JP5919368B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
図7には、薄膜−試料間距離を変更する機構を備えたSEMの更に別の変形例を示す。図7に示すSEMは、薄膜支持部材47に第1の筐体7に対する摺動性を持たせて、駆動機構201により薄膜支持部材47を可動にする。薄膜支持部材47と第1の筐体7との真空シールは真空封止機構124により実現されるが、真空封止機構124は摺動性を持つ必要がある。
1 光学レンズ
2 電子光学鏡筒
3 検出器
4 真空排気ポンプ
5,21 試料台
6 試料
7 第1の筐体
8 第2の筐体
10 薄膜
11 第2の空間
12 第1の空間
14 位置測定器
15 リークバルブ
16 配管
17 真空封止部
18 EDX検出器
19 フランジ部
20 支柱
35 パソコン
36 上位制御部
37 下位制御部
43,44 通信線
47 薄膜支持部材
50 操作用ウィンドウ
51 画像表示部
52 画像観察開始ボタン
53 画像観察停止ボタン
54 焦点調整ボタン
55 明るさ調整ボタン
56 コントラスト調整ボタン
57 真空排気ボタン
58 大気リークボタン
81 開口部
101 ガス制御バルブ
103 ガスボンベ
112 ガス放出開始ボタン
113 ガス放出停止ボタン
114 ガス放出条件設定ボタン
117 ガス放出時間設定ボックス
118 ガス放出条件設定ウィンドウ
119 ガス放出実行チェックボックス
120 OKボタン
124 真空封止機構
Claims (11)
- 荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を試料上に走査する荷電粒子光学系を格納し、内部が真空状態に維持される荷電粒子光学鏡筒と、
大気開放された試料を載置する試料ステージと、
前記荷電粒子光学鏡筒と連通した空間と前記試料ステージが配置される空間を仕切るように配置され、前記一次荷電粒子線を透過する薄膜と、
前記薄膜を上下方向に駆動することで前記薄膜と前記試料との距離を調整する駆動機構と、
前記薄膜の外周に設けられ前記薄膜を支持する薄膜支持部材と、
前記薄膜支持部材に取り付けられ、前記一次荷電粒子線の平均自由工程から考慮された厚みの前記薄膜と前記試料との間の距離を制限する制限部材と、を備えることを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡において、
前記駆動機構は、前記荷電粒子光学鏡筒を上下方向に駆動することで前記薄膜を駆動することを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡において、
前記駆動機構は、前記薄膜支持部材を上下方向に駆動することで前記薄膜を駆動することを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡において、
前記荷電粒子光学鏡筒を支える支柱を有することを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 請求項4に記載の荷電粒子顕微鏡において、
前記駆動機構は前記支柱に設けられることを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡において、
前記試料が載置される空間にガスを供給するガスノズルを備え、
当該ガスノズルにより大気よりも質量の軽いガスが供給されることを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 請求項6に記載の荷電粒子顕微鏡において、
前記ガスノズルからの放出ガスが、水素ガス、ヘリウムガス、メタンガス、水蒸気の内いずれかを含むことを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡において、
前記薄膜支持部材は、前記薄膜が固定されたまま当該荷電粒子線装置に着脱されることを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡において、
前記薄膜と前記試料との距離を計測する計測器を備えることを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡において、
前記薄膜の厚みが20μm以下であることを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡において、
前記一次荷電粒子線の照射によって前記試料から放出されるX線を検出するX線検出器を備えることを特徴とする荷電粒子顕微鏡。
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