JP6876519B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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荷電粒子線を放出する荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子線を集束して試料に照射する対物レンズと、
前記試料に荷電粒子線が照射されることにより発生した電子を検出する検出器と、
前記対物レンズに入射する荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
前記対物レンズよりも前記荷電粒子線源側に配置された電子レンズと、
前記偏向器を制御する制御部と、
を含み、
前記検出器は、前記対物レンズよりも前記荷電粒子線源側に配置され、
前記検出器は、前記検出器に入射する電子の経路に電場を発生させる電極を有し、
前記制御部は、前記電極に印加される印加電圧に応じて、前記偏向器を制御し、
前記制御部は、前記印加電圧から、前記印加電圧を単位電圧変えたときの前記荷電粒子線の曲がり量および前記荷電粒子線に対する前記電子レンズのレンズ作用に基づき前記対物レンズの中心に前記荷電粒子線が入射するように前記偏向器における前記荷電粒子線の偏向量を算出し、前記偏向器を制御する。
前記電極は、前記印加電圧に応じた電場を発生させて、前記検出器に入射する電子のエネルギー帯を変えてもよい。
前記制御部は、前記印加電圧から、前記印加電圧を単位電圧変えたときの前記荷電粒子線の曲がり量に基づき前記偏向器における前記荷電粒子線の偏向量を算出し、前記偏向器を制御してもよい。
前記荷電粒子線で前記試料上を走査する走査コイルを含んでいてもよい。
前記電子レンズは、前記検出器と前記対物レンズの間に配置され、
前記偏向器は、前記電子レンズと前記対物レンズの間に配置されていてもよい。
前記電子レンズは、前記偏向器と前記対物レンズの間に配置されていてもよい。
する走査電子顕微鏡(SEM)を例に挙げて説明するが、本発明に係る荷電粒子線装置は電子線以外の荷電粒子線(イオン等)を走査して走査像を取得する装置であってもよい。
1.1. 走査電子顕微鏡の構成
まず、第1実施形態に係る走査電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る走査電子顕微鏡100の構成を示す図である。
部40は、CPU(Central Processing Unit)が記憶部42等に記憶された制御プログラムを実行することによりコンピューターとして機能し、各種制御を行うようにしてもよい。
次に、走査電子顕微鏡100の動作について説明する。走査電子顕微鏡100では、シンチレータ32およびフィルターメッシュ36に印加される電圧が変化して漏れ電場が変化しても、対物レンズ18における一次ビームの軸ずれを補正することができる。対物レンズ18における一次ビームの軸ずれとは、一次ビームが対物レンズ18の中心(光軸)からずれることをいう。以下、一次ビームの軸ずれを補正する手法について説明する。
本実施形態に係る走査電子顕微鏡100は、例えば、以下の特徴を有する。
次に、第2実施形態に係る走査電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図4は、第2実施形態に係る走査電子顕微鏡200の要部を模式的に示す図である。以下、第2実施形態に係る走査電子顕微鏡200において、第1実施形態に係る走査電子顕微鏡100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第3実施形態に係る走査電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図5は、第3実施形態に係る走査電子顕微鏡300の要部を模式的に示す図である。以下、第3実施形態に係る走査電子顕微鏡300において、第1実施形態に係る走査電子顕微鏡100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
8における一次ビームの軸ずれ補正のための制御式が得られる。
Claims (6)
- 荷電粒子線を放出する荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子線を集束して試料に照射する対物レンズと、
前記試料に荷電粒子線が照射されることにより発生した電子を検出する検出器と、
前記対物レンズに入射する荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
前記対物レンズよりも前記荷電粒子線源側に配置された電子レンズと、
前記偏向器を制御する制御部と、
を含み、
前記検出器は、前記対物レンズよりも前記荷電粒子線源側に配置され、
前記検出器は、前記検出器に入射する電子の経路に電場を発生させる電極を有し、
前記制御部は、前記電極に印加される印加電圧に応じて、前記偏向器を制御し、
前記制御部は、前記印加電圧から、前記印加電圧を単位電圧変えたときの前記荷電粒子線の曲がり量および前記荷電粒子線に対する前記電子レンズのレンズ作用に基づき前記対物レンズの中心に前記荷電粒子線が入射するように前記偏向器における前記荷電粒子線の偏向量を算出し、前記偏向器を制御する、荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記電極は、前記印加電圧に応じた電場を発生させて、前記検出器に入射する電子のエネルギー帯を変える、荷電粒子線装置。 - 請求項1または2において、
前記制御部は、前記印加電圧から、前記印加電圧を単位電圧変えたときの前記荷電粒子線の曲がり量に基づき前記偏向器における前記荷電粒子線の偏向量を算出し、前記偏向器を制御する、荷電粒子線装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記荷電粒子線で前記試料上を走査する走査コイルを含む、荷電粒子線装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記電子レンズは、前記検出器と前記対物レンズの間に配置され、
前記偏向器は、前記電子レンズと前記対物レンズの間に配置されている、荷電粒子線装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記電子レンズは、前記偏向器と前記対物レンズの間に配置されている、荷電粒子線装置。
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JP2017101202A JP6876519B2 (ja) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | 荷電粒子線装置 |
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JP2017101202A JP6876519B2 (ja) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | 荷電粒子線装置 |
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JP2018195546A JP2018195546A (ja) | 2018-12-06 |
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JP2017101202A Active JP6876519B2 (ja) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | 荷電粒子線装置 |
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2017
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