JPH0430459Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、真空装置の移動式真空シール装置
に関するものである。

〔従来の技術〕

第４図は例えば実公昭52−34707号公報に示さ
れた従来の電子ビーム溶接機の移動式真空シール
装置の構成を示す概略断面図であり、図において
１は開口部を有する真空容器（以下、単に容器と
呼ぶ）、２は容器１の開口面を移動しながらおお
うスライド板、３，４は開口部の囲りに２重に設
けられたパツキンで、３は真空側に配置したパツ
キン（以下パツキン１という）、４は大気側に配
置したパツキン（以下パツキン２という）、５は
パツキン１，３とパツキン２，４との間にできる
空間（以下、中間真空室という）、６は中間真空
室５を真空排気するための真空排気孔（以下、中
間真空排気孔という）、７は電子銃、８は電子ビ
ーム、９は被溶接物である。Ａは電子銃７の移動
距離であり、ストロークを示す。

次に動作について説明する。容器１内を真空排
気するとともに、中間真空室５内を中間真空排気
孔６を通して真空排気する２段真空排気を行なう
と、スライド板２は大気圧によつてパツキン１，
３とパツキン２，４に押し付けられ、中間真空室
５をパツキン１，３とパツキン２，４とで密閉す
る。次いで容器１内が所定の圧力（例えば約
1.3Pa程度）に達すると、電子銃７を溶接方向と
直交する方向に移動させ電子銃７から発生した電
子ビーム８を被溶接物９の溶接線と一致させる。
そして、電子銃７を塔載したスライド板２を移動
することにより溶接を行なう。このとき、スライ
ド板２がパツキン１，３、パツキン２，４上をす
べりながら移動すると、大気が巻き込まれて真空
側に流入することがあるが、中間真空室５で中間
真空排気孔６を通して効果的に真空排気されるの
で、大気が容器１内に直接流入して容器１内の圧
力を急激に上昇変動させることなく、容器１内の
圧力を安定して維持できる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

従来の真空シール装置は上記のような構成であ
り、スライド板２を移動させるために必要な長さ
が少なくともストロークＡの３倍以上になり、装
置の専有面積が大きくなるなど極めて不経済であ
る。

一方、このような問題点を解決するためスライ
ド板を巻き取り可能な薄板にし端末を巻き取る方
式が採用されている。

これは第５図に示すように薄板のスライド板２
の一端を電子銃架台１０に接合し、他端をスライ
ド板巻き取り機構１１で巻き取るように構成した
ものである。

このようにすればストロークが大きくなつても
第４図の構成に比べて装置の専有面積を大巾に少
なくできるが、スライド板２が実用上巻き取り可
能な薄板（例えば、板厚0.5mm程度）になると第
６図に示すように、スライド板２は大気圧によつ
て押えられパツキン１，３にのみ押し付けられる
ように変形する。そのため電子銃７の移動方向に
沿つてスライド板２をパツキン２，４に押し付け
中間真空室５を密閉する押し付ける機構が必要に
なる。この押し付け機構は、電子銃７が移動する
際に電子銃７や電子銃架台１０と干渉しないよう
にしながら常にスライド板２をパツキン２，４に
押し付ける必要上、複雑かつ高価になるといつた
問題点があつた。

この考案は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、スライド板が変形しても中間
真空室が確実に密閉できるとともに、押し付け機
構を必要としない真空シール装置を得ることを目
的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案に係る真空シール装置は、真空容器の
開口面を移動しながらおおう可撓性の板と、開口
部の囲りに設けられた第１のパツキンと、この第
１のパツキンの囲りに設けられた第２のパツキン
とで構成され、真空容器内と第１のパツキンと第
２のパツキンの間の空間とからそれぞれ真空排気
を行なう真空シール装置において、大気圧によつ
て可撓性の板が変形したとき可撓性の板が第１の
パツキンのシール面と第２のパツキンのシール面
とにそれぞれ押しつけられるように第２のパツキ
ンのシール面を第１のパツキンのシール面より高
くなるようにしたものである。

〔作用〕

この考案における真空シール装置では、大気圧
によつて可撓性のスライド板が変形した時、第２
のパツキンのシール面が第１のパツキンのシール
面より高くなつているので可撓性のスライド板が
第１のパツキンのシール面と第２のパツキンのシ
ール面とにそれぞれ押しつけられるような構成で
あり、確実に密閉された中間真空室を形成する。

以下、この考案の一実施例を図について説明す
る。第１図はこの考案の一実施例による真空シー
ル装置の主要部を示す概略断面図であり、図にお
いて、３はパツキン１、４はパツキン２でありパ
ツキン１，３によつて形成されるシール面より高
い位置にシール面を形成するように配置されてい
る。

容器１内を真空排気するとともに、中間真空室
５内を中間真空排気孔６を通して真空排気する
と、スライド板２は大気圧によつて押し付けられ
第１図の状態から第２図の状態に変形する。しか
し、スライド板２はパツキン１，３とパツキン
２，４に押し付けられているので、中間真空室５
をパツキン１，３とパツキン２，４とで確実に密
閉できる。このとき、スライド板２がパツキン
１，３、パツキン２，４上をすべりながら移動し
大気を真空側に巻き込むことがあつても、中間真
空室５で中間真空排気孔６を通して効果的に真空
排気されているので、大気が容器１内に直接流入
して容器１内の圧力を急激に上昇変動させること
なく、容器１内の圧力を安定して維持できる。

なお、上記実施例ではスライド板２が容器１の
開口面を外側からおおうように配置され、容器１
内を真空にする場合について説明したが、例え
ば、静圧送りネジで駆動されるテーブルなどを真
空雰囲気中に配置する際、駆動部分を容器１内に
収納し、第３図に示すようにスライド板２を容器
１の内側から容器１の開口面をおおうように配置
すれば、容器１内が大気圧、容器１のまわりが真
空雰囲気圧であつても上記実施例と同様の効果を
奏する。さらに、第３図に示す例では容器１内か
ら流出する空気を真空排気手段などによつて容器
１内に有効に回収できるという効果も奏する。

〔考案の効果〕

以上のように、この考案によれば大気側に配置
したパツキンによつて形成されるシール面を真空
側に配置したパツキンによつて形成されたシール
面より高くなるようにしたので、信頼性の高い真
空シール装置が安価にでき、また、構造が簡単に
できるため保守が容易にできるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例による真空シール
装置の主要部を示す概略断面図、第２図はこの考
案の一実施例による真空シール装置の動作中の状
態を示す概略断面図、第３図はこの考案の他の実
施例による真空シール装置を示す概略断面図、第
４図および第５図は従来の真空シール機構を備え
た電子ビーム溶接機の概略断面図、第６図は第５
図に示される従来の真空シール機構の動作を説明
する部分断面図である。 図において、１は容器、２はスライド板、３は
パツキン１、４はパツキン２である。なお、図
中、同一符号は同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 開口部を有する真空容器と、上記真空容器の開
   口面を移動しながらおおう可撓性の板と、上記開
   口部の囲りに設けられた第１のパツキンと、上記
   第１のパツキンの囲りに設けられた第２のパツキ
   ンとで構成され、上記真空容器内および上記第１
   のパツキンと上記第２のパツキンの間の空間とか
   らそれぞれ真空排気を行なう真空シール装置にお
   いて、大気圧によつて上記可撓性の板が変形した
   とき上記可撓性の板が上記第１のパツキンのシー
   ル面と上記第２のパツキンのシール面とにそれぞ
   れ押しつけられるように上記第２のパツキンのシ
   ール面を上記第１のパツキンのシール面より高く
   なるように段差を付けたことを特徴とする真空シ
   ール装置。