 | Protochips, Inc. | Method for optimizing fluid flow across a sample within an electron microscope sample holder |
CN109254025A (zh) * | 2018-11-02 | 2019-01-22 | 内蒙古工业大学 | 一种用于透射电镜样品粘贴环形载网的装置及方法 |
JPWO2021125010A1 (ja) * | 2019-12-16 | 2021-06-24 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06318445A (ja) * | 1993-01-18 | 1994-11-15 | Tanpaku Kogaku Kenkyusho:Kk | 電子顕微鏡等の試料ホルダ |
JPH08212957A (ja) * | 1995-02-02 | 1996-08-20 | Canon Inc | 電子顕微鏡用試料ホルダー |
JPH09129168A (ja) * | 1995-11-01 | 1997-05-16 | Jeol Ltd | 隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダ |
JPH11135048A (ja) * | 1997-10-29 | 1999-05-21 | Ricoh Co Ltd | 電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに用いるメッシュ |
JP2000133186A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-12 | Jeol Ltd | ガス雰囲気試料ホルダ |
JP2003187735A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Jeol Ltd | 試料ホルダ |
-
2009
- 2009-12-21 JP JP2009288677A patent/JP5476115B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06318445A (ja) * | 1993-01-18 | 1994-11-15 | Tanpaku Kogaku Kenkyusho:Kk | 電子顕微鏡等の試料ホルダ |
JPH08212957A (ja) * | 1995-02-02 | 1996-08-20 | Canon Inc | 電子顕微鏡用試料ホルダー |
JPH09129168A (ja) * | 1995-11-01 | 1997-05-16 | Jeol Ltd | 隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダ |
JPH11135048A (ja) * | 1997-10-29 | 1999-05-21 | Ricoh Co Ltd | 電子顕微鏡の試料ホルダーおよびそれに用いるメッシュ |
JP2000133186A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-12 | Jeol Ltd | ガス雰囲気試料ホルダ |
JP2003187735A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Jeol Ltd | 試料ホルダ |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10192714B2 (en) | 2010-08-02 | 2019-01-29 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
US20150162164A1 (en) * | 2010-08-02 | 2015-06-11 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
US9324539B2 (en) * | 2010-08-02 | 2016-04-26 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
US20160126056A1 (en) * | 2010-08-02 | 2016-05-05 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
US10043633B2 (en) * | 2010-08-02 | 2018-08-07 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
JP2016219442A (ja) * | 2010-08-02 | 2016-12-22 | プロトチップス,インコーポレイテッド | 2つの半導体デバイスでガスまたは液体セルを形成するための電子顕微鏡サンプルホルダ |
WO2014017225A1 (ja) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡および電子顕微鏡用試料保持装置 |
US9837746B2 (en) | 2012-11-16 | 2017-12-05 | Protochips, Inc. | Method for forming an electrical connection to a sample support in an electron microscope holder |
US9633817B2 (en) | 2013-08-23 | 2017-04-25 | Hitachi High-Technologies Corporation | Diaphragm mounting member and charged particle beam device |
US20160203941A1 (en) * | 2013-08-23 | 2016-07-14 | Hitachi-Technologies Corporation | Diaphragm Mounting Member and Charged Particle Beam Device |
WO2015025545A1 (ja) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 隔膜取付部材および荷電粒子線装置 |
KR101861124B1 (ko) * | 2013-11-12 | 2018-05-29 | 한국기초과학지원연구원 | 수분을 함유하고 있는 샘플을 tem에서 관찰할 수 있도록 tem 홀더에 장착되는 미세장치 |
US9997330B2 (en) | 2014-06-03 | 2018-06-12 | Protochips, Inc. | Method for optimizing fluid flow across a sample within an electron microscope sample holder |
US10373800B2 (en) | 2014-06-03 | 2019-08-06 | Protochips, Inc. | Method for optimizing fluid flow across a sample within an electron microscope sample holder |
CN109254025A (zh) * | 2018-11-02 | 2019-01-22 | 内蒙古工业大学 | 一种用于透射电镜样品粘贴环形载网的装置及方法 |
CN109254025B (zh) * | 2018-11-02 | 2023-09-22 | 内蒙古工业大学 | 一种用于透射电镜样品粘贴环形载网的装置及方法 |
JPWO2021125010A1 (ja) * | 2019-12-16 | 2021-06-24 | ||
WO2021125010A1 (ja) * | 2019-12-16 | 2021-06-24 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 立体像観察方法及びこれに用いる試料グリッド |
JP7304098B2 (ja) | 2019-12-16 | 2023-07-06 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 立体像観察方法及びこれに用いる試料グリッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5476115B2 (ja) | 2014-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5476115B2 (ja) | グリッドを用いた試料ホルダ | |
US20120182548A1 (en) | Nanofluidic cell | |
KR101607043B1 (ko) | 하전 입자선 장치 | |
JP2013535785A (ja) | インサイチュホルダーアセンブリ | |
US8933400B2 (en) | Inspection or observation apparatus and sample inspection or observation method | |
EP2131384B1 (en) | Hybrid phase plate | |
WO2014038287A1 (ja) | 荷電粒子線装置用部材、荷電粒子線装置および隔膜部材 | |
KR20100109489A (ko) | 가스 유로 구조체 및 기판 처리 장치 | |
JP2008510988A (ja) | 検査のためのサンプルエンクロージャ及びその使用方法 | |
EP2073250A2 (en) | Transmission electron microscope | |
JP6522133B2 (ja) | 観察支援ユニットおよびこれを用いた試料観察方法、荷電粒子線装置 | |
JP6232674B2 (ja) | インサイチュホルダーアセンブリ | |
Jensen et al. | Encapsulated liquid cells for transmission electron microscopy | |
JP2021044242A (ja) | 極低温電子顕微鏡用のサンプルを調製するための方法および装置 | |
JP5284699B2 (ja) | 電子顕微鏡の試料装置 | |
US9633817B2 (en) | Diaphragm mounting member and charged particle beam device | |
JP6364167B2 (ja) | 環境制御型荷電粒子観察システム | |
JP2016046501A (ja) | 露光装置 | |
JP2010097844A (ja) | 走査型電子顕微鏡およびその使用方法 | |
JP2017004786A (ja) | 電子顕微鏡観察用の試料保持チップ | |
WO2022219699A1 (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
KR101723922B1 (ko) | 시료 관찰 장치 및 커버 어셈블리 | |
JP4679398B2 (ja) | 電子顕微鏡及びその試料室に取り付られる部材 | |
JP2019091561A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP6668618B2 (ja) | 電子顕微鏡観察用の試料保持チップ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20111110 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120713 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130619 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140128 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5476115 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |