JP6010707B2 - 低速電子線回折検出モジュール及び走査型電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
101 真空エンベロープ
102 ドリフト管
103 エネルギーフィルタ(スクリーングリッド)
104 TiO2 導電層付きの燐光体コーティング
105 磁気レンズ(集束レンズ)
106 電位シールド
107 第1静電加速ギャップ
108 プローブ電子線
109 試料
110 加速電圧V1
111 加速電圧V2
112 エネルギーフィルタバイアス
113 CCDカメラ
114 光
115 光学レンズ
116 燐光体付きガラス窓
117 第2加速ギャップ
118 低速電子
120 電子
121 磁気レンズの電源
122 散乱電子
123 散乱電子
200 走査型電子顕微鏡
201 電子銃
202 SEM鏡筒
203 電子線
204 真空チャンバー
Claims (12)
- プローブ電子線を照射された試料からの回折電子を受けるための開口を一端に有する第1真空チャンバーと、
前記第1真空チャンバーを通った前記回折電子を受けるように前記第1真空チャンバーと一端で接続され、前記回折電子の移動方向に対する垂直方向における寸法が前記第1真空チャンバーの対応する寸法より大きい第2真空チャンバーと、
前記回折電子を検出するために、前記第1真空チャンバーが接続された前記第2真空チャンバーの前記一端とは反対の端部において前記第2真空チャンバー内に配置された2次元電子検出器と、
前記第1真空チャンバーの内側の表面と前記第2真空チャンバーの内側の表面におおよそ沿って配置された導電性材料により作られ、前記試料からの前記回折電子を加速して集束させるために第1加速電圧が印加されるように構成された電位シールドと、
前記2次元電子検出器に向かって前記第1真空チャンバーを通った前記回折電子の電子線を広げるように、前記第1真空チャンバーが前記第2真空チャンバーと接続された箇所に隣接して配置された磁気レンズと、
前記試料に作用する前記プローブ電子線より低いエネルギーの電子をはじき、前記電位シールドに対してギャップを有するように配置され、前記磁気レンズにより広げられた前記回折電子の電子線を平行にするように第2加速電圧が印加されるように構成された略平坦面形状のエネルギーフィルタと、を備える低速電子線回折(LEED)検出モジュール。 - 前記エネルギーフィルタは、互いに平行で前記回折電子の移動方向に対して垂直に配置された複数のスクリーングリッドを備える請求項1に記載されたLEED検出モジュール。
- 前記2次元電子検出器は、燐光体でコーティングされたガラス窓と、導電層とを備える請求項1に記載されたLEED検出モジュール。
- 前記エネルギーフィルタは、互いに平行で前記回折電子の移動方向に対して垂直に配置された3つのスクリーングリッドを備え、
前記3つのスクリーングリッドのうち、前記第1真空チャンバーに最も近い第1グリッド及び前記第1真空チャンバーから最も遠い第3グリッドは、前記第2加速電圧が印加されるように構成され、中央グリッドは、バイアス電圧が印加されるように構成されている請求項1に記載されたLEED検出モジュール。 - 前記2次元電子検出器は、前記回折電子と反応する燐光体でコーティングされたガラス窓と、導電層とを備え、
前記導電層は、前記第2加速電圧が印加されるように構成されている請求項4に記載されたLEED検出モジュール。 - 前記回折電子を受ける前記ガラス窓にコーティングされた前記燐光体により生成された画像をキャプチャするカメラをさらに備える請求項5に記載されたLEED検出モジュール。
- 前記カメラはCCDカメラである請求項6に記載されたLEED検出モジュール。
- 前記2次元電子検出器は、CCDカメラ、CMOSカメラ、及びCCD電子直接検出器の1つを含む請求項1に記載されたLEED検出モジュール。
- 前記第1真空チャンバー内を移動する前記回折電子の電子線を集束し、または平行にするように、前記第1真空チャンバー内に追加の磁気レンズをさらに備える請求項1に記載されたLEED検出モジュール。
- 前記第1及び第2真空チャンバーはともに略円筒形状を有し、前記第2真空チャンバーの直径は前記第1真空チャンバーの直径より大きい請求項1に記載されたLEED検出モジュール。
- 感度を向上させるように、前記2次元電子検出器の前方にマイクロチャンネルプレートをさらに備える請求項1に記載されたLEED検出モジュール。
- 低速電子線回折(LEED)検出機能を備える走査型電子顕微鏡(SEM)であって、
請求項1の前記LEED検出モジュールと、
前記試料を保持するための試料台を収容し、請求項1の前記LEED検出モジュールが挿入される開放フランジを有するSEMチャンバーと、
SEM解析に適した前記プローブ電子線を前記試料に向かって照射するSEM電子銃とを備え、
前記試料の表面に対する前記プローブ電子線の入射角、及び前記LEED検出モジュールの前記第1真空チャンバーの前記試料の前記表面に対する角度が等しくなるように、前記試料台は固定位置となるように回転自在である走査型電子顕微鏡。
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