JP5540033B2 - X線管 - Google Patents
X線管 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5540033B2 JP5540033B2 JP2012048066A JP2012048066A JP5540033B2 JP 5540033 B2 JP5540033 B2 JP 5540033B2 JP 2012048066 A JP2012048066 A JP 2012048066A JP 2012048066 A JP2012048066 A JP 2012048066A JP 5540033 B2 JP5540033 B2 JP 5540033B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control electrode
- ray
- opening
- cathode
- ray tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
- H01J35/18—Windows
- H01J35/186—Windows used as targets or X-ray converters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/045—Electrodes for controlling the current of the cathode ray, e.g. control grids
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/06—Cathodes
- H01J35/066—Details of electron optical components, e.g. cathode cups
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/112—Non-rotating anodes
- H01J35/116—Transmissive anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Description
前記開口部を塞ぐように設けられたX線透過窓と、
前記基板に取り付けられて内部が真空状態とされた扁平箱型の容器部と、
前記容器部の内部において前記開口部に設けられ前記X線透過窓と密着して設けられたX線ターゲットと、
前記容器部の内部に設けられ、前記基板の開口部に対応して延在する線状の陰極および該陰極の長手方向に対応する開口を有する複数の制御電極を少なくとも有し、前記陰極から放出された電子を前記複数の制御電極によって制御して前記X線ターゲットに電子を入射させる電子源と、を備え、前記X線透過窓から出射されるX線が前記開口部の開口形状から放射状に広がる態様をなすX線管であって、
前記制御電極が、前記陰極と前記X線透過窓の間に配置された第1制御電極と、前記第1制御電極と前記X線透過窓との間に配置された第2制御電極と、を少なくとも備え、前記第1制御電極および前記第2制御電極の少なくとも一方が、前記陰極を囲うように設けられており、前記第2制御電極の開口は、前記第1制御電極の開口より狭いことを特徴としている。
図1に示すように、X線管1は、扁平箱型のパッケージ2を本体としている。このパッケージ2は、ガラス板を扁平箱型に組み立てた容器部3の開放側周縁部に、後述するX線透過窓5が設けられた基板4を取り付けて封止したものであり、その内部は真空状態に排気されている。基板4は、426合金からなる矩形板である。426合金は、42%Ni、6%Cr、残りがFeなどの合金であり、容器部3を構成するソーダライムガラスと熱膨張係数が略等しい。
なお、前記容器部3の材質がソーダライムガラス以外のガラス板の場合、前記基板4は、前記容器部3の熱膨張係数に略等しくなるように他の材質の金属板を使用しても良い。
図1に示すように、基板4の容器部3内に位置した他方の面(パッケージ2の内側となる面)において開口部6にはX線ターゲット7が設けられている。X線ターゲット7は、前記開口部6の内側から前記X線透過窓5の内面に密着するように、タングステンの膜が蒸着されることで形成されている。また、X線ターゲット7としては、モリブデン等のタングステン以外の金属を用いても良い。
なお、線状の陰極9は、タングステン等からなるワイヤー状の芯線の表面に炭酸塩を施したもので、芯線を通電加熱することで、熱電子を放出するものである。また、背面電極8は、第1制御電極10に対して、線状の陰極9を挟んで対向するようにして設けられた板状の電極である。
さらに、第2制御電極11は、その内部空間に背面電極8、陰極9、第1制御電極10を収容するようにして、それらを囲んでいるので、第1制御電極10により陰極9から引き出された電子がX線ターゲット7以外の場所、例えば容器部3の内面等に入射して、容器部3の内面が帯電すること自体を抑制する機能も有している。
また、第1制御電極10ならびに第2制御電極11は、前記基板4と同様、容器部3の熱膨張係数を略等しくするために、426合金を使用することが望ましい。
3…容器部
4…基板
5…X線透過窓
6…開口
7…X線ターゲット
9…陰極
10…制御電極(第1制御電極)
11…制御電極(第2制御電極)
Claims (6)
- 開口部が形成された金属材料からなる基板と、
前記開口部を塞ぐように設けられたX線透過窓と、
前記基板に取り付けられて内部が真空状態とされた扁平箱型の容器部と、
前記容器部の内部において前記開口部に設けられ前記X線透過窓と密着して設けられたX線ターゲットと、
前記容器部の内部に設けられ、前記基板の開口部に対応して延在する線状の陰極および該陰極の長手方向に対応する開口を有する複数の制御電極を少なくとも有し、前記陰極から放出された電子を前記複数の制御電極によって制御して前記X線ターゲットに電子を入射させる電子源と、を備え、前記X線透過窓から出射されるX線が前記開口部の開口形状から放射状に広がる態様をなすX線管であって、
前記制御電極が、前記陰極と前記X線透過窓の間に配置された第1制御電極と、前記第1制御電極と前記X線透過窓との間に配置された第2制御電極と、を少なくとも備え、前記第1制御電極および前記第2制御電極の少なくとも一方が、前記陰極を囲うように設けられており、前記第2制御電極の開口は、前記第1制御電極の開口より狭いことを特徴とするX線管。 - 前記第2制御電極が、前記陰極ならびに前記第1制御電極を囲うように設けられたことを特徴とする請求項1に記載のX線管。
- 前記電子源が、前記第1制御電極と対向するように前記容器部の内面に形成された背面電極を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のX線管。
- 前記X線透過窓にはチタンを用いたことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のX線管。
- 前記基板には426合金を用いたことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のX線管。
- 前記制御電極の前記各開口には、格子状又はハニカム状のメッシュが形成されていることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載のX線管。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012048066A JP5540033B2 (ja) | 2012-03-05 | 2012-03-05 | X線管 |
PCT/JP2013/055698 WO2013133169A1 (ja) | 2012-03-05 | 2013-03-01 | X線管 |
CN201380012541.XA CN104160469B (zh) | 2012-03-05 | 2013-03-01 | X射线管 |
KR1020147024079A KR101610243B1 (ko) | 2012-03-05 | 2013-03-01 | X선관 |
DE112013001290.1T DE112013001290B4 (de) | 2012-03-05 | 2013-03-01 | Röntgenröhre |
TW102107583A TWI474361B (zh) | 2012-03-05 | 2013-03-05 | X射線管 |
US14/469,724 US10014147B2 (en) | 2012-03-05 | 2014-08-27 | X-ray tube |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012048066A JP5540033B2 (ja) | 2012-03-05 | 2012-03-05 | X線管 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013182868A JP2013182868A (ja) | 2013-09-12 |
JP5540033B2 true JP5540033B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=49116649
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012048066A Expired - Fee Related JP5540033B2 (ja) | 2012-03-05 | 2012-03-05 | X線管 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10014147B2 (ja) |
JP (1) | JP5540033B2 (ja) |
KR (1) | KR101610243B1 (ja) |
CN (1) | CN104160469B (ja) |
DE (1) | DE112013001290B4 (ja) |
TW (1) | TWI474361B (ja) |
WO (1) | WO2013133169A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5580843B2 (ja) * | 2012-03-05 | 2014-08-27 | 双葉電子工業株式会社 | X線管 |
GB201303517D0 (en) * | 2013-02-27 | 2013-04-10 | Enxray Ltd | Apparatus for the generation of low-energy x-rays |
KR102324260B1 (ko) * | 2014-11-14 | 2021-11-10 | 주식회사바텍 | 선으로 정렬된 탄소나노튜브 및 게이트를 갖는 x선 소스 |
JP2016134251A (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | 双葉電子工業株式会社 | X線管 |
JP6262161B2 (ja) * | 2015-01-16 | 2018-01-17 | 双葉電子工業株式会社 | X線管 |
CN106783489A (zh) * | 2017-02-28 | 2017-05-31 | 公安部第研究所 | 一种钛窗结构x射线管 |
CN109216140A (zh) * | 2017-06-30 | 2019-01-15 | 同方威视技术股份有限公司 | 多焦点x射线管和壳体 |
CN111211027A (zh) * | 2020-01-16 | 2020-05-29 | 清华大学 | 一种平面辐照x射线光源及辐照设备 |
EP3933881A1 (en) * | 2020-06-30 | 2022-01-05 | VEC Imaging GmbH & Co. KG | X-ray source with multiple grids |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08264139A (ja) * | 1995-03-22 | 1996-10-11 | Hamamatsu Photonics Kk | X線発生装置 |
JP3639354B2 (ja) * | 1995-08-01 | 2005-04-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 触媒付きx線管 |
JPH0945462A (ja) * | 1995-08-02 | 1997-02-14 | Techno Eremento Kk | 面状発熱体の安全装置 |
US6118852A (en) * | 1998-07-02 | 2000-09-12 | General Electric Company | Aluminum x-ray transmissive window for an x-ray tube vacuum vessel |
JP2000306533A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-11-02 | Toshiba Corp | 透過放射型x線管およびその製造方法 |
JP2002033080A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-31 | Futaba Corp | 紫外線光源 |
US20040240616A1 (en) * | 2003-05-30 | 2004-12-02 | Applied Nanotechnologies, Inc. | Devices and methods for producing multiple X-ray beams from multiple locations |
US6477231B2 (en) * | 2000-12-29 | 2002-11-05 | General Electric Company | Thermal energy transfer device and x-ray tubes and x-ray systems incorporating same |
JP2007311195A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Hamamatsu Photonics Kk | X線管 |
US20080095317A1 (en) * | 2006-10-17 | 2008-04-24 | General Electric Company | Method and apparatus for focusing and deflecting the electron beam of an x-ray device |
JP2008123782A (ja) | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Toshiba Corp | X線源 |
JP2008288158A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Dialight Japan Co Ltd | 静電気除去装置 |
JP2009021032A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | X線発生管 |
EP2221848A1 (en) * | 2009-02-18 | 2010-08-25 | LightLab Sweden AB | X-ray source comprising a field emission cathode |
JP5713832B2 (ja) * | 2011-08-03 | 2015-05-07 | キヤノン株式会社 | 放射線発生装置及びそれを用いた放射線撮影装置 |
JP5580843B2 (ja) * | 2012-03-05 | 2014-08-27 | 双葉電子工業株式会社 | X線管 |
-
2012
- 2012-03-05 JP JP2012048066A patent/JP5540033B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-03-01 CN CN201380012541.XA patent/CN104160469B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-03-01 DE DE112013001290.1T patent/DE112013001290B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2013-03-01 KR KR1020147024079A patent/KR101610243B1/ko active IP Right Grant
- 2013-03-01 WO PCT/JP2013/055698 patent/WO2013133169A1/ja active Application Filing
- 2013-03-05 TW TW102107583A patent/TWI474361B/zh not_active IP Right Cessation
-
2014
- 2014-08-27 US US14/469,724 patent/US10014147B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10014147B2 (en) | 2018-07-03 |
DE112013001290T5 (de) | 2014-12-24 |
US20140362976A1 (en) | 2014-12-11 |
TWI474361B (zh) | 2015-02-21 |
CN104160469A (zh) | 2014-11-19 |
DE112013001290B4 (de) | 2016-10-20 |
TW201346967A (zh) | 2013-11-16 |
KR101610243B1 (ko) | 2016-04-07 |
CN104160469B (zh) | 2016-06-29 |
WO2013133169A1 (ja) | 2013-09-12 |
JP2013182868A (ja) | 2013-09-12 |
KR20140138663A (ko) | 2014-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5540033B2 (ja) | X線管 | |
TWI486990B (zh) | X射線管 | |
US20130230143A1 (en) | Radiation generating apparatus and radiation imaging apparatus | |
JP2015058180A5 (ja) | ||
JP2007066694A (ja) | X線管 | |
JP2013051164A (ja) | 透過型x線発生装置 | |
KR101586342B1 (ko) | 제전 범위 및 방열 기능이 향상된 연엑스선 발생 장치 | |
JP4767646B2 (ja) | X線管 | |
JP5763032B2 (ja) | X線管 | |
JP6262161B2 (ja) | X線管 | |
JP5775047B2 (ja) | X線発生装置及び除電装置 | |
JP5721681B2 (ja) | X線管 | |
US20200161071A1 (en) | A field emission cathode structure for a field emission arrangement | |
CN217444331U (zh) | 冷阴极x射线管及x射线发生装置 | |
JP2016134251A (ja) | X線管 | |
JP2013073891A (ja) | 反射型フィールドエミッションランプ | |
RU2015114702A (ru) | Устройство для генерации рентгеновского излучения | |
JP2016115519A (ja) | 熱陰極格子制御放電管 | |
JP2019145451A (ja) | X線発生装置 | |
Bittlestone et al. | Nanosecond imaging of relativistic electron transport in a paraxial diode gas cell | |
KR20160031289A (ko) | 나노물질을 이용한 x선 소스 | |
JP2010096678A (ja) | イオン化装置及び方法 | |
JP2013073857A (ja) | 反射型フィールドエミッションランプ | |
JP2009238648A (ja) | スパッタイオンポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120323 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130225 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140121 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140401 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5540033 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140501 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |