JP2009117444A - 真空ゲートバルブおよびこれを使用したゲート開閉方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シャッタは、ゲートがゲート退避室に収納されたときに、シャッタ移動室を移動されてシャッタシール部が固定シール部に接触することによって入口を閉塞し、かつゲートがシャッタ移動室を移動されて第一のゲートシール部が固定シールに接触することによって排気口を閉塞したときに、シャッタ移動室を移動されてシャッタシール部が第二のゲートシール部に接触することによって入口を閉塞する。
【選択図】図2
Description
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して入口が形成され、前記ゲートの前記入口の閉塞移動時および前記ゲートの前記ゲート退避室への退避移動時に前記シャッタを前記排気胴部から隔離するシャッタ移動室が形成されたシャッタ移動部を備え、
前記ゲート退避部は前記ゲート退避室が前記シャッタ移動室に連通して設けられ、
前記シャッタ移動部には、前記シャッタ移動室の前記入口に対向して、固定シール部が形成され、
前記シャッタは、前記固定シール部に対向するようにしてシャッタシール部を備え、
前記ゲートは、前記ゲート退避室から前記シャッタ室に、更に該シャッタ室から前記排気胴部に移動可能とされ、そして前記ゲートには、その一面側に前記固定シール部に対向して第一ゲートシール部が形成され、そして、前記ゲートには第一のゲートシール部の反対面側に前記シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形成され、
前記シャッタは、前記ゲートが前記ゲート退避室に収納されたときに、前記シャッタ移動室を移動されてシャッタシール部が前記固定シール部に接触することによって前記入口を閉塞し、かつ前記ゲートが前記シャッタ移動室を移動されて第一のゲートシール部が前記固定シールに接触することによって前記排気口を閉塞したときに、前記シャッタ移動室を移動されて前記シャッタシール部が第二のゲートシール部に接触することによって前記入口を閉塞することを特徴とする真空ゲートバルブを提供する。
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して入口が形成され、前記ゲートの前記入口の閉塞時および前記ゲートの前記ゲート退避室への退避時に前記シャッタを前記排気胴部から隔離するシャッタ移動室が形成されたシャッタ移動部を備え、
前記ゲート退避部は前記ゲート退避室が前記シャッタ移動室に連通して設けられ、
前記シャッタ移動部には、前記シャッタ移動室の前記入口に対向して、固定シール部が形成され、
前記シャッタは、前記固定シール部に対向するようにしてシャッタシール部を備え、
そして前記ゲートには、その一面側に前記固定シール部に対向して第一のゲートシール部が形成され、そして、前記ゲートには第一のゲートシール部の反対面側に前記シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形成された真空ゲートバルブのゲート開閉方法において、
前記ゲートが前記ゲート退避室に収納されたときに、前記シャッタは、前記シャッタ移動室を移動されてシャッタシール部が前記固定シール部に接触することによって前記入口を閉塞し、かつ前記ゲートが、前記ゲート退避室から前記シャッタ室に、更に該シャッタ室から前記排気胴部に移動され、前記ゲートシール部が前記固定シールに接触することによって前記排気口を閉塞するときに、前記シャッタが前記シャッタ移動室を移動して前記シャッタシール部が第二のシール部に接触することによって前記入口を閉塞するようにして前記ゲートの開閉を行うこと
を特徴とする真空ゲートバルブのゲート開閉方法を提供する。
これらの図において、真空ゲートバルブ100は、本体11とゲート退避部12から構成され、本体11、ゲート退避部12共箱状に形成され、両者は互いに着脱自在として一体化され、両者間にOリング14が配設される。本体11はゲート退避部12に比べて高さが高く構成され、上方から見た場合、両者は図1に示すようにほぼ楕円形をなし、中央部が太形とされる。
図4において、本体11は、中央部材31、上部部材32および下部部材33から構成され、それぞれの接着面にはシール材が配設されて一体化され、全体的に筒状の箱体とされている。
ゲート21の上面にはシャッタシール部49に対向してOリング51が設けてあり、このOリング51を含めてここでは第二のゲートシール部52と称する。
図7において、ゲートおよびシャッタ操作部62は、操作本体64、操作本体62内に配設されるアクチュエータ65、アクチュエータ65によって回転駆動される一群の歯車66,67、固定回転する歯車67によって回転操作されるシャフト68、揺動公転する歯車66によって揺動操作されるエア切換レバー69、揺動するエア切換レバー69によって操作されるエア切換弁70,71およびエア切換弁70,71にエアを送り出すエア室72からなる。
図9(1)は、バルブ閉の状態を示す。この状態ではゲート21の第一のゲートシール部54が固定シール部55に接触してゲート21が排気口20を閉塞し、シャッタシール部49が第二のゲートシール部52に接触してシャッタ22がゲートと共に、シャッタ移動室16の入口18を閉塞している状態を示す。これによって、プロセスチャンバーから舞い上がった異物(デポ)が入口18を介してゲート退避室13に侵入することが防止される。
図9(2)はゲート21がゲート退避室13への退避のためにシャッタ22が上動した状態をしめす。この状態ではエアが切り換えられ、シャッタ22はシャッタ収納室36に収納され、排気胴部15、シャッタ移動室16およびゲート退避室13は連通する。
図9(3)は、ゲート21がゲート退避室13に退避した状態を示す。
図9(4)は、ゲート21がゲート退避室13に退避した状態で、エアが切り換えられ、シャッタ収納室36に収納されていたシャッタ22が下動し、下端に達してシャッタシール部49が固定シール部55に接触してシャッタ22が単独で入口18を閉塞する。この状態ではバルブ開となる。
図10(1)は、図9(4)に相当し、ゲート21がゲート退避室13に退避してシャッタ22が入口18を単独で閉塞している状態を示す。この場合には、シャッタシール部49は固定シール部55に接触している。
図10(2)は、図9(3)に相当し、ゲート21の移動のためにシャッタ22が上動してシャッタ収納室36に収納された状態を示す。これによって、ゲート退避室13、シャッタ移動室16および排気胴部15が連通する。
図10(3)は、図9(2)に相当し、ゲート21が連通したゲート退避室13、シャッタ移動室16および排気胴部15を移動し、排気口20の上方に移動した状態を示す。
図10(4)は、図9(1)に相当し、排気口20の上方にあったゲート21が下動して第一のゲートシール部54が固定シール部55に接触してゲート31が排気口20に移動するとエアが切り換わり、排気口20を閉塞すると同時に、シャッタ22が下動してシャッタシール部49が第二のゲートシール部52に接触し、シャッタ22はゲート21と共に入口18を閉塞する。この状態はバルブ閉の状態である。
Claims (7)
- 端部に排気口が形成された排気胴部を備えた本体と、ゲート退避室を備えたゲート退避部と、前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動して前記排気口を閉塞し、かつ前記ゲート退避室に収納されるゲートと、該ゲートを移動させるゲート駆動部と、前記排気胴に沿って移動可能とされて前記シャッタ移動室に設けられたシャッタと、該シャッタを移動させるシャッタ駆動部と、を備えた真空ゲートバルブにおいて、
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して入口が形成され、前記ゲートの前記入口の閉塞移動時および前記ゲートの前記ゲート退避室への退避移動時に前記シャッタを前記排気胴部から隔離するシャッタ移動室が形成されたシャッタ移動部を備え、
前記ゲート退避部は前記ゲート退避室が前記シャッタ移動室に連通して設けられ、
前記シャッタ移動部には、前記シャッタ移動室の前記入口に対向して、固定シール部が形成され、
前記シャッタは、前記固定シール部に対向するようにしてシャッタシール部を備え、
前記ゲートは、前記ゲート退避室から前記シャッタ室に、更に該シャッタ室から前記排気胴部に移動可能とされ、そして前記ゲートには、その一面側に前記固定シール部に対向して第一ゲートシール部が形成され、そして、前記ゲートには第一のゲートシール部の反対面側に前記シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形成され、
前記シャッタは、前記ゲートが前記ゲート退避室に収納されたときに、前記シャッタ移動室を移動されてシャッタシール部が前記固定シール部に接触することによって前記入口を閉塞し、かつ前記ゲートが前記シャッタ移動室を移動されて第一のゲートシール部が前記固定シールに接触することによって前記排気口を閉塞したときに、前記シャッタ移動室を移動されて前記シャッタシール部が第二のゲートシール部に接触することによって前記入口を閉塞することを特徴とする真空ゲートバルブ。 - 請求項1において、前記固定シール部、前記シャッタシール部、第一のゲートシール部および第二のゲートシール部は前記排気胴部の長手方向で、前記シャッタ移動室内において同一面上に配設されることを特徴とする真空ゲートバルブ。
- 請求項1において、前記シャッタシール部はシャッタリングによって形成されて該シャッタリングおよび前記シャッタは互いに着脱自在とされ、前記排気胴部は内周面に円筒状のカバーおよびカバーの外周側に前記シャッタ移動室の一部となるシャッタ収納室を備え、該シャッタ収納室の側方側に該シャッタ収納室に沿って前記シャッタ駆動部のシャッタ駆動ピストンが設けられ、該シャッタ駆動ピストンは前記シャッタリングに接続されて、前記排気胴部に沿って動作する前記シャッタ駆動ピストンによって前記排気胴部に沿って移動されることを特徴とする真空ゲートバルブ。
- 請求項1において、前記ゲート駆動部と前記シャッタ駆動部は1組の駆動源および駆動力切換装置によって駆動され、前記ゲートが前記ゲート退避室に退避された時に前記シャッタを移動するように制御する制御装置を備えることを特徴とする真空ゲートバルブ。
- 請求項1において、前記ゲート退避部は箱状に形成され、前記本体に本体側方から一体化され、かつ着脱自在とされ、前記ゲートには振り子形のゲートが用いられ、該ゲートは前記ゲート退避部および前記シャッタ移動室を揺動することを特徴とする真空ゲートバルブ。
- 端部に排気口が形成された排気胴部を備えた本体と、ゲート退避室を備えたゲート退避部と、前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動して前記排気口を閉塞し、かつ前記ゲート退避室に収納されるゲートと、該ゲートを移動させるゲート駆動部と、前記排気胴に沿って移動可能とされて前記シャッタ移動室に設けられたシャッタと、該シャッタを移動させるシャッタ駆動部と、を備え、
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して入口が形成され、前記ゲートの前記入口の閉塞時および前記ゲートの前記ゲート退避室への退避時に前記シャッタを前記排気胴部から隔離するシャッタ移動室が形成されたシャッタ移動部を備え、
前記ゲート退避部は前記ゲート退避室が前記シャッタ移動室に連通して設けられ、
前記シャッタ移動部には、前記シャッタ移動室の前記入口に対向して、固定シール部が形成され、
前記シャッタは、前記固定シール部に対向するようにしてシャッタシール部を備え、
そして前記ゲートには、その一面側に前記固定シール部に対向して第一のゲートシール部が形成され、そして、前記ゲートには第一のゲートシール部の反対面側に前記シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形成された真空ゲートバルブのゲート開閉方法において、
前記ゲートが前記ゲート退避室に収納されたときに、前記シャッタは、前記シャッタ移動室を移動されてシャッタシール部が前記固定シール部に接触することによって前記入口を閉塞し、かつ前記ゲートが、前記ゲート退避室から前記シャッタ室に、更に該シャッタ室から前記排気胴部に移動され、前記ゲートシール部が前記固定シールに接触することによって前記排気口を閉塞するときに、前記シャッタが前記シャッタ移動室を移動して前記シャッタシール部が第二のシール部に接触することによって前記入口を閉塞するようにして前記ゲートの開閉を行うこと
を特徴とする真空ゲートバルブのゲート開閉方法。 - 請求項6において、前記固定シール部、前記シャッタシール部、第一のゲートシール部および第二のゲートシール部は前記排気胴部の長手方向で、前記固定シール部に対して同一面上で前記シャッタ移動室を移動することを特徴とする真空ゲートバルブのゲート開閉方法。
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