JP2013182868A - X線管 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口部6が形成された426合金製の基板4と、基板4の開口部6を塞ぐように設けられたチタン箔のX線透過窓5と、基板4に取り付けられて内部が真空状態とされた扁平箱型の容器部3と、容器部3の内部において開口部6に設けられたX線ターゲット7と、容器部3の内部にてX線ターゲット7に電子を入射させる電子源と、を備える。また、電子源は、線状の陰極9と、陰極9から電子を引き出す第1制御電極10と、引き出した電子の照射範囲を規制する第2制御電極11と、を備える。このとき、X線透過窓5から出射されるX線は、開口部6の開口形状から放射状に広がる態様をなす。
【選択図】図1
Description
前記開口部を塞ぐように設けられたX線透過窓と、
前記基板に取り付けられて内部が真空状態とされた扁平箱型の容器部と、
前記容器部の内部において前記開口部に設けられ前記X線透過窓と密着して設けられたX線ターゲットと、
前記容器部の内部に設けられ、前記基板の開口部に対応して延在する線状の陰極および該陰極の長手方向に対応する開口を有する複数の制御電極を少なくとも有し、前記陰極から放出された電子を前記複数の制御電極によって制御して前記X線ターゲットに電子を入射させる電子源と、を備え、前記X線透過窓から出射されるX線が前記開口部の開口形状から放射状に広がる態様をなすことを特徴としている。
図1に示すように、X線管1は、扁平箱型のパッケージ2を本体としている。このパッケージ2は、ガラス板を扁平箱型に組み立てた容器部3の開放側周縁部に、後述するX線透過窓5が設けられた基板4を取り付けて封止したものであり、その内部は真空状態に排気されている。基板4は、426合金からなる矩形板である。426合金は、42%Ni、6%Cr、残りがFeなどの合金であり、容器部3を構成するソーダライムガラスと熱膨張係数が略等しい。
なお、前記容器部3の材質がソーダライムガラス以外のガラス板の場合、前記基板4は、前記容器部3の熱膨張係数に略等しくなるように他の材質の金属板を使用しても良い。
図1に示すように、基板4の容器部3内に位置した他方の面(パッケージ2の内側となる面)において開口部6にはX線ターゲット7が設けられている。X線ターゲット7は、前記開口部6の内側から前記X線透過窓5の内面に密着するように、タングステンの膜が蒸着されることで形成されている。また、X線ターゲット7としては、モリブデン等のタングステン以外の金属を用いても良い。
なお、線状の陰極9は、タングステン等からなるワイヤー状の芯線の表面に炭酸塩を施したもので、芯線を通電加熱することで、熱電子を放出するものである。また、背面電極8は、第1制御電極10に対して、線状の陰極9を挟んで対向するようにして設けられた板状の電極である。
さらに、第2制御電極11は、その内部空間に背面電極8、陰極9、第1制御電極10を収容するようにして、それらを囲んでいるので、第1制御電極10により陰極9から引き出された電子がX線ターゲット7以外の場所、例えば容器部3の内面等に入射して、容器部3の内面が帯電すること自体を抑制する機能も有している。
また、第1制御電極10ならびに第2制御電極11は、前記基板4と同様、容器部3の熱膨張係数を略等しくするために、426合金を使用することが望ましい。
3…容器部
4…基板
5…X線透過窓
6…開口
7…X線ターゲット
9…陰極
10…制御電極(第1制御電極)
11…制御電極(第2制御電極)
Claims (8)
- 開口部が形成された金属材料からなる基板と、
前記開口部を塞ぐように設けられたX線透過窓と、
前記基板に取り付けられて内部が真空状態とされた扁平箱型の容器部と、
前記容器部の内部において前記開口部に設けられ前記X線透過窓と密着して設けられたX線ターゲットと、
前記容器部の内部に設けられ、前記基板の開口部に対応して延在する線状の陰極および該陰極の長手方向に対応する開口を有する複数の制御電極を少なくとも有し、前記陰極から放出された電子を前記複数の制御電極によって制御して前記X線ターゲットに電子を入射させる電子源と、を備え、前記X線透過窓から出射されるX線が前記開口部の開口形状から放射状に広がる態様をなすことを特徴とするX線管。 - 前記制御電極が、前記陰極と前記X線透過窓の間に配置された第1制御電極と、前記第1制御電極と前記X線透過窓との間に配置された第2制御電極と、を少なくとも備え、前記第1制御電極および前記第2制御電極の少なくとも一方が、前記陰極を囲うように設けられたことを特徴とする請求項1に記載のX線管。
- 前記第2制御電極が、前記陰極ならびに前記第1制御電極を囲うように設けられたことを特徴とする請求項2に記載のX線管。
- 前記電子源が、前記第1制御電極と対向するように前記容器部の内面に形成された背面電極を備えたことを特徴とする請求項2又は3に記載のX線管。
- 前記第2制御電極の開口は、前記第1制御電極の開口より狭いことを特徴とする請求項2〜4の何れか一項に記載のX線管。
- 前記X線透過窓にはチタンを用いたことを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載のX線管。
- 前記基板には426合金を用いたことを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載のX線管。
- 前記制御電極の前記各開口には、格子状又はハニカム状のメッシュが形成されていることを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載のX線管。
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