JP2009259760A - 電子顕微鏡の試料装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
電子銃2からの電子ビーム3を試料室9に配置された試料Sに照射し、試料を透過した電子ビームに基づく試料像を得る様に成した電子顕微鏡の試料装置で、試料保持体33を支持する試料ホルダ32、試料Sの移動及傾斜を行うゴニオメータ31、その一端部が試料室9内に位置する様に試料室壁に設けられたゴニオメータ支持体30、先端面に当たる部分が吹き抜けており、電子光学軸Oに垂直な上壁及び底壁それぞれ電子ビーム通過孔が開けられたガス雰囲気容器34、及び、ガス雰囲気容器34内を先端に取付け、容器34内にガスが導入可能に成され、試料室9内で電子光学軸Oに垂直な方向に移動可能に試料室壁に設けられた容器支持管37を備えている。
【選択図】図3
Description
更に、前記制御板20A,20Bの表面には、それぞれ、該各制御板に開けられた小孔を完全に覆う様に膜状の薄板21A,21Bが貼り付けられており、該膜状の薄板と前記小孔により、電子ビームは良好に透過させるが、前記試料収納ブロック8の空間から該空間外へのガスの移動を遮断する様にしている。
(実施の形態1)
図3は本発明を実施する装置の一例である透過電子顕微鏡の試料装置の一概略例を示したもので、前記図2にて使用した記号と同一記号の付されたものは同一構成要素を示す。
更に、前記制御板35A,35Bの表面には、それぞれ、該各制御板に開けられた小孔を完全に覆う様に膜状の薄板36A,36Bが貼り付けられており、該膜状の薄板と前記小孔により、電子ビームは良好に透過させるが、前記ガス雰囲気容器34から該容器外へのガスの移動を遮断する様にしている。
(実施の形態2)
図4は本発明を実施する装置の一例である透過電子顕微鏡の試料装置の他の概略例を示したもので、前記図3にて使用した記号と同一記号の付されたものは同一構成要素を示す。
2…電子銃
3…電子ビーム
4…集束レンズ
5…インレンズ型対物レンズ
6…上磁極
7…下磁極
8…試料収納ブロック
9…試料室
10…中間レンズ
11…投射レンズ
12…観察室
13…蛍光板
14…観察窓
15…試料ホルダ
16…ゴニオメータ
17…ガス調節装置
18…開閉バルブ
19…ガスボンベ
20A,20B…制御板
21A,21B…薄板
22…ガス供給管
30,50…ゴニオメータ支持体
31…ゴニオメータ
32…試料ホルダ
33…試料保持体
34,51…ガス雰囲気容器
35A,35B…制御板
36A,36B…薄板
37,54…容器支持管
38,55…移動駆動体
40,53…Oリング
52a,52b,52c,52d…オリフィス板
56…ガスノズル
57…ガスノズル支持体
Pa,Pb…排気ポンプ
S…試料
Sa…円柱空間
Ha…孔
Ta,Tb…排気管
Hb,Hc…電子ビーム通過孔
Hd,He,Hf,Hg…ガス通過孔
Da,Db…差圧空間
Claims (7)
- 電子ビーム発生手段からの電子ビームを試料室に配置された試料に照射し、該試料を透過した電子ビームに基づく試料像を得る様に成した電子顕微鏡の試料装置であって、先端部に試料を保持し該試料を真空外から前記試料室内に導入する試料ホルダと、電子光学軸上に配置され電子ビーム通過孔が開けられた密閉容器と、該密閉容器内にガスを供給する手段とから成り、前記密閉容器には開口部が開けられ、該開口部を介して前記試料ホルダの先端部が挿入される様に成した電子顕微鏡の試料装置。
- 前記電子ビーム通過孔に該孔より小さい孔が開けられた小孔に電子ビームは通過させるが、ガスは通過させない膜を取り付けた板体を設ける様に成した特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡の試料装置。
- 前記試料室外にガス供給手段が設けられており、該ガス供給手段に繋がったガス導入管から前記密閉容器内にガスが供給される様に成した請求項1記載の電子顕微鏡の試料装置。
- 前記電子ビーム通過孔内に、少なくとも1個の差圧空間を形成した請求項1記載の電子顕微鏡の試料装置。
- 前記電子ビーム通過孔内に、少なくとも二枚のオリフィス体を互いに空間を隔てて取り付けると共に、該空間を排気出来る様に成した請求項1記載の電子顕微鏡の試料装置。
- 前記電子ビーム通過孔内の前記差圧空間に繋がるガス通路を設け、該ガス通路を通じて前記差圧空間を排気出来るように成した請求項4記載の電子顕微鏡の試料装置。
- 前記電子ビーム通過孔内に前記オリフィス体に囲まれた空間に繋がるガス通路を設け、該ガス通路を通じて前記オリフィス体に囲まれた空間を排気出来るように成した請求項5記載の電子顕微鏡の試料装置。
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