JP6207824B2 - 荷電粒子線装置、隔膜の位置調整方法および隔膜位置調整ジグ - Google Patents
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Description
本願は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、一次荷電粒子線を試料上に照射する荷電粒子光学鏡筒と、真空ポンプとを備える荷電粒子線装置において、前記荷電粒子線装置の一部を成し、内部が前記真空ポンプにより真空排気される筐体と、前記試料が載置された空間の圧力が前記筐体内部の圧力より大きく保たれるように前記試料が載置された空間を隔離し、前記一次荷電粒子線を透過または通過させる着脱可能な隔膜と、前記試料が載置された空間の圧力と前記筐体内部の圧力とを保ったまま、前記隔膜を移動可能とする可動部材とを備えることを特徴とすることを特徴とする。
100:ガス供給管、101:ガス制御用バルブ、102:連結部、103:ガスボンベ、104:圧力調整弁、107:支持板、108,109:操作つまみ、121:第2筺体、122,130:蓋部材、123,125,126:真空封止部材、131:本体部、132:合わせ部、141,142,143:真空封止部材、145:調整ジグ、146:弾性体、150:部材、151:バルブ、160:柱、161:調整ジグ、162:試料ステージ
Claims (18)
- 一次荷電粒子線を試料上に照射する荷電粒子光学鏡筒と、真空ポンプとを備える荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線装置の一部を成し、内部が前記真空ポンプにより真空排気される筐体と、
前記試料が載置された空間の圧力が前記筐体内部の圧力より大きく保たれるように前記試料が載置された空間を隔離し、前記一次荷電粒子線を透過または通過させる着脱可能な隔膜と、
前記隔膜に対して前記荷電粒子光学鏡筒と反対側の空間に設置される試料ステージと、
前記試料が載置された空間の圧力と前記筐体内部の圧力とを保ったまま、前記隔膜を移動可能とする可動部材とを備え、
前記可動部材は、前記隔膜の位置を調整する隔膜位置調整ジグに設けられた第一のジョイント部と係合する第二のジョイント部を有する、荷電粒子線装置。 - 前記第一のジョイント部を前記荷電粒子光学鏡筒の光軸に平行な方向へ移動して前記第二のジョイント部から離すときに要する力より、前記荷電粒子光学鏡筒の光軸に垂直な方向に前記第二のジョイント部を移動させるときに要する力のほうが大きい、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第一のジョイント部または前記第二のジョイント部のいずれか一方がピンであり、他方が穴である、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第一のジョイント部と前記第二のジョイント部とは摩擦力によって係合される、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第一のジョイント部または前記第二のジョイント部のいずれか一方または両方はゴム材である、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第一のジョイント部と前記第二のジョイント部のいずれか一方または両方は前記第一のジョイント部と前記第二のジョイント部との接触面に凹凸を有する、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第一のジョイント部と前記第二のジョイント部のいずれか一方または両方はフック形状部材を具備する面ファスナーである、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第一のジョイント部と前記第二のジョイント部のいずれか一方は前記荷電粒子光学鏡筒の光軸方向に駆動可能な部材を具備し、他方は前記駆動可能な部材を収納することが可能な穴を具備する、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第一のジョイント部と前記第二のジョイント部のいずれか一方はスプリングプランジャである、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第一のジョイント部と前記第二のジョイント部には磁石が設けられている、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第一のジョイント部と前記第二のジョイント部のいずれか一方または両方は材料の異なる複数の部材からなる、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第一のジョイント部および前記第二のジョイント部はそれぞれ複数の部材からなり、前記複数の部材は前記荷電粒子光学鏡筒の光軸に垂直な方向に前記第二のジョイント部を移動させるときに要する力が異なる部材である、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記試料を載置する試料ステージを有し、
前記第一のジョイント部を備えた隔膜位置調整ユニットが前記試料ステージに配置される、請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記隔膜位置調整ユニットと前記試料ステージとの間に弾性部材が設けられる、請求項13記載の荷電粒子線装置。
- 前記荷電粒子線装置の一部を成し内部が前記真空ポンプにより真空排気される第1の筐体と、
前記第1の筐体の側面、または内壁面、または前記荷電粒子光学鏡筒に位置が固定される、前記試料を内部に格納する第2の筐体と、を備え、
前記隔膜は前記第2の筐体の上面側に設けられ、
前記第2の筐体内部の圧力が前記第1の筐体内部の圧力と同等か、前記第2の筐体内部の圧力を前記第1の筐体内部の圧力よりも高い状態に維持する、請求項1記載の荷電粒子線装置。 - 前記隔膜を保持する隔膜保持部材が前記第2の筐体内部の天井面に配置される、請求項15記載の荷電粒子線装置。
- 一次荷電粒子線を透過または通過させる着脱可能な隔膜により、試料が載置される空間の圧力が荷電粒子光学鏡筒内部の圧力より大きく保たれるように前記試料が載置される空間が隔離された状態で、前記試料に前記一次荷電粒子線を照射することで前記試料を観察する荷電粒子線装置における隔膜位置調整方法において、
前記荷電粒子光学鏡筒の光軸方向に移動可能な試料ステージに、第一のジョイント部を有する調整ジグを設置するステップと、
前記調整ジグを前記隔膜の直下に配置するステップと、
前記試料ステージを前記荷電粒子線光学鏡筒の光軸方向に移動させることで前記調整ジグを前記第一のジョイント部に係合する第二のジョイント部を有する可動部材に係合させるステップと、
前記一次荷電粒子線の照射により得られる像を観察しながら、前記試料が載置された空間の圧力と筐体内部の圧力とを保ったまま前記可動部材により前記隔膜を動かすステップと、
前記試料ステージを前記荷電粒子線光学鏡筒の光軸方向に移動させることで前記調整ジグを前記可動部材から離間させるステップと、を有する、隔膜位置調整方法。 - 一次荷電粒子線を透過または通過させる着脱可能な隔膜により、試料が載置される空間の圧力が荷電粒子光学鏡筒内部の圧力より大きく保たれるように前記試料が載置される空間が隔離された状態で、前記試料に前記一次荷電粒子線を照射することで前記試料を観察する荷電粒子線装置における前記隔膜の位置調整に用いる隔膜位置調整ジグにおいて、
前記荷電粒子線装置に備えられた可動部材であって、前記試料が載置された空間の圧力と筐体内部の圧力とを保ったまま前記隔膜を移動可能とする可動部材に設けられた第二のジョイント部に係合する第一のジョイント部を有する、隔膜位置調整ジグ。
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