JP2014089799A - 試料格納用容器、荷電粒子線装置、及び画像取得方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料を試料格納容器の外部の雰囲気状態とは異なる雰囲気状態下に格納する格納容器と、荷電粒子線が通過または透過する隔膜と、試料格納容器の内部に設けられ、試料格納容器の内外の雰囲気状態を異なる雰囲気状態に保持した状態で、隔膜に対する試料の相対位置を水平方向及び垂直方向に可動とする位置調整機構と、位置調整機構と接続され、位置調整機構を試料格納容器の外部から操作することが可能なインターフェースと、を備える試料格納容器を荷電粒子線装置の真空チャンバ内に前記試料を格納した状態で設置する。
【選択図】 図1
Description
図1に、本実施例の試料格納容器の全体構成図を示す。図1に示される試料格納容器は、主として、格納容器100、蓋101、試料台102、試料台102の位置を変更するための駆動機構をもつ試料ステージ103、試料ステージ103を試料格納容器外部から動かすための複数の操作部104、操作部104と試料ステージ103との間の機械要素128、荷電粒子線を通過または透過させる隔膜10、隔膜10を保持する隔膜保持部材106によって構成される。試料6は試料台の上に載置され、この試料台とともに閉空間である格納容器100内部に格納される。本試料格納容器の外部と内部のガス種および気圧状態が分離した状態に保持するために、蓋101と格納容器100との間にOリングやパッキンなどの真空封じ部材107を有する。試料ステージ103の下面と格納容器100の底面は図示しないねじ等で固定されるものとする。
次に、図3に、試料格納容器を荷電粒子顕微鏡装置の内部に配置した状態を示す。荷電粒子顕微鏡は、主として、荷電粒子光学鏡筒2、荷電粒子光学鏡筒を装置設置面に対して支持する筐体7(以下、真空室と称することもある)およびこれらを制御する制御系によって構成される。荷電粒子顕微鏡の使用時には荷電粒子光学鏡筒2と筐体7の内部は真空ポンプ4により真空排気される。真空ポンプ4の起動および停止動作も制御系により制御される。図中、真空ポンプ4は一つのみ示されているが、二つ以上あってもよい。
次に、以上で説明した試料格納容器内部に試料を配置した後、荷電粒子線装置内部に配置することによって、大気圧下またはガス雰囲気下にある試料に荷電粒子線を照射するまでの方法について詳細を記載する。
前述の通り、隔膜10と試料6とは1000μm程度以下にする必要があるため、試料格納容器の操作つまみを操作すると、誤って試料と隔膜を衝突させて隔膜を破損させる恐れがある。そこで、本実施例では、隔膜10と試料6とが接触することを防止する接触防止部材を試料格納容器内部に配置している。図6を用いて、接触防止部材に関して説明する。図では説明の簡略化のために、隔膜周辺部と試料周辺部だけに関して示している。本実施例では、試料6と隔膜10との間に接触防止部材400が具備される。接触防止部材400は試料台401から突起するように設けられ、図6(a)で示すように、接触防止部材400の先端が常に試料6よりも隔膜側に配置されている。試料台401は試料ステージ103上に配置される。そして、図6(b)で示したように、試料台401の位置を隔膜10方向に接近させた時に、先に接触防止部材400が蓋101に接触することによって、隔膜10と試料6とが接触することを防止することが可能となる。一方で、試料6の高さBは試料に応じて変わることがある。そのため、試料Bの高さに応じて接触防止部材400の高さAを調整できる調整機構を有する必要がある。そこで、例えば、接触防止部材400はおねじであり、試料台401側をめねじ402とすることにより、接触防止部材400のネジ部を回すことで接触防止部材400の高さAを変更することを可能とする。なお、調整機構は、接触防止部材400における試料と隔膜とが接触する位置を荷電粒子光学鏡筒の光軸方向に移動可能とするものであればよい。
[数式1]Z=(A−B)―C
[数2]Z=A−B>C
53:増幅器、54:隔膜中心位置、55:荷電粒子光学鏡筒の光軸、56:光学顕微鏡の光軸、
60:光学式顕微鏡、61:対物レンズ、62:接眼レンズ、63:光源、64:支柱、65:支持台、
100:格納容器、101:蓋、102:試料台、103:試料ステージ、104:操作部、105:隔膜、106:隔膜保持部材、107:真空封じ部材、108:支持板、109:突起部、110:突起部、111:合わせ部、112:開口部、113:テーパ穴、114:ガス導入出口、115:ガス導入出口、116:電流導入端子、117:電気駆動機構、118:配線、119:コネクタ、120:ハーメチックシール、121:配線、122:配線、
123:配線、124:アンテナ、125:電池、126:電気駆動制御部、127:アンテナ、128:機械要素、129:機械要素、130:配管、131:ガス導入出口、132:配管つなぎ、
400:接触防止部材、401:試料台、402:めねじ、403:境界、404:滑り防止材、
405:接触防止部材、406:ボールベアリング、407:真空封じ部材
Claims (14)
- 荷電粒子線を試料に照射して得られる信号によって前記試料の画像を撮像する荷電粒子線装置の筐体内に、前記試料を格納した状態で設置される試料格納容器であって、
前記試料を格納する格納容器と、
前記荷電粒子線が通過または透過する隔膜と、
当該試料格納容器の内部に設けられ、当該試料格納容器の内部の雰囲気状態を当該試料格納容器の外部の雰囲気状態とは異なる雰囲気状態下に保持した状態で、前記隔膜に対する前記試料の相対位置を水平方向及び垂直方向に可動とする位置調整機構と、
前記位置調整機構と接続され、前記位置調整機構を当該試料格納容器の外部から操作することが可能なインターフェースと、を備えることを特徴とする試料格納容器。 - 請求項1に記載の試料格納容器において、
前記インターフェースは前記格納容器の側壁に設けられることを特徴とする試料格納容器。 - 請求項1に記載の試料格納容器において、
前記格納容器の底面に前記荷電粒子線装置の試料ステージの一部と係合して連結する部材を有することを特徴とする試料格納容器。 - 請求項1に記載の試料格納容器において、
前記格納容器の内部に気体を導入するための導入出口が前記格納容器に備えられることを特徴とする試料格納容器 - 請求項1に記載の試料格納容器において、
前記隔膜と前記試料との接触を防止する接触防止部材が前記試料を載置する試料台または前記格納容器の蓋に備えられることを特徴とする試料格納容器。 - 請求項5に記載の試料格納容器において、
前記接触防止部材の高さが前記試料台に対して変更可能であることを特徴とする試料格納容器。 - 請求項1に記載の試料格納容器において、
前記格納容器は当該格納容器の内部から外部または外部から内部に電気信号を送受信する電気導入口を備えることを特徴とする試料格納容器。 - 請求項1に記載の試料格納容器において、
前記試料への前記荷電粒子線の照射によって、前記試料を透過した荷電粒子を検出する検出器が前記試料の下側に配置されていることを特徴とする試料格納容器。 - 請求項1に記載の試料格納容器において、
前記インターフェースは、前記格納容器の外部に設けられた操作つまみであって、当該操作つまみは前記位置調整機構と機械的に接続されることを特徴とする試料格納容器。 - 請求項1に記載の試料格納容器において、
前記位置調整機構を駆動する電動モータと、
前記電動モータを駆動するための信号を伝達する配線が具備されていることを特徴とする試料格納容器 - 請求項1に記載の試料格納容器において、
前記試料格納容器内部に、前記位置調整機構を駆動する電力を供給する電池を有することを特徴とする試料格納容器。 - 荷電粒子線を試料上に走査する荷電粒子光学鏡筒と、
前記荷電粒子光学鏡筒を支持し、前記荷電粒子線を照射しているときには内部が真空排気される筐体と、
前記荷電粒子光学鏡筒内部および前記筐体内部に真空領域を形成する真空ポンプと、
前記試料を閉空間に格納する試料格納容器を前記荷電粒子光学鏡筒に対して移動させるステージと、を備え、
前記試料格納容器は、
当該試料格納容器の内部の雰囲気状態を当該試料格納容器の外部の雰囲気状態とは異なる雰囲気状態下に保持した状態で、前記隔膜に対する前記試料の相対位置を水平方向及び垂直方向に可動とする位置調整機構と、
前記位置調整機構と接続され、当該位置調整機構を前記試料格納容器の外部から操作することが可能なインターフェースと、
前記荷電粒子線が通過または透過する隔膜と、を備え、
前記ステージは前記試料格納容器と係合して連結する部分を有し、
前記位置調整機構は前記ステージと独立して可動であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を試料に照射して得られる信号によって前記試料の画像を取得する画像取得方法において、
大気雰囲気下または所望のガス雰囲気下に曝露された試料格納容器の内部に前記試料を設置するステップと、
前記試料格納容器の内部の雰囲気と前記試料格納容器の外部の雰囲気とを分離するステップと、
前記試料格納容器に備えられた隔膜に対する前記試料の相対位置を顕微鏡にて確認するステップと、
前記試料格納容器の内部に設けられ当該試料格納容器の外部から操作することが可能な位置調整機構を用いて、当該試料格納容器の内部の雰囲気状態を当該試料格納容器の外部の雰囲気状態とは異なる雰囲気状態下に保持した状態で、前記隔膜に対する前記試料の相対位置を水平方向及び垂直方向に移動して前記隔膜の直下に前記試料の観察対象領域が位置するように調整するステップと、
前記試料格納容器を荷電粒子線装置の筐体内に配置して当該筐体の内部を真空引きするステップと、
前記試料格納容器が載置されたステージによって、前記荷電粒子線の光軸上に前記隔膜の中心が位置するように調整するステップと、
前記隔膜を通過または透過した前記荷電粒子線を前記試料に照射するステップと、を有することを特徴とする画像取得方法。 - 請求項13に記載の画像取得方法において、
前記試料格納容器を前記荷電粒子線装置の筐体内に配置する前に、前記隔膜の破損の有無を検査するステップを有することを特徴とする画像取得方法。
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