JP6777746B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
10 電子線
101 電子源
102 フィラメント
103 引出電極
104 調整電極
105 加速管
106 中間電極
107 中間電極
108 中間電極
109 中間電極
110 陽極
110 陽極
121 陽極絞り
17 電子銃真空排気装置(イオンポンプ等)
171 イオンポンプ
172 NEG(加速管基部用)
173 NEG(電子源周辺用)
181 引出電極が電子銃外壁に接する部分〈接続部位〉
182 引出電極先端部
191 電子銃ベーキング用ヒータ
192 インナーヒータ
193 加速管外壁
194 電子源周辺
2 電子光学系
21 電子光学系真空排気装置
3 試料ホルダ
31 試料
4 検出器
5 制御装置
6 電源部
62 電子銃電源
Claims (10)
- 電子銃を備えた電子顕微鏡において、
前記電子銃は、電子源と、引出電極と、加速管と、を備え、
前記加速管は接続部位において前記引出電極と接続されており、
前記引出電極は第一のヒータと第一のNEGを備え、
さらに、前記加速管の周囲に配置された第二のヒータを備え、
前記第一のヒータと前記第一のNEGは前記電子源から射出される電子線の軸方向に離間しており、
前記第一のNEGは前記第一のヒータと前記接続部位の間に備えられていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記第一のヒータは400度以上に加熱され、
前記第二のヒータは300度以上に加熱され、
前記接続部位は前記第二のヒータによって、前記第二のヒータより低い温度に加熱され、
前記第一のNEGの温度は、前記接続部位の温度より高く、前記第一のヒータの温度より低くなることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項2記載の電子顕微鏡において、
前記第一のヒータは電子銃内の真空容器内に配置されていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項3記載の電子顕微鏡において、
前記第二のヒータは真空容器外に配置されていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項4記載の電子顕微鏡において、
さらに、イオンポンプを備え、
前記加速管の接地電位を有する電極と前記イオンポンプの間に第二のNEGを備えることを特徴とする電子顕微鏡。 - 電子銃を備えた電子顕微鏡において、
前記電子銃は、引出電極と、加速管と、を備え、
前記加速管は接続部位において前記引出電極と接続されており、
前記引出電極は第一のヒータと第一のNEGを備え、
前記第一のヒータは電子銃のベーキング中、常時通電して、前記引出電極を加熱し、
前記第一のNEGは、前記第一のヒータと前記接続部位との熱勾配によって加熱されることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項6記載の電子顕微鏡において、
さらに、前記加速管の周囲に電子銃ベーキング用の第二のヒータと、を備えることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項7記載の電子顕微鏡において、
前記第一のNEGは前記第一のヒータと前記接続部位の間に備えられていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項8記載の電子顕微鏡において、
前記第一のヒータは400度以上に加熱され、
前記第二のヒータは300度以上に加熱され、
前記接続部位は前記第二のヒータによって、前記第二のヒータより低い温度に加熱され、
前記第一のNEGの温度は、前記接続部位の温度より高く、前記第一のヒータの温度より低くなることを特徴とする電子顕微鏡。 - 電子銃を備えた電子顕微鏡において、
前記電子銃は、電子源と、引出電極と、加速管と、を備え、
前記加速管は接続部位において前記引出電極と接続されており、
前記引出電極は第一のヒータと第一のNEGを備え、
前記第一のヒータと前記第一のNEGは前記電子源から射出される電子線の軸方向に離間しており、
前記第一のNEGは前記第一のヒータと前記接続部位の間に備えられていることを特徴とする電子顕微鏡。
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