JP7030089B2 - インプットレンズおよび電子分光装置 - Google Patents

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Description

本発明は、インプットレンズおよび電子分光装置に関する。
Ｘ線光電子分光装置やオージェ電子分光装置などの電子分光装置では、電子分光を行う。電子分光を行うための電子分光器としては、例えば、半球型アナライザーが知られている。このような電子分光器を用いる場合、電子発生源と電子分光器との間には、インプットレンズが配置される。インプットレンズは、電子の減速機能、結像機能、像倍率変換機能などを有する。
例えば、特許文献１には、所定物面位置から一定の開き角をもって出た電子に対して負の球面収差を有する拡大虚像を形成するように配置され、物面に対して凹面形状を有する光軸対称な回転楕円面からなるメッシュと、その像面側に光軸に同軸に配置され、拡大虚像の実像を形成し、正の球面収差を生じる収束電場を形成する同心面からなる複数の電極とを備えているレンズを備えたインプットレンズが開示されている。特許文献１では、光軸方向に長軸をもつ回転楕円面であり、かつ、回転楕円面における長軸半径と短軸半径との比を１．５：～２とする非球面メッシュを用いることによって、電子の取り込み立体角を±６０度程度まで大きくしている。
特許第４８０２３４０号
電子分光装置では、インプットレンズの電子の取り込み立体角が大きいほど、感度が大きくなる。そのため、電子の取り込み立体角が大きいインプットレンズが求められている。
（１）本発明に係るインプットレンズの一態様は、
電子分光装置において、電子発生源と電子分光器との間に配置されるインプットレンズであって、
基準電位の基準電極と、
スリットと、
前記基準電極と前記スリットとの間に配置された第１～第ｎ電極（ｎは３以上の整数）と、
前記第１電極に取付けられたメッシュと、
を含み、
前記第１～第ｎ電極は、光軸に沿ってこの順で配置され、
前記メッシュの電位は、前記基準電位よりも高く、
第ｍ電極（ｍ＝２，３，・・・，ｎ－１）と前記光軸との間の距離は、第ｍ－１電極と前記光軸との間の距離、および第ｍ＋１電極と前記光軸との間の距離よりも小さい。
このようなインプットレンズでは、メッシュの電位が基準電位よりも高いため、基準電極とメッシュとの間に、加速場の凸レンズを形成することができる。そのため、このようなインプットレンズでは、電子の取り込み立体角を大きくできる。
（２）本発明に係る電子分光装置の一態様は、
上記インプットレンズと、
電子分光器と、
を含み、
前記インプットレンズは、電子発生源と前記電子分光器との間に配置されている。
このような電子分光装置では、電子の取り込み立体角の大きいインプットレンズを含むため、電子の感度を向上できる。
第１実施形態に係るインプットレンズを模式的に示す断面図。 第２実施形態に係るインプットレンズを模式的に示す断面図。 第３実施形態に係るインプットレンズを模式的に示す断面図。 第３実施形態に係るインプットレンズの動作を説明するための図。 第３実施形態に係るインプットレンズの動作を説明するための図。 第３実施形態に係るインプットレンズの動作を説明するための図。 第４実施形態に係るインプットレンズを模式的に示す断面図。 第５実施形態に係るインプットレンズを模式的に示す断面図。 第６実施形態に係る電子分光装置の構成を示す図。
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
１． 第１実施形態
１．１． インプットレンズの構成
まず、第１実施形態に係るインプットレンズについて、図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係るインプットレンズ１００を模式的に示す断面図である。なお、図１では、電子の軌道を破線で示している。
インプットレンズ１００は、電子分光装置において、電子発生源Ｐ１と電子分光器との間に配置される。
インプットレンズ１００は、図１に示すように、基準電極Ｌ０と、第１電極Ｌ１と、第２電極Ｌ２と、第３電極Ｌ３と、第４電極Ｌ４と、第５電極Ｌ５と、・・・、第ｎ－１電極Ｌｎ－１と、第ｎ電極Ｌｎと、他のメッシュの一例としての第１メッシュＭ１と、メッシュの一例としての第２メッシュＭ２と、スリットＳと、を含む。
基準電極Ｌ０は、電子発生源Ｐ１側に配置される。基準電極Ｌ０は、インプットレンズ１００において、電子の入口を構成している。基準電極Ｌ０の形状は、筒状である。図示の例では、基準電極Ｌ０は、円錐台状である。基準電極Ｌ０の電位は、基準電位である。インプットレンズ１００では、基準電位は、接地電位である。基準電極Ｌ０には、第１メッシュＭ１が取り付けられている。インプットレンズ１００の光軸Ｏは、例えば、基準電極Ｌ０の中心軸である。
第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎは、基準電極Ｌ０とスリットＳとの間に配置されている。第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎは、光軸Ｏに沿ってこの順に配置されている。第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎの形状は、例えば、筒状であり、図示の例では、円筒状である。光軸Ｏは、例えば、第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎの中心軸である。基準電極Ｌ０、および第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎは、光軸Ｏを共通の中心軸とする。なお、インプットレンズ１００は、少なくと
も３つの電極を有していればよい。すなわち、ｎは３以上の整数である。
第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎは、図示の例では、電子発生源Ｐ１と、基準電極Ｌ０の入口側の端部と、を結ぶ直線Ｇを母線とする円錐の内側に配置されている。なお、図示はしないが、第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎは、当該円錐の外側に配置されていてもよい。
第１電極Ｌ１の電位は、基準電極Ｌ０の電位よりも高い。第１電極Ｌ１の電位は、正の電位である。第１電極Ｌ１には、正の電圧が印加される。第２～第ｎ電極Ｌ２～Ｌｎの電位は、電子分光条件に応じて設定可能である。第２～第ｎ電極Ｌ２～Ｌｎには、それぞれ正または負の電圧が印加される。
第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎに印加される電圧は、例えば、可変である。インプットレンズ１００は、図示はしないが、第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎに電圧を印加するための電源を備えている。
第１メッシュＭ１は、インプットレンズ１００において、電子の入口に配置されている。第１メッシュＭ１は、基準電極Ｌ０に取り付けられている。第１メッシュＭ１の電位は、基準電極Ｌ０の電位と同じである。すなわち、第１メッシュＭ１の電位は、接地電位である。第１メッシュＭ１は、平面メッシュである。第１メッシュＭ１は、静電シールドを構成する。第１メッシュＭ１は、インプットレンズ１００の先端からの電場の漏れを低減する。
第２メッシュＭ２は、第１電極Ｌ１に取り付けられている。第２メッシュＭ２の電位は、第１電極Ｌ１の電位と同じである。すなわち、第２メッシュＭ２の電位は、基準電極Ｌ０の電位よりも高い。
第２メッシュＭ２は、電子発生源Ｐ１に対して凹面形状を有している。第２メッシュＭ２の形状は、例えば、光軸Ｏを中心軸とする回転体面である。第２メッシュＭ２の形状は、例えば、光軸Ｏを中心軸とする回転楕円面である。第２メッシュＭ２は、例えば、回転楕円面として与えられるメッシュの形状を、球面収差が最小となるように微調整した非球面メッシュであってもよい。例えば、第２メッシュＭ２の形状は、回転楕円面における長軸ａと短軸ｂとの比ａ／ｂが１．５～２．０の範囲であってもよい。これにより、例えば、第２メッシュＭ２の形状が球面の場合と比べて、電子の取り込み立体角θを大きくできる（特許第４８０２３４０号参照）。
スリットＳは、インプットレンズ１００の出力部分である。すなわち、スリットＳは、インプットレンズ１００において、電子の出口を構成している。インプットレンズ１００において、電子はスリットＳを通って射出される。
なお、上記では、図１に示すように、第１電極Ｌ１に第２メッシュＭ２が取り付けられていたが、第１電極Ｌ１に加えて、第２～第ｎ電極Ｌ２のうちの少なくとも１つに第２メッシュＭ２と同様のメッシュが取り付けられてもよい。
１．２． インプットレンズの動作
電子発生源Ｐ１で発生した電子は、インプットレンズ１００に入射する。電子発生源Ｐ１から第１メッシュＭ１までは電位勾配がない。そのため、電子発生源Ｐ１と第１メッシュＭ１との間は、電子の軌道は直線状である。電子発生源Ｐ１で発生した電子は、第１メッシュＭ１を通過してインプットレンズ１００に入射する。
第１メッシュＭ１と第２メッシュＭ２との間、すなわち、基準電極Ｌ０と第２メッシュ
Ｍ２との間には、第２メッシュＭ２に正の電圧を印加することで形成される電場によって、加速場の凸レンズが形成される。そのため、第１メッシュＭ１と第２メッシュＭ２との間において、電子は光軸Ｏに向かって引き寄せられる。これにより、例えば第２メッシュＭ２の電位が基準電位である場合と比べて、電子の取り込み立体角θを大きくできる。
第２メッシュＭ２とスリットＳとの間には、第２～第ｎ電極Ｌ２～Ｌｎが形成する電場によって、静電レンズ系が形成される。
インプットレンズ１００では、基準電極Ｌ０の電位が基準電位であり、第２メッシュＭ２の電位が基準電位よりも高く設定される。第２メッシュＭ２の電位を基準電位よりも高くすることによって、基準電極Ｌ０と第２メッシュＭ２との間に形成される電場には、正の球面収差が生じる。そのため、この正の球面収差を打ち消すように、すなわち、第２～第ｎ電極Ｌ２～Ｌｎが形成する電場によって負の球面収差が生じるように、第２～第ｎ電極Ｌ２～Ｌｎに印加する電圧が設定される。
これにより、インプットレンズ１００では、第２～第ｎ電極Ｌ２～Ｌｎが形成する電場によって発生する負の球面収差で、基準電極Ｌ０と第２メッシュＭ２との間に形成される電場によって発生する正の球面収差を打ち消すことができる。この結果、電子発生源Ｐ１で発生した電子は、スリットＳ上に集束する。
また、第２メッシュＭ２に正の電圧を印加すると、すなわち、第２メッシュＭ２の電子を基準電位よりも高くすると、第２メッシュＭ２を通過するときの電子のエネルギーは第２メッシュＭ２の電位のぶんだけ大きくなる。そのため、第２～第ｎ電極Ｌ２～Ｌｎにて減速型のレンズを採用したとしても、色収差を小さくできる。
１．３． 効果
インプットレンズ１００は、例えば、以下の効果を有する。
インプットレンズ１００では、基準電位の基準電極Ｌ０と、スリットＳと、基準電極Ｌ０とスリットＳとの間に配置された第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎと、第１電極Ｌ１に取付けられた第２メッシュＭ２と、を含み、第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎは、光軸Ｏに沿ってこの順で配置され、第２メッシュＭ２の電位は、基準電位よりも高い。このように、インプットレンズ１００では、第２メッシュＭ２の電位は、基準電位よりも高いため、基準電極Ｌ０と第２メッシュＭ２との間に形成される電場によって、加速場の凸レンズが形成される。したがって、基準電極Ｌ０（第１メッシュＭ１）と第２メッシュＭ２との間において、電子は光軸Ｏに向かって引き寄せられる。したがって、インプットレンズ１００では、電子の取り込み立体角θを大きくできる。
インプットレンズ１００では、上記のように、第１メッシュＭ１と第２メッシュＭ２との間において、加速場の凸レンズの作用によって電子は光軸Ｏに向かって引き寄せられるため、基準電極Ｌ０の近傍を通る電子を取り込むことができる。そのため、インプットレンズ１００が占める空間の立体角、すなわち、直線Ｇを母線とする円錐の頂角と、電子の取り込み立体角θとを、ほぼ等しくできる。そのため、インプットレンズ１００では、装置の小型化を図ることができる。
インプットレンズ１００では、基準電極Ｌ０と第２メッシュＭ２との間に形成される電場によって、正の球面収差が生じ、第２～第ｎ電極Ｌ２～Ｌｎが形成する電場によって、負の球面収差が生じる。そのため、インプットレンズ１００では、球面収差を低減できる。したがって、インプットレンズ１００では、電子の取り込み立体角θが大きくなっても、スリットＳで結像できる。
インプットレンズ１００では、第２メッシュＭ２の電位が基準電位よりも高いため、上述したように、色収差を小さくできる。したがって、インプットレンズ１００では、インプットレンズ１００に入射した電子のエネルギー範囲が広くても、スリットＳで結像できる。
ここで、電子分光器のエネルギー分解能を高くした状態で動作させるためには、インプットレンズは減速器として使用することが一般的である。このとき、インプットレンズの分光作用はごくわずかで有り、インプットレンズの後段の電子分光器で分光する。しかし、インプットレンズを加速器として使用する場合、インプットレンズは電子分光器と同様、または電子分光器よりも高い分光作用を生じる。したがって、インプットレンズの色収差は、同時に取り込むことが可能なエネルギー範囲を制限できる。
インプットレンズ１００では、基準電極Ｌ０に取り付けられた第１メッシュＭ１を含む。そのため、インプットレンズ１００の先端からの電場の漏れを低減できる。
２． 第２実施形態
２．１． インプットレンズの構成
次に、第２実施形態に係るインプットレンズについて、図面を参照しながら説明する。図２は、第２実施形態に係るインプットレンズ２００を模式的に示す断面図である。以下、第２実施形態に係るインプットレンズ２００において、第１実施形態に係るインプットレンズ１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
インプットレンズ２００では、図２に示すように、第１電極Ｌ１は、基準電極Ｌ０の内面２から光軸Ｏに向かって突出している。第１電極Ｌ１には、正の電圧が印加され、電子は光軸Ｏに向かって引き寄せられる。そのため、第１電極Ｌ１が光軸Ｏに向かって突出していても、第１電極Ｌ１は、電子の経路を妨げない。したがって、インプットレンズ２００では、インプットレンズの先端部が大きくなることを防ぎつつ、第２メッシュＭ２を取り付けることができる。
第１電極Ｌ１を突出させることによって、第２メッシュＭ２の形状を変えることができる。第２メッシュＭ２の形状を変えることによって、第２メッシュＭ２が発生させる電場を変えることができ、レンズ作用を変えることができる。さらに、第１電極Ｌ１を突出させることによって、レンズ作用を変えることができる。このように、インプットレンズ２００では、第１電極Ｌ１の形状、および、第２メッシュＭ２の形状によって、レンズ作用を変えることができ、電子の軌道を制御できる。
第１電極Ｌ１の形状および第２メッシュＭ２の形状の変化に応じて、第２電極Ｌ２～第ｎ電極Ｌｎの形状も変化させる。図示の例では、第２電極Ｌ２が、第１電極Ｌ１と同様に、基準電極Ｌ０の内面２から光軸Ｏに向かって突出している。第１電極Ｌ１と光軸Ｏとの間の距離は、第２電極Ｌ２と光軸Ｏとの間の距離よりも小さい。
第１電極Ｌ１を突出させることによって、第２メッシュＭ２近傍の電位を細かく制御できる。さらに、第２電極Ｌ２を突出させることによって、第２メッシュＭ２近傍の電位をより細かく制御できる。
２．２． インプットレンズの動作
インプットレンズ２００の動作は、上述したインプットレンズ１００の動作と同じである。ただし、インプットレンズ２００では、第２メッシュＭ２の形状、第１電極Ｌ１の形
状、および第２電極Ｌ２の形状が異なるため、第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎに印加される電圧も異なる。
２．３． 効果
インプットレンズ２００は、例えば、以下の効果を有する。
インプットレンズ２００では、上述したインプットレンズ１００と同様の作用効果を奏する。さらに、インプットレンズ２００では、第１電極Ｌ１は、基準電極Ｌ０の内面２から光軸Ｏに向かって突出している。そのため、インプットレンズ２００の先端部を大きくすることなく、第１電極Ｌ１を配置することができる。したがって、インプットレンズ２００では、小型化を図ることができる。
３． 第３実施形態
３．１． インプットレンズの構成
次に、第３実施形態に係るインプットレンズについて、図面を参照しながら説明する。図３は、第３実施形態に係るインプットレンズ３００を模式的に示す断面図である。以下、第３実施形態に係るインプットレンズ３００において、第１実施形態に係るインプットレンズ１００および第２実施形態に係るインプットレンズ２００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
インプットレンズ３００では、第ｎ－１電極Ｌｎ－１と光軸Ｏとの間の距離が、第ｎ－２電極Ｌｎ－２と光軸Ｏとの間の距離、および第ｎ電極Ｌｎとの間の距離よりも小さい。第ｎ－１電極Ｌｎ－１は、図示の例では、光軸Ｏに向かって突出している突出部４を有している。これにより、第ｎ－１電極Ｌｎ－１と第ｎ－２電極Ｌｎ－２との間の電位差が小さく、かつ、第ｎ－１電極Ｌｎ－１と第ｎ電極Ｌｎとの間の電位差が小さい場合でも、第ｎ－１電極Ｌｎ－１近傍において、強いレンズ作用を生じさせることができる。
ここで、例えば、図２に示すインプットレンズ２００において、第ｎ－１電極Ｌｎ－１近傍において強いレンズ作用を生じさせるためには、第ｎ－１電極Ｌｎ－１に対して大きな電圧を印加しなければならない。しかしながら、第ｎ－１電極Ｌｎ－１に大きな電圧を印加した場合、隣り合う電極との間で電位差が大きくなり、放電が生じるなどの問題がある。インプットレンズ３００では、第ｎ－１電極Ｌｎ－１に突出部４を設けることで、隣り合う電極との間の電位差を小さくできるため、放電などの問題が生じる可能性を低減できる。
３．２． 動作
３．２．１． インプットレンズ内での結像
図４は、インプットレンズ３００の動作を説明するための図である。図４は、図３に対応している。
インプットレンズ３００では、図３に示すインプットレンズ３００内で結像しない場合と、図４に示すインプットレンズ３００内で結像する場合の２つの状態をつくることができる。
図３に示す例では、第ｎ－２電極Ｌｎ－２の電位、第ｎ－１電極Ｌｎ－１の電位、第ｎ電極Ｌｎの電位がほぼ等しく、第ｎ－２電極Ｌｎ－２から第ｎ電極Ｌｎでのレンズ作用は弱い。そのため、図３に示す例では、電子の軌道は、図２に示す例とほぼ同じであり、スリットＳで結像する。
図３に示すインプットレンズの状態から、第１電極Ｌ１～第ｎ電極Ｌｎに印加される電
圧を変化させることによって、図４に示すように、第ｎ－１電極Ｌｎ－１近傍、およびスリットＳの２点で結像させることができる。
インプットレンズ３００では、第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎに印加する電圧を制御することによって、図３に示すインプットレンズ内で結像しない場合と、図４に示すインプットレンズ内で結像する場合と、を切り替えることができる。インプットレンズ３００では、上述したように、第ｎ－１電極Ｌｎ－１と光軸Ｏとの間の距離が小さいため、第ｎ－１電極Ｌｎ－１近傍において、強いレンズ作用を生じさせることができる。そのため、第ｎ－１電極Ｌｎ－１近傍において、結像させることができる。
図４に示すように、インプットレンズ３００内に結像をつくる場合、結像の位置を変化させることによって、インプットレンズ３００の像倍率や角度倍率の設定範囲を広げることができる。電子分光のエネルギー分解能を変えるためにはインプットレンズの減速率を変える必要があるが、減速率に応じて像倍率や角度倍率を変えることによって、より広範囲の減速率に対して良好な電子分光が行える。ただし、インプットレンズ内に結像させると、像倍率や角度倍率の設定範囲を広くとれるという効果があるが、色収差も大きくなってしまう。したがって、電子分光条件に応じて、図３に示すインプットレンズ内で結像しない場合と、図４に示すインプットレンズ内で結像する場合と、を切り替える。
なお、上記では、第ｎ－１電極Ｌｎ－１に突出部４を設けて、第ｎ－１電極Ｌｎ－１と光軸Ｏとの間の距離を、第ｎ－２電極Ｌｎ－２と光軸Ｏとの間の距離、および第ｎ電極Ｌｎとの間の距離よりも小さくしたが、突出部４を設ける電極は、第２電極Ｌ２から第ｎ－１電極Ｌｎ－１のうちのいずれの電極であってもよい。すなわち、突出部４は、第ｍ電極Ｌｍ（ｍ＝２，３，・・・，ｎ－１）に設けられ、第ｍ電極Ｌｍと光軸Ｏとの間の距離は、第ｍ－１電極Ｌｍ－１と光軸Ｏとの間の距離、および第ｍ＋１電極Ｌｍ＋１と光軸Ｏとの間の距離よりも小さくてもよい。これにより、第ｍ電極Ｌｍ近傍において、強いレンズ作用を生じさせることができる。
３．２．２． 球面収差補正および色収差補正
図５および図６は、インプットレンズ３００の動作を説明するための図である。
インプットレンズ３００では、図５に示す球面収差補正レンズと、図６に示す加速型静電レンズと、を実現することができる。
図５に示すインプットレンズ３００を球面収差補正レンズとする場合、インプットレンズ３００の動作は、上述した図３に示す場合と同様である。すなわち、第２メッシュＭ２には、正の電圧が印加され、加速場の凸レンズが形成される。基準電極Ｌ０と第２メッシュＭ２との間に形成される電場によって生じる正の球面収差は、第２～第ｎ電極Ｌ２～Ｌｎが形成する電場によって生じる負の球面収差によって低減される。
図５には、電子発生源Ｐ１での電子のエネルギーをＥｋとし、スリットＳでの電子のエネルギーをＥｐとして、インプットレンズ３００において電子が５倍に加速される場合の電子の軌道を図示している。なお、軌道Ａは、Ｅｐ／Ｅｋ＝５．００×０．９５であり、軌道Ｂは、Ｅｐ／Ｅｋ＝５．００×１．００であり、軌道Ｃは、Ｅｐ／Ｅｋ＝５．００×１．０５である。
インプットレンズ３００を球面収差補正レンズとした場合、図５に示すように、球面収差を小さくできる。
図６に示すインプットレンズ３００を加速型静電レンズとする場合、インプットレンズ
３００では、図５に示す例と比べて、第１電極Ｌ１と第２電極Ｌ２との間の電位差が小さい。
第１電極Ｌ１と第２電極Ｌ２との間の電位差を小さくすると、球面収差補正の効果が小さくなり、インプットレンズ全体の球面収差は正となる。
さらに、第１電極Ｌ１と第２電極Ｌ２との間の電位差をゼロ、かつ、第２電極Ｌ２から第ｎ電極Ｌｎまでの電位差をゼロとした場合、第２メッシュＭ２以降の電子の軌道は直線となる。そのため、インプットレンズ全体の球面収差は正となる。この状態は、第２メッシュＭ２が無い状態に近く、一般的な加速型静電レンズの動作に近似する。
図６には、電子発生源Ｐ１での電子のエネルギーをＥｋとし、スリットＳでの電子のエネルギーをＥｐとして、インプットレンズ３００において電子が５倍に加速される場合の電子の軌道を図示している。なお、軌道Ａは、Ｅｐ／Ｅｋ＝５．００×０．９５であり、軌道Ｂは、Ｅｐ／Ｅｋ＝５．００×１．００であり、軌道Ｃは、Ｅｐ／Ｅｋ＝５．００×１．０５である。
第１電極Ｌ１と第２電極Ｌ２との間の電位差を小さくしてインプットレンズ３００を加速型静電レンズとした場合、図６に示すように、色収差を小さくできる。
なお、上記では、インプットレンズ３００において、電子が５倍に加速される場合について説明したが、これは一例であり、５倍に限定されない。
上記のように、インプットレンズ３００では、第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎに印加する電圧を制御することによって、図５に示すインプットレンズ３００を球面収差補正レンズとする場合と、図６に示すインプットレンズ３００を加速型静電レンズにする場合と、を切り替えることができる。
電子分光装置では、インプットレンズの球面収差が電子分光器の感度に直接関係し、インプットレンズの色収差が同時に取り込むことができる電子のエネルギー範囲に直接関係する。そのため、インプットレンズ３００を含む電子分光装置では、電子分光器の電子分光条件などに応じて、第１～第ｎ電極Ｌ１～Ｌｎに印加する電圧を制御することで、最適な条件で電子分光が可能である。
４． 第４実施形態
４．１． インプットレンズの構成
次に、第４実施形態に係るインプットレンズについて、図面を参照しながら説明する。図７は、第４実施形態に係るインプットレンズ４００を模式的に示す断面図である。以下、第４実施形態に係るインプットレンズ４００において、第１実施形態に係るインプットレンズ１００、第２実施形態に係るインプットレンズ２００、および第３実施形態に係るインプットレンズ３００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
インプットレンズ４００では、図７に示すように、接地電極Ｌｇを含む。接地電極Ｌｇは、基準電極Ｌ０の外側に配置されている。接地電極Ｌｇは、筒状であり、接地電極Ｌｇの内側に基準電極Ｌ０が配置されている。図示の例では、接地電極Ｌｇの内側には、基準電極Ｌ０、第１電極Ｌ１、第２電極Ｌ２が配置されている。接地電極Ｌｇの電位は、接地電位である。
インプットレンズ４００は、図示はしないが、基準電極Ｌ０に電圧を印加するための電
源を備えている。
４．２． インプットレンズの動作
インプットレンズ４００では、基準電位は正の電位である。すなわち、基準電極Ｌ０および第１メッシュＭ１には、正の電圧が印加される。基準電極Ｌ０および第１メッシュＭ１に正の電圧を印加することによって、電子発生源Ｐ１から電子を効率よく第１メッシュＭ１に導くことができる。基準電極Ｌ０の電圧変化を電子分光器の測定エネルギーに比例させると、電子発生源Ｐ１から第１メッシュＭ１への取り込み立体角は全てのエネルギー範囲で一定となる。
ここで、Ｘ線光電子分光装置のように、試料にＸ線を照射する場合、インプットレンズから漏れ出る電場が大きくなっても、試料に照射されるＸ線に影響はない。これに対して、オージェ電子分光装置のように、試料に電子線を照射する場合、インプットレンズから漏れ出る電場の影響によって、電子線が偏向されてしまう。
また、例えば、オージェ電子分光装置において、電子源に対物レンズを使用すると、対物レンズから漏れる磁場が試料付近まで到達する場合がある。特に、高空間分解能な装置では、作動距離、すなわち、対物レンズ下面と試料との間の距離が短くなり、試料付近の磁場はさらに大きくなる。このとき、試料で発生した電子、特に低エネルギーの電子は、磁場の影響で電子発生源Ｐ１から第１メッシュＭ１に到達しなくなり、電子分光器の感度が低下する。
インプットレンズ４００において、基準電極Ｌ０に正の固定値の電圧を印加すると、低エネルギーの電子を選択的に第１メッシュＭ１に引き込むことができる。そのため、対物レンズの磁場に由来する電子分光器の感度の低下を低減できる。また、第１メッシュＭ１に印加する電圧を大きくすることによって、低エネルギーの電子の感度を選択的に向上させることができる。
例えば、オージェ電子分光装置において、微小領域の観察や分析には電子線の線幅を細くすればよい。この場合、対物レンズをアウトレンズからセミインレンズ、さらにはインレンズにする必要がある。このとき、従来のインプットレンズを用いた場合、試料から放出される二次電子や、反射電子、オージェ電子は、対物レンズからの漏れ磁場によりインプットレンズに入射することができなくなり、電子分光器において感度が低下してしまう場合がある。特に、低エネルギーの電子に対する感度が低下してしまう。
これに対して、インプットレンズ４００では、上述したように、基準電極Ｌ０に正の電圧を印加することによって、低エネルギーの電子を第１メッシュＭ１に引き込むことができる。そのため、オージェ電子分光装置において、対物レンズがセミインレンズやインレンズである場合でも、電子検出器における感度の低下を低減できる。
５． 第５実施形態
次に、第５実施形態に係るインプットレンズについて、図面を参照しながら説明する。図８は、第５実施形態に係るインプットレンズ５００を模式的に示す断面図である。以下、第５実施形態に係るインプットレンズ５００において、第１実施形態に係るインプットレンズ１００、第２実施形態に係るインプットレンズ２００、第３実施形態に係るインプットレンズ３００、および第４実施形態に係るインプットレンズ４００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
インプットレンズ５００は、図８に示すように、第１メッシュＭ１を有していない。第１メッシュＭ１を取り外すことによって、第１メッシュＭ１が取り付けられている場合と
比べて、電子検出器の感度を向上できる。具体的には、第１メッシュＭ１の電子の透過率は１００％でないため、「１－透過率」の分だけ、電子検出器の感度を向上できる。
第１メッシュＭ１を取り外すと、インプットレンズ５００の先端からの漏れ電場が変化する。この漏れ電場は、例えば、基準電極Ｌ０に印加する電圧で調整できる。
６． 第６実施形態
次に、第６実施形態に係る電子分光装置について、図面を参照しながら説明する。図９は、第６実施形態に係る電子分光装置１０００の構成を示す図である。
電子分光装置１０００は、オージェ電子分光により試料６の分析を行うための装置である。オージェ電子分光とは、電子線等により励起されて試料６から放出されるオージェ電子のエネルギーを測定することによって、元素分析を行う手法である。
電子分光装置１０００は、図９に示すように、電子源１０と、光学系２０と、試料ステージ３０と、インプットレンズ１００と、電子分光器４０と、検出器５０と、を含む。
電子源１０は、電子線を発生させる。電子源１０は、例えば、陰極から放出された電子を陽極で加速し電子線を放出する電子銃である。光学系２０は、電子源１０から放出された電子線を試料６に照射する。光学系２０は、集束レンズ２２と、対物レンズ２４と、偏向器２６と、を含む。
集束レンズ２２および対物レンズ２４は、電子源１０から放出された電子線を集束させる。集束レンズ２２および対物レンズ２４によって電子源１０から放出された電子線を集束させることで電子プローブを形成することができる。偏向器２６は、集束レンズ２２および対物レンズ２４によって集束された電子線を偏向させる。偏向器２６は、例えば、電子線を試料６上で走査するために用いられる。
試料ステージ３０は、試料６を保持している。試料ステージ３０は、試料６を水平方向に移動させる水平方向移動機構、試料６を高さ方向に移動させる高さ方向移動機構、および試料６を傾斜させる傾斜機構を備えている。試料ステージ３０によって、試料６を位置決めすることができる。
電子分光器４０は、電子線が試料６に照射されることによって試料６から発生するオージェ電子を分光する。電子分光器４０は、例えば、静電半球型アナライザーである。
試料６に電子線が照射されてオージェ電子が発生する電子発生源と、電子分光器４０との間には、インプットレンズ１００が配置されている。インプットレンズ１００は、入射した電子を取り込んで、電子分光器４０に導く。例えば、インプットレンズ１００は、電子を減速させることによってエネルギー分解能を可変にする。インプットレンズ１００において、電子を減速させるほど分解能は良くなるが、感度は低下する。
電子分光器４０は、内半球電極と、外半球電極と、を有している。電子分光器４０では、内半球電極と外半球電極との間に電圧を印加することで、印加した電圧に応じたエネルギー範囲の電子を取り出すことができる。検出器５０は、電子分光器４０で分光された電子を検出する。
電子分光装置１０００では、電子の取り込み立体角θの大きいインプットレンズ１００を含むため、試料から放出されるオージェ電子を感度よく検出できる。
なお、上記では、電子分光装置１０００がインプットレンズ１００を含む場合について説明したが、電子分光装置１０００は、上述したインプットレンズ２００，３００，４００を含んでいてもよい。
また、上記では、電子分光装置１０００がオージェ電子分光装置である場合について説明したが、電子分光装置１０００は、Ｘ線光電子分光装置などのその他の電子分光装置であってもよい。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、さらに種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成を含む。実質的に同一の構成とは、例えば、機能、方法、及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成である。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
２…内面、４…突出部、６…試料、１０…電子源、２０…光学系、２２…集束レンズ、２４…対物レンズ、２６…偏向器、３０…試料ステージ、４０…電子分光器、５０…検出器、１００…インプットレンズ、２００…インプットレンズ、３００…インプットレンズ、４００…インプットレンズ、５００…インプットレンズ、１０００…電子分光装置、Ｌ０…基準電極、Ｌ１…第１電極、Ｌ２…第２電極、Ｌ３…第３電極、Ｌ４…第４電極、Ｌ５…第５電極、Ｌｎ－１、第Ｌｎ－１電極、Ｌｎ…第ｎ電極、Ｌｇ…接地電極、Ｍ１…第１メッシュ、Ｍ２…第２メッシュ、Ｏ…光軸、Ｐ１…電子発生源、Ｓ…スリット

Claims (9)

  1. 電子分光装置において、電子発生源と電子分光器との間に配置されるインプットレンズであって、
    基準電位の基準電極と、
    スリットと、
    前記基準電極と前記スリットとの間に配置された第１～第ｎ電極（ｎは３以上の整数）と、
    前記第１電極に取付けられたメッシュと、
    を含み、
    前記第１～第ｎ電極は、光軸に沿ってこの順で配置され、
    前記メッシュの電位は、前記基準電位よりも高く、
    第ｍ電極（ｍ＝２，３，・・・，ｎ－１）と前記光軸との間の距離は、第ｍ－１電極と前記光軸との間の距離、および第ｍ＋１電極と前記光軸との間の距離よりも小さい、インプットレンズ。
  2. 請求項１において、
    前記基準電極と前記メッシュとの間に形成される電場によって、正の球面収差が生じ、
    前記第２～第ｎ電極が形成する電場によって、負の球面収差が生じる、インプットレンズ。
  3. 請求項１または２において、
    前記基準電極および前記第１～第ｎ電極は筒状であり、
    前記第１電極は、前記基準電極の内面から前記光軸に向かって突出している、インプットレンズ。
  4. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
    前記第１～第ｎ電極に印加される電圧は、可変である、インプットレンズ。
  5. 請求項１ないし４のいずれか１項において、
    前記基準電極に取り付けられた他のメッシュを含む、インプットレンズ。
  6. 請求項１ないし５のいずれか１項において、
    前記基準電位は、正の電位である、インプットレンズ。
  7. 請求項６において、
    前記基準電極の外側に配置され、接地電位の接地電極を含む、インプットレンズ。
  8. 請求項１ないし５のいずれか１項において、
    前記基準電位は、接地電位である、インプットレンズ。
  9. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載のインプットレンズと、
    電子分光器と、
    を含み、
    前記インプットレンズは、電子発生源と前記電子分光器との間に配置されている、電子分光装置。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7105261B2 (ja) * 2020-02-18 2022-07-22 日本電子株式会社 オージェ電子分光装置および分析方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006185598A (ja) 2004-12-24 2006-07-13 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 飛行時間型分析装置
WO2008114684A1 (ja) 2007-03-16 2008-09-25 National University Corporation NARA Institute of Science and Technology エネルギー分析器、２次元表示型エネルギー分析器および光電子顕微鏡
US20100163725A1 (en) 2007-01-15 2010-07-01 Ian Richard Barkshire Charged particle analyser and method
WO2017010529A1 (ja) 2015-07-15 2017-01-19 国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学 静電レンズ、並びに、該レンズとコリメータを用いた平行ビーム発生装置及び平行ビーム収束装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04343054A (ja) * 1991-05-20 1992-11-30 Nippondenso Co Ltd 光電子分光装置
JPH0510897A (ja) * 1991-07-02 1993-01-19 Jeol Ltd Ｘ線光電子分光イメージング装置
US5444242A (en) * 1992-09-29 1995-08-22 Physical Electronics Inc. Scanning and high resolution electron spectroscopy and imaging
US5315113A (en) 1992-09-29 1994-05-24 The Perkin-Elmer Corporation Scanning and high resolution x-ray photoelectron spectroscopy and imaging
JP3347491B2 (ja) * 1994-10-12 2002-11-20 日本電子株式会社 球面収差補正静電型レンズ
US5583336A (en) * 1995-10-30 1996-12-10 Kelly; Michael A. High throughput electron energy analyzer
GB9718012D0 (en) * 1997-08-26 1997-10-29 Vg Systems Ltd A spectrometer and method of spectroscopy
DE19929185A1 (de) * 1999-06-25 2001-01-04 Staib Instr Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie
WO2006008840A1 (ja) * 2004-07-15 2006-01-26 National University Corporation NARA Institute of Science and Technology 球面収差補正静電型レンズ、インプットレンズ、電子分光装置、光電子顕微鏡、および測定システム
JP4900389B2 (ja) * 2006-07-26 2012-03-21 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学 球面収差補正減速型レンズ、球面収差補正レンズシステム、電子分光装置および光電子顕微鏡
GB0720901D0 (en) * 2007-10-24 2007-12-05 Shimadzu Res Lab Europe Ltd Charged particle energy analysers
US10586625B2 (en) * 2012-05-14 2020-03-10 Asml Netherlands B.V. Vacuum chamber arrangement for charged particle beam generator
WO2014185074A1 (en) * 2013-05-15 2014-11-20 Okinawa Institute Of Science And Technology School Corporation Leed for sem
CN109983386B (zh) * 2016-11-21 2021-10-29 株式会社尼康 变倍光学系统、光学设备以及摄像设备

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006185598A (ja) 2004-12-24 2006-07-13 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 飛行時間型分析装置
US20100163725A1 (en) 2007-01-15 2010-07-01 Ian Richard Barkshire Charged particle analyser and method
WO2008114684A1 (ja) 2007-03-16 2008-09-25 National University Corporation NARA Institute of Science and Technology エネルギー分析器、２次元表示型エネルギー分析器および光電子顕微鏡
WO2017010529A1 (ja) 2015-07-15 2017-01-19 国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学 静電レンズ、並びに、該レンズとコリメータを用いた平行ビーム発生装置及び平行ビーム収束装置

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